Серия скрубберов высокотемпературного плазменного дожига с последующей жидкостной доочисткой NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Производительность: 
    — NSPW600 – 600 л/мин;
    — NSPW1.5K – 1500 л/мин;
    — NSPW3K – 3000 л/мин.
  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа.
  • Длительный срок службы плазменной горелки.
  • Антикоррозионная защита.
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме.
  • Основные отрасли применения: полупроводники, FPD, солнечные батареи, светодиоды.

ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl, NH3
Горючие газыH2, NH3
Токсичные газыPH3, BCl3
Фторированные соединенияNF3, CF4, SF6, C2F6

СОСТАВ СИСТЕМЫ

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Плазменная горелка состоит из катода, анода, канала подачи N2, канала охлаждения, изолятора и т.д. Дуговой разряд генерируется между катодом и анодом с помощью потока N2, который заряжается мощной энергией.

Основные особенности плазменной горелки:

  • Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
  • Превосходная эффективность очистки газа от ПФУ.
  • Идеальная защитная блокировка.
  • Длительный срок службы.

КАМЕРА ДОЖИГА

Главное предназначение камеры дожига состоит в предотвращении встречной реакции газов на входе в систему очистки за счёт использования отдельных клапанов.

Основные особенности камеры дожига:

  • Впуск газа через разные клапаны для предотвращения встречной реакции газовых потоков перед их заходом в рабочую камеру.
  • Продувка впускных клапанов Nдля предохранения от засора и для защиты от обратного возгорания.  

РАБОЧАЯ КАМЕРА (КАМЕРА СГОРАНИЯ)

Особенности рабочей камеры:

  • Предотвращение накопления загрязнения на стенках камеры.
  • Выделение и сжигание побочных газовых примесей.
  • Простота обслуживания за счет возможности вращения камеры вокруг своей оси.
  • Высокая производительность.

ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ФЛАНЕЦ

Предназначение промежуточного фланца состоит в предотвращении загрязнения в переходе между сухой и влажной зонами.

Особенности промежуточного фланца:

  • Изоляция между сухой и влажной зонами с помощью газового затвора (N2).
  • Предотвращение загрязнения водяного патрубка за счёт циклонной водяной очистки.

ВОДЯНОЙ РЕЗЕРВУАР

В водяном резервуаре происходит дополнительная очистка водорастворимых газов с помощью абсорбера и душевания.

Особенности водяного резервуара:

  • Замкнутая циркуляция воды.
  • Быстрая и эффективная очистка водорастворимых газов через душевание.
  • Антикоррозионное тефлоновое покрытие.

ВОДЯНАЯ КАМЕРА

Водяная камера предназначена для удаления пыли и побочных элементов, которые могут образовываться на предыдущих этапах очистки.

Особенности водяной камеры:

  • Максимальная эффективность очистки водорастворимых газов.
  • Очистка от осевшей пыли.
  • Дополнительное охлаждение и контроль температуры газов на выходе.

БЛОК ПИТАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГОРЕЛКИ

            Блок питания преобразует электроэнергию и управляет питанием плазменной горелки для оптимизации процесса воспламенения плазмы.

Основные функции блока питания:

  • Преобразование переменного тока в постоянный (макс. мощность питания — 15 кВт).
  • Обеспечение бесперебойного и безопасного питания с помощью высоковольтной схемы защиты.

ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ГАЗОВ

ГазDRE
Cl2> 99%
BCl3> 99%
CHF3> 99%
CF4> 95%
NF3> 99%
SF6> 95%

Документы

NSPW.pdf 1.05 МБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]