Серия автоматических зондовых станций ZHS
Автоматическая зондовая станция ZHS-803

Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 6”, 8” |
| Диапазон перемещения X-Y | 270 x 500 мм |
| Точность позиционирования X/Y | < ±0.003 мм @200 мм |
| Разрешение X/Y | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 20 мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Автоматическая зондовая станция ZHS-506В

Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и чипов GPP. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5” |
| Диапазон перемещения X-Y | 170 x 240 мм |
| Точность позиционирования X/Y | < ±0.03 мм @150 мм |
| Разрешение | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 3 мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Автоматическая зондовая станция ZHS-606

Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5”, 6” |
| Диапазон перемещения X-Y | 240 x 300 мм |
| Точность позиционирования X/Y | < ±0.01 мм @160 мм |
| Разрешение X/Y | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 10 мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |
Автоматическая зондовая станция ZHS-501A

Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов чипов GPP. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме.
я
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 3”, 4”, 5” |
| Диапазон перемещения X-Y | 170 x 240 мм |
| Точность позиционирования X/Y | < ±0.03 мм @150 мм |
| Разрешение | 0.001 мм |
Держатель пластины
| Параметр | Значение |
| Диапазон перемещения по Z | 3 мм |
| Точность позиционирования Z | <±0.003 мм |
| Разрешение Z | 0.001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0.0013° |