Серия скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃.

Основные преимущества

  • Производительность: 
    — NSHW600 — 600 л/мин;
    — NSHW1.5K – 1500 л/мин;
  • Энергоэкономичность при высокой производительности;
  • Высокая эффективность очистки;
  • Антикоррозионная защита;
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме;
  • Сферы применения – производство полупроводников, гибких дисплеев (FPD), солнечных батарей, светодиодов (LED);
  • Основные технологические циклы применения – CVD / Травление / диффузия / и т.д.

Обрабатываемые газы

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Горючие газы H2, NH3
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl
Токсичные газыPH3, BCl3
Газы ПФУNF3

Состав системы

Состав системы серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Рабочая камера 

Рабочая камера серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности рабочей камеры:

  • Нагревательный стержень втулочного типа адаптирован для повышения эффективности нагрева и простоты замены;
  • Возможность обработки больших объёмов газа;
  • Система осевого вращения предполагает простоту обслуживания (очистка полости от пыли и т.д.);
  • При добавлении CDA используется циклонный метод, позволяющий избежать накопления пыли в локальной зоне;
  • Стабильная работа конструкции из двух групп нагревательных стержней треугольной формы (всего 6 нагревательных стержней).

Средний фланец

Средний фланец серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности среднего фланца:

  • Благодаря газовому барьеру из азота (N2) сухая и влажная зона идеально разделены, что позволяет избежать обратного потока водяного пара в рабочую камеру;
  • Применение циклонной промывки для предотвращения накопления пыли;
  • Вторая ступень среднего фланца покрыта тефлоном во избежание коррозии.  

Промывочная установка

Промывочная установка серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности промывочной установки:

  • Эффективность очистки водорастворимого газа максимизируется за счет использования водяного распылителя и насадки;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление скопившейся пыли.

Душевание

Система душевания в серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности душевания:

  • Процедура душевания необходима для очистки газа от побочных примесей в виде пыли или тумана;
  • Максимальная очистка водорастворимых газов;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление осадка;
  • Контроль температуры газа на выходе.

Резервуар для воды

Резервуар для воду серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности резервуара для воды:

  • Замкнутый цикл использования воды с минимальными потерями;
  • Наличие смотрового окна для визуального контроля за процессом циркуляции;
  • Герметичный поддон с датчиком утечки;
  • Автоматическое управление уровнем жидкости.

Эффективность очистки газов

ГазСтепень очистки
SiH499 %
PH399 %
DCS99 %
SiF499 %
B2H699 %
TEOS95 %
NH390 %
BF390 %
N2O90 %
H2S90 %
CHF390 %
ClF390 %
HCl90 %
NF380 %

Документы

Серия-скрубберов-с-электронагревом-и-душеванием-PS.pdf 907.61 КБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]