Серия скрубберов сухого плазменного дожига NSGB1.5K/3K, NSGC1.5K/3K, NSGW1.5K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3).

Основные преимущества

  • Производительность:
    — Модель 1.5К — 1500 л/мин (H2 — 200 SLM, NH3 — 100 SLM);
    — Модель 3К – 3000 л/мин (H2 — 400SLM, NH3 — 200SLM);
  • Энергоэкономичность при высокой производительности;
  • Высокая эффективность очистки DRE (>99%);
  • Длительный эксплуатационный цикл;
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме;
  • Специальная конструкция, позволяющая избежать проблем с закалкой;
  • Основная сфера применения – MOCVD.

Модельный ряд

МодельГазыПример
NSGB1.5K/3KСоединения SiSiH4
NSGC1.5K/3KГорючие газыH2, NН3
NSGW1.5KТоксичные газыPH3, CO

Компоновка системы и технологическая схема

Установка сухого плазменного дожига

Особенности сухого плазменного дожига:

  • Дожиг при температуре вспышки газа с помощью дугового зажигания (0,2-0,3 кВт);
  • Безопасный дожиг слабого потока газа за счет плавного дугового разряда (подача воздуха: 10 — 20 л/мин);
  • Обеспечение безопасного протекания всех технологических процессов даже если температура в камере не поддерживается на должном уровне из-за повреждения нагревателя.

Камера дожига и кожух нагревателя

Особенности камеры дожига:

  • Нагреватель состоит из двух элементов (7 кВт ×2EA), которые при необходимость могут быть заменены по отдельности;
  • Повышенная эффективность и стабильность обработки за счет подачи газа на внутреннюю поверхность стены нагревателя для предварительного нагрева.

Камера охлаждения

Особенности камеры охлаждения:

  • Система непрямого охлаждения газа, прошедшего дожиг, позволяет уменьшить парообразование.

Резервуар для конденсата

Особенности резервуара для конденсата:

  • Автоматический отвод конденсата с помощью фотодатчика (датчика уровня);
  • Использование штифтовой трубки для повышения эффективности охлаждения;
  • Простота технического обслуживания с помощью специального окна.

Камера охлаждения pcw

Особенности камеры охлаждения PCW:

  • Понижение температуру газа с помощью непрямого водяного охлаждения;
  • Циркуляция воды по замкнутому циклу.

Система нагнетания воздуха

Особенности системы нагнетания воздуха:

  • Компрессорная подача воздуха в камеру дожига;
  • Отсутствие перегрева благодаря использованию вытяжки нагретого воздуха;

Эффективность очистки газов

СубстратEFFМеждународные стандартыПримечание
H2<1%На 4% — 94% ниже предела горения H2
NH3<25 ppm (TLV)Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB14554-93) Стандарт первого класса — 4900 г/чНамного ниже национального стандарта КНР
NOx<160 мг/м3Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB16297-1996) Стандарт первого класса — 240 мг/м3Ниже многих национальных стандартов
Технологический конденсат<15 мг/лСоответствие международным стандартам по сбросу сточных вод (GB8978-1996 и CJ3082-199) Стандарт первого класса — 15 мг/лСоответствие всем национальным стандартам

Документы

Серия-скрубберов-сухого-плазменного-дожига.pdf 768.03 КБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]