Зондовые станции
4 товара
Ручная зондовая станция, отличающаяся надёжностью и удобством. Предназначена для тестирования электрических параметров широкого перечня микроэлектронных устройств. Параметр Значение Диаметр пластин 3”, 4”, 5”, 6”, 8” Диапазон перемещения рабочей платформы X-Y 240 x 260 мм Механизм перемещения рабочей платформы маховик Диапазон перемещения по Z 10 мм Угол поворота ϴ ±45° Увеличение 12.5х~3000x Подсветка Оптоволоконный осветитель Загрузка пластины Ручная […]
Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и тестирования кристаллов. Наряду с этим, имеется функция идентификации пластин по ID. Программное обеспечение включает в себя множество других функция, предоставляя пользователю широкие возможности по проведению тестов и позволяет значительно улучшить эффективность производства. Перечень применений включает в себя тестирование / получение характеристик I-V, C-V с […]
Зондовая станция предназначена для анализа и контроля электрических параметров приборов с двух сторон полупроводниковой пластины. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 4”, 5” Диапазон перемещения X-Y 170 x 240 мм Точность позиционирования X/Y < ±0,01 мм @150 мм Разрешение X/Y 0,001 мм Держатель пластины Параметр Значение Диапазон перемещения по Z […]
Автоматическая зондовая станция ZHS-803 Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 6”, 8” Диапазон перемещения X-Y 270 x 500 мм Точность позиционирования X/Y < ±0.003 мм @200 мм Разрешение X/Y 0.001 […]
Зондовые станции для микроэлектроники
Зондовые станции служат для измерения основных физических величин полупроводниковых пластин в ходе изготовления интегральных микросхем (ИМС), что является важнейшим элементом контроля качества в сфере полупроводникового производства. Зондовые станции позволяют определять как вольтамперные или вольтфарадные характеристики полупроводниковых изделий, так и их параметры рассеяния (т.н. S-параметры), представляющие собой линейные характеристики компонентов печатной платы. Кроме этого, с помощью зондовых станций можно установить оптимальный режим функционирования микроэлектронного устройства (Load pull измерения). Таким образом аппаратный комплекс зондовых станций формируется под решение конкретных измерительных задач. Помимо самих измерительных приборов на точность измерения также большое влияние оказывают условия его проведения, поэтому существуют специальные виды зондовых станций, в которых предусмотрена изоляция от внешних воздействий, создающих определённые помехи, например вибрационные, температурные или электромагнитные. Исходя из степени автоматизации, зондовые станции могут быть ручными, либо автоматическими или полуавтоматическими. Компактные ручные зондовые станции больше подходят для лабораторных исследований, а большие автоматические зондовые станции – для контроля качества микроэлектронных компонентов при серийном производстве. Другим важным значением, характеризующим тип зондовой станции, является размер тестируемых полупроводниковых пластин (типовые диаметры пластин — 50 мм, 150 мм, 200 мм и 300 мм). Особое место среди зондовых станций занимают узкоспециализированные системы, предназначенные для тестирования фотонных интегральных схем (ФИС), микроэлектромеханических систем (МЕМС) и микросхем на сверхпроводниках.
