Серия скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃.

Основные преимущества

  • Производительность: 
    — NSHW600 — 600 л/мин;
    — NSHW1.5K – 1500 л/мин;
  • Энергоэкономичность при высокой производительности;
  • Высокая эффективность очистки;
  • Антикоррозионная защита;
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме;
  • Сферы применения – производство полупроводников, гибких дисплеев (FPD), солнечных батарей, светодиодов (LED);
  • Основные технологические циклы применения – CVD / Травление / диффузия / и т.д.

Обрабатываемые газы

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Горючие газы H2, NH3
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl
Токсичные газыPH3, BCl3
Газы ПФУNF3

Состав системы

Состав системы серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Рабочая камера 

Рабочая камера серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности рабочей камеры:

  • Нагревательный стержень втулочного типа адаптирован для повышения эффективности нагрева и простоты замены;
  • Возможность обработки больших объёмов газа;
  • Система осевого вращения предполагает простоту обслуживания (очистка полости от пыли и т.д.);
  • При добавлении CDA используется циклонный метод, позволяющий избежать накопления пыли в локальной зоне;
  • Стабильная работа конструкции из двух групп нагревательных стержней треугольной формы (всего 6 нагревательных стержней).

Средний фланец

Средний фланец серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности среднего фланца:

  • Благодаря газовому барьеру из азота (N2) сухая и влажная зона идеально разделены, что позволяет избежать обратного потока водяного пара в рабочую камеру;
  • Применение циклонной промывки для предотвращения накопления пыли;
  • Вторая ступень среднего фланца покрыта тефлоном во избежание коррозии.  

Промывочная установка

Промывочная установка серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности промывочной установки:

  • Эффективность очистки водорастворимого газа максимизируется за счет использования водяного распылителя и насадки;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление скопившейся пыли.

Душевание

Система душевания в серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности душевания:

  • Процедура душевания необходима для очистки газа от побочных примесей в виде пыли или тумана;
  • Максимальная очистка водорастворимых газов;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление осадка;
  • Контроль температуры газа на выходе.

Резервуар для воды

Резервуар для воду серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности резервуара для воды:

  • Замкнутый цикл использования воды с минимальными потерями;
  • Наличие смотрового окна для визуального контроля за процессом циркуляции;
  • Герметичный поддон с датчиком утечки;
  • Автоматическое управление уровнем жидкости.

Эффективность очистки газов

ГазСтепень очистки
SiH499 %
PH399 %
DCS99 %
SiF499 %
B2H699 %
TEOS95 %
NH390 %
BF390 %
N2O90 %
H2S90 %
CHF390 %
ClF390 %
HCl90 %
NF380 %

Документы

Серия-скрубберов-с-электронагревом-и-душеванием-PS.pdf 907.61 КБ
pdf

Новости


Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

Новости компании НПК «ЭОМС» на форуме «Микроэлектроника – 2024».

Сотрудники НПК «ЭОМС» вместе с коллегами из ряда смежных предприятий Китайской Народной Республики приняли участие в выставке, проходившей с 23 по 27 сентября в г. Сочи на базе Университета «Сириус» в рамках 10-го Юбилейного Российского форума «Микроэлектроника-2024». На выставке были представлены такие направления деятельности нашей компании как оборудование для производства полупроводников, высоконадёжные электронные компоненты и […]

Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока NGI серии N3410 внесены в Государственный реестр средств измерений.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении трехканальных источников питания постоянного серии N 34101 в Государственный реестр средств измерений РФ(номер в Госреестре- 92980-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Трехканальный источник питания постоянного тока серии N3410 N3410 — […]

Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]

НПК «ЭОМС» на форуме Армия
Новости компании Международный военно-технический форум «Армия-2024»

12 августа начинает свою работу Международный военно-технический форум «Армия-2024». На выставочных площадках форума будут демонстрироваться образцы новейшей техники и оборудования и презентоваться передовые технологии для критически важных отраслей промышленности. НПК «ЭОМС» традиционно принимает участие в этом мероприятии и приглашает вас присоединиться к нам и побывать на нашем стенде. Мы запланировали для наших посетителей много интересного: […]

Векторные генераторы сигналов XS-VSG-01
Новости компании Фазовая когерентность в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01

Российское представительство компании компании «Xiansheng Technology» с радостью сообщает о реализации опции фазовой когерентности в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01. XS-VSG-01 станет оптимальным выбором для компаний участвующих в разработке и проектирование ВЧ и СВЧ устройств, тестировании модулей передачи/приёма, а теперь и таких как фазированные антенные решетки (ФАР). На сколько мы знаем, разработка и создание ФАР […]

Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]