Специальная версия скрубберов сухого плазменного дожига для микроэлектроники NPCR1000T3
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде.
| Газы | Пример |
| Соединения Si | SiH4 |
| Горючие газы | H2, NН3 |
| Токсичные газы | PH3, CO |
ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
- Автоматизированная система управления на основе программируемого логического контроллера (ПЛК) с вводом данных через сенсорный экран;
- Компактная структура;
- Удобная и экономичная система электропитания (208/380В постоянного тока, 3-х фазное подключение, 50/60 Гц, 15 кВт);
- Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.
ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА
КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ
ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА
Особенности плазменной горелки:
- Дожиг и ионизация газа мощной плазменной дугой;
- Высокая эффективность при низком энергопотреблении;
- Высокая степень очистки.
КАМЕРА ДОЖИГА
Особенности камеры дожига:
- Ионизация путем контакта целевого газа с плазменным пламенем и разделение отходящих газовых потоков;
- Сменный вставной тип внутренней трубы (инконеля) для защиты от возгорания и коррозии;
КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ
Особенности камеры охлаждения:
- Опосредованное снижение температуры газа без контакта с хладогеном;
- Наружное водяное охлаждение поверхности для предотвращения ожоговых травм при соприкосновении.
СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО
Особенности собирающего устройства:
- Осаждение загрязнения, выделившегося в результате дожига;
- Сбор загрязняющих элементов за счет уменьшения их кинетической энергии с помощью функции охлаждения;
- Простота перемещения и обслуживания за счёт наличия колёсной базы;
- Лёгкая очистка вакуумной полости через сервисные окна.
ТЕПЛООБМЕННИК
Особенности теплообменника:
- Использование пластинчато-трубчатой структуры;
- Функция водяного охлаждения;
- Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.
СЕРВИСНОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ
В целях безопасности и во избежание загрязнения окружающей среды рекомендуется осуществлять разборку скруббера в последовательном порядке.
Документы
