Специальная зондовая станция ZHS-606T
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и тестирования кристаллов. Наряду с этим, имеется функция идентификации пластин по ID. Программное обеспечение включает в себя множество других функция, предоставляя пользователю широкие возможности по проведению тестов и позволяет значительно улучшить эффективность производства. Перечень применений включает в себя тестирование / получение характеристик I-V, C-V с пластин, микроэлектронных устройств, высоковольтных и оптоэлектронных приборов и др.
| Параметр | Значение |
| Диаметр пластин | 4”, 5”, 6” |
| Размер шага | 0,005 — 100 мм |
| Диапазон перемещения рабочей платформы X-Y | 180 x 240 мм |
| Скорость перемещения X/Y | > 200 мм/сек |
| Точность позиционирования X/Y | <±0,01 мм @160 мм |
| Разрешение X/Y | 0,001 мм |
| Диапазон перемещение держателя пластины по Z | 10 мм |
| Точность позиционирования Z | <±0,003 мм |
| Разрешение Z | 0,001 мм |
| Угол поворота ϴ | ±10° |
| Разрешение по ϴ | 0,0013° |
| Загрузка пластин | Ручная |
Документы
