Серия скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃.

Основные преимущества

  • Производительность: 
    — NSHW600 — 600 л/мин;
    — NSHW1.5K – 1500 л/мин;
  • Энергоэкономичность при высокой производительности;
  • Высокая эффективность очистки;
  • Антикоррозионная защита;
  • Простая настройка работы в автоматическом режиме;
  • Сферы применения – производство полупроводников, гибких дисплеев (FPD), солнечных батарей, светодиодов (LED);
  • Основные технологические циклы применения – CVD / Травление / диффузия / и т.д.

Обрабатываемые газы

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiH2Cl2, TEOS
Горючие газы H2, NH3
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl
Токсичные газыPH3, BCl3
Газы ПФУNF3

Состав системы

Состав системы серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Рабочая камера 

Рабочая камера серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности рабочей камеры:

  • Нагревательный стержень втулочного типа адаптирован для повышения эффективности нагрева и простоты замены;
  • Возможность обработки больших объёмов газа;
  • Система осевого вращения предполагает простоту обслуживания (очистка полости от пыли и т.д.);
  • При добавлении CDA используется циклонный метод, позволяющий избежать накопления пыли в локальной зоне;
  • Стабильная работа конструкции из двух групп нагревательных стержней треугольной формы (всего 6 нагревательных стержней).

Средний фланец

Средний фланец серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности среднего фланца:

  • Благодаря газовому барьеру из азота (N2) сухая и влажная зона идеально разделены, что позволяет избежать обратного потока водяного пара в рабочую камеру;
  • Применение циклонной промывки для предотвращения накопления пыли;
  • Вторая ступень среднего фланца покрыта тефлоном во избежание коррозии.  

Промывочная установка

Промывочная установка серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности промывочной установки:

  • Эффективность очистки водорастворимого газа максимизируется за счет использования водяного распылителя и насадки;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление скопившейся пыли.

Душевание

Система душевания в серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности душевания:

  • Процедура душевания необходима для очистки газа от побочных примесей в виде пыли или тумана;
  • Максимальная очистка водорастворимых газов;
  • Вертикальная конструкция облегчает удаление осадка;
  • Контроль температуры газа на выходе.

Резервуар для воды

Резервуар для воду серии скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K

Особенности резервуара для воды:

  • Замкнутый цикл использования воды с минимальными потерями;
  • Наличие смотрового окна для визуального контроля за процессом циркуляции;
  • Герметичный поддон с датчиком утечки;
  • Автоматическое управление уровнем жидкости.

Эффективность очистки газов

ГазСтепень очистки
SiH499 %
PH399 %
DCS99 %
SiF499 %
B2H699 %
TEOS95 %
NH390 %
BF390 %
N2O90 %
H2S90 %
CHF390 %
ClF390 %
HCl90 %
NF380 %

Документы

Серия-скрубберов-с-электронагревом-и-душеванием-PS.pdf 907.61 КБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]