ВЧ-генераторы плазмы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Преимущества

  1. Применение современных силовых устройств, собственный независимый дизайн. 
    Уровень локализации продукта составляет 100% Китайские комплектующие
    Локализация — это ключевая особенность, позволяющая прорваться через монополию США.
  2. ВЧ-генераторы обладают высокой точностью поддержания генерируемой мощности, обеспечивают стабильную работу, максимальную надежность и долгий срок службы оборудования.
  3. ВЧ-генераторы имеют различные конфигурации и интерфейсы управления. Водяное или воздушное охлаждение, аналоговое и цифровое управление.
  4. Генераторы прошли сертификацию безопасности и соответствуют требованиям Европейского Союза. ВЧ-генераторы являются надежным брендом в области полупроводников и обладают различными функциями, необходимыми для процессов производства полупроводников следующего поколения. Обладая новейшими технологиями и надежностью, наши продукты служат постоянно развивающейся полупроводниковой промышленности.
  5. Уникальная система защиты за счет постоянного мониторинга температуры и влажности внутри генератора. Распространенной причиной сбоев ВЧ-генераторов является повреждение печатной платы, вызванное чрезмерной внутренней температурой и влажностью. Наши продукты разработаны с самозащитой от чрезмерной температуры и влажности, что снижает частоту отказов.
  6. Конструкция превентивного обнаружения неисправностей
    ВЧ-генераторы имеют ЖК-дисплей с визуальным интерфейсом и встроенной функцией фиксирования и сохранения неисправностей, чтобы облегчить диагностику оборудования. Любые записи сигналов тревоги и записи данных об использовании в производственном процессе можно запросить с панели.
  7. Динамический мониторинг, высокая эффективность Согласующих устройств.
    Дизайн динамического мониторинга позволяет пользователям быстро и удобно фиксировать точки согласования и повышать эффективность согласования. Панель согласующего устройства оснащена светодиодами, чем обеспечивается интуитивно понятную обратную связь в режиме реального времени о точке согласования импеданса, заданной точке и скорости согласования, что значительно облегчает установку и отладку, диагностику неисправностей и отладку процесса для инженеров.
  8. Полный спектр производимых ВЧ-генераторов
    Выходная частота: 400 кГц, 2 МГц, 4 МГц, 12 МГц, 13,56 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц, 128 МГц.
    Выходная мощность: 300 Вт, 600 Вт, 1 кВт, 1,2 кВт, 3 кВт, 5 кВт, 6 кВт, 10 кВт, 20 кВт, 40 кВт, 60 кВт.
    Входное напряжение: 220 В переменного тока, 400 В переменного тока, 480 В переменного тока

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц)

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ


Модель RFP-0313
Выходная мощность 300 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-3B
AE Cesar 133 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-0613
Выходная мощность 600 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6A
AE Cesar 136, AE RFX600A
COMDEL CX-600AS
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1213
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-12B/12A
AE Cesar 1312 и другие модели 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ




Модель RFP-0113
Выходная мощность 100 Вт
Частота 13,56 МГц   
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1013
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
COMDEL CPS -1001/12
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-2813
Выходная мощность 2800 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-28B


Модель RFP-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI GHW-50A, ENI OEM-50A
AE RFG5500



Модель RFP-2513
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-25B 


Модель RFP-2013
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-2000A
AE Cesar 1320


Модель RFP-1250
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE RFG1250/Halo, RFDS1250/Halo


Модель RFP-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 1513, Apex 1513


Модель RFP-3000
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 3013, Apex 3013


Модель RFP-10013
Выходная мощность 10500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI Spectrum 10513
AE Apex 10KW


Модель RFP-6013
Выходная мощность 6000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 6013


Модель RFP-15013
Выходная мощность 15000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
Adtech Daiohen Kyosan


Согласующее устройство
Модель RFM-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-2000
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-3013
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (400 кГц)



Модель RFP-400К
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10ACOMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-1000
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10A
COMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-2500
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE PDX II 2500 
COMDEL CLX 2500

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (40 кГц)



Модель C20XMF
Выходная мощность 20000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C10XMF
Выходная мощность 10000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C30XMF
Выходная мощность 30000 Вт
Частота 40 кГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (2 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц)



Модель RFP-3020
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW25, NOVA25


Модель RFP-5020
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW50, NOVA50


Модель RFP-2027
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 27 МГц   


Модель RFP-5060
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 60 МГц 


Модель RFP-2040
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 40,68 МГц 


Модель RFP-5027
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 27 МГц 

Документы

ЭОМС-RF-generators.pdf 1.02 МБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]