Серия скрубберов высокотемпературного плазменного дожига с последующей жидкостной доочисткой NSPW600, NSPW1.5K, NSPW3K
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой.
ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
- Производительность:
— NSPW600 – 600 л/мин;
— NSPW1.5K – 1500 л/мин;
— NSPW3K – 3000 л/мин. - Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
- Превосходная эффективность очистки газа.
- Длительный срок службы плазменной горелки.
- Антикоррозионная защита.
- Простая настройка работы в автоматическом режиме.
- Основные отрасли применения: полупроводники, FPD, солнечные батареи, светодиоды.
ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ
ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ
| Вид газов | Пример |
| Соединения Si | SiH4, SiH2Cl2, TEOS |
| Водорастворимые газы | Cl2, F2, HCl, NH3 |
| Горючие газы | H2, NH3 |
| Токсичные газы | PH3, BCl3 |
| Фторированные соединения | NF3, CF4, SF6, C2F6 |
СОСТАВ СИСТЕМЫ
ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА
Плазменная горелка состоит из катода, анода, канала подачи N2, канала охлаждения, изолятора и т.д. Дуговой разряд генерируется между катодом и анодом с помощью потока N2, который заряжается мощной энергией.
Основные особенности плазменной горелки:
- Низкое потребление электроэнергии при высокой производительности.
- Превосходная эффективность очистки газа от ПФУ.
- Идеальная защитная блокировка.
- Длительный срок службы.
КАМЕРА ДОЖИГА
Главное предназначение камеры дожига состоит в предотвращении встречной реакции газов на входе в систему очистки за счёт использования отдельных клапанов.
Основные особенности камеры дожига:
- Впуск газа через разные клапаны для предотвращения встречной реакции газовых потоков перед их заходом в рабочую камеру.
- Продувка впускных клапанов N2 для предохранения от засора и для защиты от обратного возгорания.
РАБОЧАЯ КАМЕРА (КАМЕРА СГОРАНИЯ)
Особенности рабочей камеры:
- Предотвращение накопления загрязнения на стенках камеры.
- Выделение и сжигание побочных газовых примесей.
- Простота обслуживания за счет возможности вращения камеры вокруг своей оси.
- Высокая производительность.
ПРОМЕЖУТОЧНЫЙ ФЛАНЕЦ
Предназначение промежуточного фланца состоит в предотвращении загрязнения в переходе между сухой и влажной зонами.
Особенности промежуточного фланца:
- Изоляция между сухой и влажной зонами с помощью газового затвора (N2).
- Предотвращение загрязнения водяного патрубка за счёт циклонной водяной очистки.
ВОДЯНОЙ РЕЗЕРВУАР
В водяном резервуаре происходит дополнительная очистка водорастворимых газов с помощью абсорбера и душевания.
Особенности водяного резервуара:
- Замкнутая циркуляция воды.
- Быстрая и эффективная очистка водорастворимых газов через душевание.
- Антикоррозионное тефлоновое покрытие.
ВОДЯНАЯ КАМЕРА
Водяная камера предназначена для удаления пыли и побочных элементов, которые могут образовываться на предыдущих этапах очистки.
Особенности водяной камеры:
- Максимальная эффективность очистки водорастворимых газов.
- Очистка от осевшей пыли.
- Дополнительное охлаждение и контроль температуры газов на выходе.
БЛОК ПИТАНИЯ ПЛАЗМЕННОЙ ГОРЕЛКИ
Блок питания преобразует электроэнергию и управляет питанием плазменной горелки для оптимизации процесса воспламенения плазмы.
Основные функции блока питания:
- Преобразование переменного тока в постоянный (макс. мощность питания — 15 кВт).
- Обеспечение бесперебойного и безопасного питания с помощью высоковольтной схемы защиты.
ЭФФЕКТИВНОСТЬ ОЧИСТКИ ГАЗОВ
| Газ | DRE |
| Cl2 | > 99% |
| BCl3 | > 99% |
| CHF3 | > 99% |
| CF4 | > 95% |
| NF3 | > 99% |
| SF6 | > 95% |
Документы
