Установка для инспекции полупроводниковых пластин AWL812-AS
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
AWL812-AS – это инспекционная установка с автоматической подачей 12-дюймовой (при необходимости 8-дюймовой) пластины, оснащенная безопасной и надежной системой EFEM (включая загрузочный порт, устройство выравнивания и загрузочного робота). Данная установка имеет удобный интерфейс управления полностью на английском языке, а также она укомплектована оптической системой формирования изображений, которая обеспечивает проверку поверхности полупроводниковых пластин как на макро, так и на микроуровне. Эффективная обработка данных помогает получить статистику и анализ дефектов.
Основные преимущества инспекционной установки AWL812-AS
- Конструкция загрузочного робота позволяет производить подачу не только плоских пластин, но и изогнутых пластин толщиной 3мм.
- Порт загрузки имеет функцию открытия и закрытия FOUP/FOSB, дополнительный сканер штрих-кодов и функцию считывания RFID.
- Быстрое предварительное выравнивание для точного позиционирования пластины по вырезу (notch) и базовому срезу. Подходящие материалы пластин: Si, SiC EMC, стекло и т.д.
- Сдвоенный робот-манипулятор сокращает время захвата и позиционирования пластин в кассету FOUP, гарантируя безопасное и надежное их размещение в каждой станции оборудования. Робот-манипулятор изготовлен из алюминиево-магниевого сплава и оснащен антистатической силиконовой присоской для обеспечения бережной транспортировки пластин.
- Многофункциональный модуль макроинспекции оснащен плавным и простым в управлении джойстиком, с помощью которого удобно проводить макросъемку пластин под разными углами во всем поле зрения с использованием дополнительных источников освещения. Кроме того, доступна дополнительная функция анализа сохранённого изображения.
- Высокоскоростная система предварительной фокусировки моментально формирует четкое микроизображение. При этом используется сервопривод высокого разрешения с прецизионным скользящим модулем, который обеспечивает точное позиционирование при анализе микроструктур и составления карты пластины.
- Новая оптическая система металлографического микроскопа Sunny обеспечивает ультра-широкое поле обзора — 25 мм. Оптическая система также может быть оснащена поляризационными наборами, ДИК-призмой и моторизованной револьверной головкой.
- 5 / 10 / 20 / 50 /100-кратные объективы Long WD Semi-APO Metallurgical Infinity компании Sunny передают естественный цвет пластины, одновременно увеличивая яркость изображения темного поля и улучшая возможности контроля дефектов.
- Пример получения изображений в светлом и тёмном поле:
- В данном устройстве используется новейший пользовательский интерфейс с отображением англоязычных символов и пиктограмм, что позволяет быстро и просто реализовывать такие программные функции, как инициализация устройства, настройка точки сервопривода, регулировка уровня освещенности, точная настройка фокусного расстояния, сохранение изображения, список операций ввода-вывода, архивирование информации об аномалиях и т.д.
- Инспекционная установка может быть дополнительно оснащена электронной системой составления карты пластины. Для загрузки карты пластины считывается FOUP ID и ID пластины, либо карта пластины создаётся с помощью загрузки параметров, в противном случае устройство самостоятельно сгенерирует карту пластины после ее сканирования. Загрузив карту пластины, пользователь может просмотреть её дефекты. Если же дефект пластины отображается некорректно, пользователь может отредактировать карту пластины самостоятельно.
Габаритный чертёж инспекционной установки AWL812-AS
Основные технические характеристики инспекционной установки AWL812-AS
| Модель № | AWL812-AS01 | AWL812-AS02 | |
| Информация о пластинах и кассетах SEMI Stad. | Размер пластины | 200 мм / 300 мм | 200 мм / 300 мм |
| Толщина пластины | 400-1000 мкм / 450-1000 мкм | 250-1000 мкм / 350-1500 мкм | |
| Изгиб пластины | 0,5мм / 1 мм | 1 мм / 3 мм | |
| Тип кассеты | FOUP / FOSB / Открытая кассета | FOUP / FOSB / Открытая кассета | |
| Система EFEM | Порт загрузки | 1 Порт | 1 Порт |
| FOUP RFID Reader | Под заказ | Под заказ | |
| E84 | Под заказ | Под заказ | |
| Робот | Два манипулятора | Два манипулятора | |
| Предварительное выравнивание | Бесконтактное центрирование | Бесконтактное центрирование | |
| ID OCR пластины | Под заказ | Под заказ | |
| Макроинспекция | Верхняя поверхность/ Край /Задняя сторона | Верхняя поверхность/ Край /Задняя сторона | |
| Источник света (LED) | Белый/желтый/зеленый на выбор | Белый/желтый/зеленый на выбор | |
| Система OM | Автоматическая предварительная фокусировка | Автоматическая предварительная фокусировка 5X | Автоматическая предварительная фокусировка 5X |
| Объектив Plan Semi-APO | 5X / 10X / 20X / 50X / 100X Объектив с большим рабочим расстоянием | 5X / 10X / 20X / 50X / 100X Объектив с большим рабочим расстоянием | |
| Стадия проверки | Авто | Авто | |
| Наблюдение в светлом и тёмном поле | Светлое поле/Тёмное поле | Светлое поле/Тёмное поле | |
| Револьвер | Моторизованный | Моторизованный | |
| Электронная система составления карты пластины | Под заказ | Под заказ | |
| SECS-GEM | Под заказ | Под заказ | |
| Общая информация | Система FFU | Class 10 | Class 10 |
| Система ESD | Под заказ | Под заказ | |
| Система UPS | Под заказ | Под заказ | |
| Источник питания | 220В 50 Гц 16A | 220В 50 Гц 16A | |
| CDA | 0,4 – 0,6 МПа | 0,4 – 0,6 МПа | |
| VAC | -70 — -90 кПа | -70 — -90 кПа | |
| Вес | 1150 Кг | 1150 Кг | |
| Габариты (мм) | W2374 x D1441 x H2450 | W2374 x D1441 x H2450 | |
Документы
