Серия скрубберов с термическим дожигом и душеванием NSHW600 / NSHW1.5K
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃.
Основные преимущества
- Производительность:
— NSHW600 — 600 л/мин;
— NSHW1.5K – 1500 л/мин; - Энергоэкономичность при высокой производительности;
- Высокая эффективность очистки;
- Антикоррозионная защита;
- Простая настройка работы в автоматическом режиме;
- Сферы применения – производство полупроводников, гибких дисплеев (FPD), солнечных батарей, светодиодов (LED);
- Основные технологические циклы применения – CVD / Травление / диффузия / и т.д.
Обрабатываемые газы
| Вид газов | Пример |
| Соединения Si | SiH4, SiH2Cl2, TEOS |
| Горючие газы | H2, NH3 |
| Водорастворимые газы | Cl2, F2, HCl |
| Токсичные газы | PH3, BCl3 |
| Газы ПФУ | NF3 |
Состав системы
Рабочая камера
Особенности рабочей камеры:
- Нагревательный стержень втулочного типа адаптирован для повышения эффективности нагрева и простоты замены;
- Возможность обработки больших объёмов газа;
- Система осевого вращения предполагает простоту обслуживания (очистка полости от пыли и т.д.);
- При добавлении CDA используется циклонный метод, позволяющий избежать накопления пыли в локальной зоне;
- Стабильная работа конструкции из двух групп нагревательных стержней треугольной формы (всего 6 нагревательных стержней).
Средний фланец
Особенности среднего фланца:
- Благодаря газовому барьеру из азота (N2) сухая и влажная зона идеально разделены, что позволяет избежать обратного потока водяного пара в рабочую камеру;
- Применение циклонной промывки для предотвращения накопления пыли;
- Вторая ступень среднего фланца покрыта тефлоном во избежание коррозии.
Промывочная установка
Особенности промывочной установки:
- Эффективность очистки водорастворимого газа максимизируется за счет использования водяного распылителя и насадки;
- Вертикальная конструкция облегчает удаление скопившейся пыли.
Душевание
Особенности душевания:
- Процедура душевания необходима для очистки газа от побочных примесей в виде пыли или тумана;
- Максимальная очистка водорастворимых газов;
- Вертикальная конструкция облегчает удаление осадка;
- Контроль температуры газа на выходе.
Резервуар для воды
Особенности резервуара для воды:
- Замкнутый цикл использования воды с минимальными потерями;
- Наличие смотрового окна для визуального контроля за процессом циркуляции;
- Герметичный поддон с датчиком утечки;
- Автоматическое управление уровнем жидкости.
Эффективность очистки газов
| Газ | Степень очистки |
| SiH4 | 99 % |
| PH3 | 99 % |
| DCS | 99 % |
| SiF4 | 99 % |
| B2H6 | 99 % |
| TEOS | 95 % |
| NH3 | 90 % |
| BF3 | 90 % |
| N2O | 90 % |
| H2S | 90 % |
| CHF3 | 90 % |
| ClF3 | 90 % |
| HCl | 90 % |
| NF3 | 80 % |
Документы
