Серия скрубберов сухого плазменного дожига NSGB1.5K/3K, NSGC1.5K/3K, NSGW1.5K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3).

Основные преимущества

  • Производительность:
    — Модель 1.5К — 1500 л/мин (H2 — 200 SLM, NH3 — 100 SLM);
    — Модель 3К – 3000 л/мин (H2 — 400SLM, NH3 — 200SLM);
  • Энергоэкономичность при высокой производительности;
  • Высокая эффективность очистки DRE (>99%);
  • Длительный эксплуатационный цикл;
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме;
  • Специальная конструкция, позволяющая избежать проблем с закалкой;
  • Основная сфера применения – MOCVD.

Модельный ряд

МодельГазыПример
NSGB1.5K/3KСоединения SiSiH4
NSGC1.5K/3KГорючие газыH2, NН3
NSGW1.5KТоксичные газыPH3, CO

Компоновка системы и технологическая схема

Установка сухого плазменного дожига

Особенности сухого плазменного дожига:

  • Дожиг при температуре вспышки газа с помощью дугового зажигания (0,2-0,3 кВт);
  • Безопасный дожиг слабого потока газа за счет плавного дугового разряда (подача воздуха: 10 — 20 л/мин);
  • Обеспечение безопасного протекания всех технологических процессов даже если температура в камере не поддерживается на должном уровне из-за повреждения нагревателя.

Камера дожига и кожух нагревателя

Особенности камеры дожига:

  • Нагреватель состоит из двух элементов (7 кВт ×2EA), которые при необходимость могут быть заменены по отдельности;
  • Повышенная эффективность и стабильность обработки за счет подачи газа на внутреннюю поверхность стены нагревателя для предварительного нагрева.

Камера охлаждения

Особенности камеры охлаждения:

  • Система непрямого охлаждения газа, прошедшего дожиг, позволяет уменьшить парообразование.

Резервуар для конденсата

Особенности резервуара для конденсата:

  • Автоматический отвод конденсата с помощью фотодатчика (датчика уровня);
  • Использование штифтовой трубки для повышения эффективности охлаждения;
  • Простота технического обслуживания с помощью специального окна.

Камера охлаждения pcw

Особенности камеры охлаждения PCW:

  • Понижение температуру газа с помощью непрямого водяного охлаждения;
  • Циркуляция воды по замкнутому циклу.

Система нагнетания воздуха

Особенности системы нагнетания воздуха:

  • Компрессорная подача воздуха в камеру дожига;
  • Отсутствие перегрева благодаря использованию вытяжки нагретого воздуха;

Эффективность очистки газов

СубстратEFFМеждународные стандартыПримечание
H2<1%На 4% — 94% ниже предела горения H2
NH3<25 ppm (TLV)Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB14554-93) Стандарт первого класса — 4900 г/чНамного ниже национального стандарта КНР
NOx<160 мг/м3Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB16297-1996) Стандарт первого класса — 240 мг/м3Ниже многих национальных стандартов
Технологический конденсат<15 мг/лСоответствие международным стандартам по сбросу сточных вод (GB8978-1996 и CJ3082-199) Стандарт первого класса — 15 мг/лСоответствие всем национальным стандартам

Документы

Серия-скрубберов-сухого-плазменного-дожига.pdf 768.03 КБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]