ВЧ-генераторы плазмы
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
Преимущества
- Применение современных силовых устройств, собственный независимый дизайн.
Уровень локализации продукта составляет 100% Китайские комплектующие
Локализация — это ключевая особенность, позволяющая прорваться через монополию США. - ВЧ-генераторы обладают высокой точностью поддержания генерируемой мощности, обеспечивают стабильную работу, максимальную надежность и долгий срок службы оборудования.
- ВЧ-генераторы имеют различные конфигурации и интерфейсы управления. Водяное или воздушное охлаждение, аналоговое и цифровое управление.
- Генераторы прошли сертификацию безопасности и соответствуют требованиям Европейского Союза. ВЧ-генераторы являются надежным брендом в области полупроводников и обладают различными функциями, необходимыми для процессов производства полупроводников следующего поколения. Обладая новейшими технологиями и надежностью, наши продукты служат постоянно развивающейся полупроводниковой промышленности.
- Уникальная система защиты за счет постоянного мониторинга температуры и влажности внутри генератора. Распространенной причиной сбоев ВЧ-генераторов является повреждение печатной платы, вызванное чрезмерной внутренней температурой и влажностью. Наши продукты разработаны с самозащитой от чрезмерной температуры и влажности, что снижает частоту отказов.
- Конструкция превентивного обнаружения неисправностей
ВЧ-генераторы имеют ЖК-дисплей с визуальным интерфейсом и встроенной функцией фиксирования и сохранения неисправностей, чтобы облегчить диагностику оборудования. Любые записи сигналов тревоги и записи данных об использовании в производственном процессе можно запросить с панели. - Динамический мониторинг, высокая эффективность Согласующих устройств.
Дизайн динамического мониторинга позволяет пользователям быстро и удобно фиксировать точки согласования и повышать эффективность согласования. Панель согласующего устройства оснащена светодиодами, чем обеспечивается интуитивно понятную обратную связь в режиме реального времени о точке согласования импеданса, заданной точке и скорости согласования, что значительно облегчает установку и отладку, диагностику неисправностей и отладку процесса для инженеров. - Полный спектр производимых ВЧ-генераторов
Выходная частота: 400 кГц, 2 МГц, 4 МГц, 12 МГц, 13,56 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц, 128 МГц.
Выходная мощность: 300 Вт, 600 Вт, 1 кВт, 1,2 кВт, 3 кВт, 5 кВт, 6 кВт, 10 кВт, 20 кВт, 40 кВт, 60 кВт.
Входное напряжение: 220 В переменного тока, 400 В переменного тока, 480 В переменного тока
Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц)
Модель RFP-0313 Выходная мощность 300 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI ACG-3B AE Cesar 133 | Модель RFP-0613 Выходная мощность 600 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6A AE Cesar 136, AE RFX600A COMDEL CX-600AS | Модель RFP-1213 Выходная мощность 1200 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI OEM-12B/12A AE Cesar 1312 и другие модели |
Модель RFP-0113 Выходная мощность 100 Вт Частота 13,56 МГц | Модель RFP-1013 Выходная мощность 1000 Вт Частота 13,56 МГц Замена COMDEL CPS -1001/12 | Модель RFP-2813 Выходная мощность 2800 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI ACG-28B |
 Модель RFP-5013 Выходная мощность 5000 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI GHW-50A, ENI OEM-50A AE RFG5500 |  Модель RFP-2513 Выходная мощность 2500 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI OEM-25B |  Модель RFP-2013 Выходная мощность 2000 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI OEM-2000A AE Cesar 1320 |
 Модель RFP-1250 Выходная мощность 1200 Вт Частота 13,56 МГц Замена AE RFG1250/Halo, RFDS1250/Halo |  Модель RFP-1513 Выходная мощность 1500 Вт Частота 13,56 МГц Замена AE Paramount 1513, Apex 1513 |  Модель RFP-3000 Выходная мощность 3000 Вт Частота 13,56 МГц Замена AE Paramount 3013, Apex 3013 |
 Модель RFP-10013 Выходная мощность 10500 Вт Частота 13,56 МГц Замена ENI Spectrum 10513 AE Apex 10KW |  Модель RFP-6013 Выходная мощность 6000 Вт Частота 13,56 МГц Замена AE Paramount 6013 |  Модель RFP-15013 Выходная мощность 15000 Вт Частота 13,56 МГц Замена Adtech Daiohen Kyosan |
 Согласующее устройство Модель RFM-1513 Выходная мощность 1500 Вт Частота 13,56 МГц |  Согласующее устройство Модель RFM-2000 Выходная мощность 2000 Вт Частота 13,56 МГц |  Согласующее устройство Модель RFM-3013 Выходная мощность 3000 Вт Частота 13,56 МГц |  Согласующее устройство Модель RFM-5013 Выходная мощность 5000 Вт Частота 13,56 МГц |
Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (400 кГц)
 Модель RFP-400К Выходная мощность 1000 Вт Частота 400 кГц Замена AE LF-10ACOMDEL DP5836-01R2 |  Модель MFP-1000 Выходная мощность 1000 Вт Частота 400 кГц Замена AE LF-10A COMDEL DP5836-01R2 |  Модель MFP-2500 Выходная мощность 2500 Вт Частота 400 кГц Замена AE PDX II 2500 COMDEL CLX 2500 |
Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (40 кГц)
 Модель C20XMF Выходная мощность 20000 Вт Частота 40 кГц |  Модель C10XMF Выходная мощность 10000 Вт Частота 40 кГц |  Модель C30XMF Выходная мощность 30000 Вт Частота 40 кГц |
Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (2 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц)
 Модель RFP-3020 Выходная мощность 3000 Вт Частота 2 МГц Замена MKS GHW25, NOVA25 |  Модель RFP-5020 Выходная мощность 5000 Вт Частота 2 МГц Замена MKS GHW50, NOVA50 |  Модель RFP-2027 Выходная мощность 2000 Вт Частота 27 МГц |
 Модель RFP-5060 Выходная мощность 5000 Вт Частота 60 МГц |  Модель RFP-2040 Выходная мощность 2000 Вт Частота 40,68 МГц |  Модель RFP-5027 Выходная мощность 5000 Вт Частота 27 МГц |
Документы
