Серия скрубберов высокотемпературного плазменного дожига с последующей жидкостной доочисткой NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Производительность: 
    — NSPW600 – 600 л/мин;
    — NSPW1.5K – 1500 л/мин;
    — NSPW3K – 3000 л/мин.
  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа.
  • Длительный срок службы плазменной горелки.
  • Антикоррозионная защита.
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме.
  • Основные отрасли применения: полупроводники, FPD, солнечные батареи, светодиоды.

ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl, NH3
Горючие газыH2, NH3
Токсичные газыPH3, BCl3
Фторированные соединенияNF3, CF4, SF6, C2F6

СОСТАВ СИСТЕМЫ

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Плазменная горелка состоит из катода, анода, канала подачи N2, канала охлаждения, изолятора и т.д. Дуговой разряд генерируется между катодом и анодом с помощью потока N2, который заряжается мощной энергией.

Основные особенности плазменной горелки:

  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа от ПФУ.
  • Идеальная защитная блокировка.
  • Длительный срок службы.

КАМЕРА ДОЖИГА

Главное предназначение камеры дожига состоит в предотвращении встречной реакции газов на входе в систему очистки за счёт использования отдельных клапанов.

Основные особенности камеры дожига:

  • Впуск газа через разные клапаны для предотвращения встречной реакции газовых потоков перед их заходом в рабочую камеру.
  • Продувка впускных клапанов Nдля предохранения от засора и для защиты от обратного возгорания.  

РАБОЧАЯ КАМЕРА (КАМЕРА СГОРАНИЯ)

Особенности рабочей камеры:

  • Предотвращение накопления загрязнения на стенках камеры.
  • Выделение и сжигание побочных газовых примесей.
  • Простота обслуживания за счет возможности вращения камеры вокруг своей оси.
  • Высокая производительность.

ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ФЛАНЕЦ

Предназначение промежуточного фланца состоит в предотвращении загрязнения в переходе между сухой и влажной зонами.

Особенности промежуточного фланца:

  • Изоляция между сухой и влажной зонами с помощью газового затвора (N2).
  • Предотвращение загрязнения водяного патрубка за счёт циклонной водяной очистки.

ВОДЯНОЙ РЕЗЕРВУАР

В водяном резервуаре происходит дополнительная очистка водорастворимых газов с помощью абсорбера и душевания.

Особенности водяного резервуара:

  • Замкнутая циркуляция воды.
  • Быстрая и эффективная очистка водорастворимых газов через душевание.
  • Антикоррозионное тефлоновое покрытие.

ВОДЯНАЯ КАМЕРА

Водяная камера предназначена для удаления пыли и побочных элементов, которые могут образовываться на предыдущих этапах очистки.

Особенности водяной камеры:

  • Максимальная эффективность очистки водорастворимых газов.
  • Очистка от осевшей пыли.
  • Дополнительное охлаждение и контроль температуры газов на выходе.

БЛОК ПИТАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГОРЕЛКИ

            Блок питания преобразует электроэнергию и управляет питанием плазменной горелки для оптимизации процесса воспламенения плазмы.

Основные функции блока питания:

  • Преобразование переменного тока в постоянный (макс. мощность питания — 15 кВт).
  • Обеспечение бесперебойного и безопасного питания с помощью высоковольтной схемы защиты.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ГАЗОВ

ГазDRE
Cl2> 99%
BCl3> 99%
CHF3> 99%
CF4> 95%
NF3> 99%
SF6> 95%

Документы

NSPW.pdf 1.05 МБ
pdf

Новости


Новости компании Открыт эксклюзивный сервисный центр KYKY TECHNOLOGY в Зеленограде.  

Осенью прошлого года компания ООО «НПК ЭОМС» получила права на открытие эксклюзивного авторизованного сервисного центра по ремонту и обслуживанию вакуумного оборудования всемирно известной китайской компании KYKY TECHNOLOGY CO., LTD, которая является одним из ведущих мировых производителей безмасляных вакуумных насосов для производства микроэлектроники и гелевых течеискателей. Если вам требуется профессиональная техническая поддержка, обслуживание или ремонт техники […]

Новости компании С Новым годом и Рождеством!

Новый год — пора новых возможностей, оригинальных идей и интересных проектов. Желаем вам безопасного ведения дел, надёжных партнеров в команде и благоприятных сделок. Желаем грандиозных планов, реализации всего задуманного и колоссального роста! Давайте продолжим наше приятное сотрудничество и в Новом году вместе добьёмся еще большего успеха! С Новым годом и Рождеством!

Новости компании Модули расширения частотного диапазона (гармонические смесители). Диапазон частот от 75 ГГц до 110 ГГц.

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования  новых модулей расширения частотного диапазона марки XS. Гармонические смесители марки XS применяются для расширения частотного диапазона векторных анализаторов цепей при разработке и испытаниях устройств в лабораториях и в условиях производства. Технические характеристики гармонических смесителей XS Структурная схема гармонического смесителя 75 ГГц – […]

Новости компании Продукция компании занесена в Государственный реестр средств измерений

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении высокоточных источников – измерителей напряжения и силы тока (SMU) серии N2600 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93903-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». На рынке источники- измерители NGI серия N2600 представлены […]

Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

Новости компании НПК «ЭОМС» на форуме «Микроэлектроника – 2024».

Сотрудники НПК «ЭОМС» вместе с коллегами из ряда смежных предприятий Китайской Народной Республики приняли участие в выставке, проходившей с 23 по 27 сентября в г. Сочи на базе Университета «Сириус» в рамках 10-го Юбилейного Российского форума «Микроэлектроника-2024». На выставке были представлены такие направления деятельности нашей компании как оборудование для производства полупроводников, высоконадёжные электронные компоненты и […]

Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока NGI серии N3410 внесены в Государственный реестр средств измерений.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении трехканальных источников питания постоянного серии N 34101 в Государственный реестр средств измерений РФ(номер в Госреестре- 92980-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Трехканальный источник питания постоянного тока серии N3410 N3410 — […]

Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]