Водяной скруббер NSOW600
Описание
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов.
Основные преимущества
- Производительность – 600 л/мин;
- Антикоррозийная защита (использование коррозионностойких материалов при изготовлении);
- Удобное техническое обслуживание;
- Стабильная работа;
- Низкие эксплуатационные расходы;
- Простота настройки работы в автоматическом режиме;
- Основная область применения — полупроводниковое производство.
Обрабатываемые газы
Вид газов | Пример |
Водорастворимые газы | Cl2, BCl3, F2, HCl, HBr, NH3 и др. |
Состав системы

Впускной узел (опция)

Функции впускного узла:
- Защита от выхода обратного потока газа и влаги с помощью газового затвора N2;
- Промыв впускного клапана в случае загрязнения.
Распылительная форсунка

Функции распылительной форсунки:
- Очистка водорастворимых газов, таких как NH3, Cl2, F2, HCl, HF, с помощью сконцентрированного распыления воды (душевания);
- Увеличение удельной площади обработки с помощью повышения эффективности душевания.
Промывочная установка

Особенности промывочной установки:
- Вертикальная система слива обеспечивает эффективное удаление осадка;
- Повышение эффективности промывки за счет увеличения площади контакта газа и жидкости;
- Осушение газа после промывки сводит к минимуму содержание влаги на выходе.
Система циркуляции воды

Особенности системы циркуляции воды:
- Снижение расхода воды за счёт использования замкнутого цикла циркуляции;
- Максимальная растворимость обрабатываемых газов;
- Усиленная концентрация воды для ускорения процесса очистки и увеличения объёма обрабатываемого газа;
- Резервуар для воды из коррозионностойкого материала.
Эффективность очистки газов
Газ | Степень очистки* |
NH3 | > 99% |
Cl2 | > 99% |
HCl | > 99% |
F2 | > 99% |