Установки отмывки пластин

Отмывка пластин применяется на всех этапах полупроводникового производства, от разделения слитков до шлифовки обратной стороны, для удаления частиц материала, химических реагентов и прочих загрязнений. Установки подходят для обработки пластин 150, 200 и 300 мм. Автоматизированная загрузка из кассет.