Двусторонняя зондовая станция ZHS-609
Описание
Документы
Зондовая станция предназначена для анализа и контроля электрических параметров приборов с двух сторон полупроводниковой пластины. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры в автоматическом режиме.
Рабочая платформа
Параметр | Значение |
Диаметр пластин | 4”, 5” |
Диапазон перемещения X-Y | 170 x 240 мм |
Точность позиционирования X/Y | < ±0,01 мм @150 мм |
Разрешение X/Y | 0,001 мм |
Держатель пластины
Параметр | Значение |
Диапазон перемещения по Z | 10 мм |
Точность позиционирования Z | <±0,003 мм |
Разрешение Z | 0,001 мм |
Угол поворота ϴ | ±5° |
Разрешение по ϴ | 0,0013° |