Серия скрубберов высокотемпературного плазменного дожига с последующей жидкостной доочисткой NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Производительность: 
    — NSPW600 – 600 л/мин;
    — NSPW1.5K – 1500 л/мин;
    — NSPW3K – 3000 л/мин.
  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа.
  • Длительный срок службы плазменной горелки.
  • Антикоррозионная защита.
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме.
  • Основные отрасли применения: полупроводники, FPD, солнечные батареи, светодиоды.

ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl, NH3
Горючие газыH2, NH3
Токсичные газыPH3, BCl3
Фторированные соединенияNF3, CF4, SF6, C2F6

СОСТАВ СИСТЕМЫ

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Плазменная горелка состоит из катода, анода, канала подачи N2, канала охлаждения, изолятора и т.д. Дуговой разряд генерируется между катодом и анодом с помощью потока N2, который заряжается мощной энергией.

Основные особенности плазменной горелки:

  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа от ПФУ.
  • Идеальная защитная блокировка.
  • Длительный срок службы.

КАМЕРА ДОЖИГА

Главное предназначение камеры дожига состоит в предотвращении встречной реакции газов на входе в систему очистки за счёт использования отдельных клапанов.

Основные особенности камеры дожига:

  • Впуск газа через разные клапаны для предотвращения встречной реакции газовых потоков перед их заходом в рабочую камеру.
  • Продувка впускных клапанов Nдля предохранения от засора и для защиты от обратного возгорания.  

РАБОЧАЯ КАМЕРА (КАМЕРА СГОРАНИЯ)

Особенности рабочей камеры:

  • Предотвращение накопления загрязнения на стенках камеры.
  • Выделение и сжигание побочных газовых примесей.
  • Простота обслуживания за счет возможности вращения камеры вокруг своей оси.
  • Высокая производительность.

ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ФЛАНЕЦ

Предназначение промежуточного фланца состоит в предотвращении загрязнения в переходе между сухой и влажной зонами.

Особенности промежуточного фланца:

  • Изоляция между сухой и влажной зонами с помощью газового затвора (N2).
  • Предотвращение загрязнения водяного патрубка за счёт циклонной водяной очистки.

ВОДЯНОЙ РЕЗЕРВУАР

В водяном резервуаре происходит дополнительная очистка водорастворимых газов с помощью абсорбера и душевания.

Особенности водяного резервуара:

  • Замкнутая циркуляция воды.
  • Быстрая и эффективная очистка водорастворимых газов через душевание.
  • Антикоррозионное тефлоновое покрытие.

ВОДЯНАЯ КАМЕРА

Водяная камера предназначена для удаления пыли и побочных элементов, которые могут образовываться на предыдущих этапах очистки.

Особенности водяной камеры:

  • Максимальная эффективность очистки водорастворимых газов.
  • Очистка от осевшей пыли.
  • Дополнительное охлаждение и контроль температуры газов на выходе.

БЛОК ПИТАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГОРЕЛКИ

            Блок питания преобразует электроэнергию и управляет питанием плазменной горелки для оптимизации процесса воспламенения плазмы.

Основные функции блока питания:

  • Преобразование переменного тока в постоянный (макс. мощность питания — 15 кВт).
  • Обеспечение бесперебойного и безопасного питания с помощью высоковольтной схемы защиты.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ГАЗОВ

ГазDRE
Cl2> 99%
BCl3> 99%
CHF3> 99%
CF4> 95%
NF3> 99%
SF6> 95%

Документы

NSPW.pdf 1.05 МБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]