ВЧ-генераторы плазмы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Преимущества

  1. Применение современных силовых устройств, собственный независимый дизайн. 
    Уровень локализации продукта составляет 100% Китайские комплектующие
    Локализация — это ключевая особенность, позволяющая прорваться через монополию США.
  2. ВЧ-генераторы обладают высокой точностью поддержания генерируемой мощности, обеспечивают стабильную работу, максимальную надежность и долгий срок службы оборудования.
  3. ВЧ-генераторы имеют различные конфигурации и интерфейсы управления. Водяное или воздушное охлаждение, аналоговое и цифровое управление.
  4. Генераторы прошли сертификацию безопасности и соответствуют требованиям Европейского Союза. ВЧ-генераторы являются надежным брендом в области полупроводников и обладают различными функциями, необходимыми для процессов производства полупроводников следующего поколения. Обладая новейшими технологиями и надежностью, наши продукты служат постоянно развивающейся полупроводниковой промышленности.
  5. Уникальная система защиты за счет постоянного мониторинга температуры и влажности внутри генератора. Распространенной причиной сбоев ВЧ-генераторов является повреждение печатной платы, вызванное чрезмерной внутренней температурой и влажностью. Наши продукты разработаны с самозащитой от чрезмерной температуры и влажности, что снижает частоту отказов.
  6. Конструкция превентивного обнаружения неисправностей
    ВЧ-генераторы имеют ЖК-дисплей с визуальным интерфейсом и встроенной функцией фиксирования и сохранения неисправностей, чтобы облегчить диагностику оборудования. Любые записи сигналов тревоги и записи данных об использовании в производственном процессе можно запросить с панели.
  7. Динамический мониторинг, высокая эффективность Согласующих устройств.
    Дизайн динамического мониторинга позволяет пользователям быстро и удобно фиксировать точки согласования и повышать эффективность согласования. Панель согласующего устройства оснащена светодиодами, чем обеспечивается интуитивно понятную обратную связь в режиме реального времени о точке согласования импеданса, заданной точке и скорости согласования, что значительно облегчает установку и отладку, диагностику неисправностей и отладку процесса для инженеров.
  8. Полный спектр производимых ВЧ-генераторов
    Выходная частота: 400 кГц, 2 МГц, 4 МГц, 12 МГц, 13,56 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц, 128 МГц.
    Выходная мощность: 300 Вт, 600 Вт, 1 кВт, 1,2 кВт, 3 кВт, 5 кВт, 6 кВт, 10 кВт, 20 кВт, 40 кВт, 60 кВт.
    Входное напряжение: 220 В переменного тока, 400 В переменного тока, 480 В переменного тока

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц)

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ


Модель RFP-0313
Выходная мощность 300 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-3B
AE Cesar 133 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-0613
Выходная мощность 600 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6A
AE Cesar 136, AE RFX600A
COMDEL CX-600AS
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1213
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-12B/12A
AE Cesar 1312 и другие модели 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ




Модель RFP-0113
Выходная мощность 100 Вт
Частота 13,56 МГц   
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1013
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
COMDEL CPS -1001/12
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-2813
Выходная мощность 2800 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-28B


Модель RFP-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI GHW-50A, ENI OEM-50A
AE RFG5500



Модель RFP-2513
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-25B 


Модель RFP-2013
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-2000A
AE Cesar 1320


Модель RFP-1250
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE RFG1250/Halo, RFDS1250/Halo


Модель RFP-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 1513, Apex 1513


Модель RFP-3000
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 3013, Apex 3013


Модель RFP-10013
Выходная мощность 10500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI Spectrum 10513
AE Apex 10KW


Модель RFP-6013
Выходная мощность 6000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 6013


Модель RFP-15013
Выходная мощность 15000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
Adtech Daiohen Kyosan


Согласующее устройство
Модель RFM-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-2000
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-3013
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (400 кГц)



Модель RFP-400К
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10ACOMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-1000
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10A
COMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-2500
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE PDX II 2500 
COMDEL CLX 2500

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (40 кГц)



Модель C20XMF
Выходная мощность 20000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C10XMF
Выходная мощность 10000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C30XMF
Выходная мощность 30000 Вт
Частота 40 кГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (2 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц)



Модель RFP-3020
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW25, NOVA25


Модель RFP-5020
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW50, NOVA50


Модель RFP-2027
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 27 МГц   


Модель RFP-5060
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 60 МГц 


Модель RFP-2040
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 40,68 МГц 


Модель RFP-5027
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 27 МГц 

Документы

ЭОМС-RF-generators.pdf 1.02 МБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]