Микроскопы

0 товаров

Электронные микроскопы сканирующего типа

В отличие от обычных оптических микроскопов, в основу работы сканирующих электронных микроскопов (СЭМ), которые иногда ещё именуют растровыми, положен активный принцип получения изображения путём сканирования поверхности сфокусированным пучком электронов, которые взаимодействуя с атомами сканируемой поверхности, создают отражённый сигнал, позволяющий определить её состав и структуру. Благодаря данному способу увеличения становится возможным получить изображение с высоким пространственным разрешением (менее 1 нм), что, впрочем, также зависит от топографии поверхности. Визуализация изображения как правило производится с использованием специализированного фотоприёмного устройства (детектор вторичных электронов Эверхарта–Торнли). Однако, кроме вторичных электронов существуют и другие формы отражённого сигнала (пучковые или обратно рассеянные электроны, рентгеновское и электромагнитное излучение, катодолюминесценция и т.д.) для приёма которых применяются иные формы детекторов. Изображения, полученные с использованием электронных сканирующих микроскопов, помимо высокого разрешения отличаются также большой глубиной резкости, которая позволяет создать трёхмерный эффект и передавать цветную картинку после обработки сигнала:

Сканирующие электронные микроскопы широко используются в зондовых станциях для анализа поверхности полупроводниковых пластин на предмет выявления дефектов. СЭМ обеспечивают широкий диапазон увеличения (от 6х до 1 000 000х), недоступный их оптическим аналогам. Специализированные модели СЭМ могут также производить осмотр объекта под углом, а также в условиях вакуума и при большом перепаде температур (от криогенных до температур плавления некоторых материалов). Таким образом, сканирующие электронные микроскопы являются неотъемлемой частью современного полупроводникового производства.