Специальная версия скрубберов сухого плазменного дожига для микроэлектроники NPCR1000T3

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде.

ГазыПример
Соединения SiSiH4
Горючие газыH2, NН3
Токсичные газыPH3, CO

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Автоматизированная система управления на основе программируемого логического контроллера (ПЛК) с вводом данных через сенсорный экран;
  • Компактная структура;
  • Удобная и экономичная система электропитания (208/380В постоянного тока, 3-х фазное подключение, 50/60 Гц, 15 кВт);
  • Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.

ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА

КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ 

ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА

Особенности плазменной горелки:

  • Дожиг и ионизация газа мощной плазменной дугой;
  • Высокая эффективность при низком энергопотреблении;
  • Высокая степень очистки.

КАМЕРА ДОЖИГА

Особенности камеры дожига:

  • Ионизация путем контакта целевого газа с плазменным пламенем и разделение отходящих газовых потоков;
  • Сменный вставной тип внутренней трубы (инконеля) для защиты от возгорания и коррозии;

КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ

Особенности камеры охлаждения:

  • Опосредованное снижение температуры газа без контакта с хладогеном;
  •  Наружное водяное охлаждение поверхности для предотвращения ожоговых травм при   соприкосновении.

СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО

Особенности собирающего устройства:

  • Осаждение загрязнения, выделившегося в результате дожига;
  • Сбор загрязняющих элементов за счет уменьшения их кинетической энергии с помощью функции охлаждения;
  • Простота перемещения и обслуживания за счёт наличия колёсной базы;
  • Лёгкая очистка вакуумной полости через сервисные окна.

ТЕПЛООБМЕННИК

Особенности теплообменника:

  • Использование пластинчато-трубчатой структуры;
  • Функция водяного охлаждения;
  • Специальная конструкция системы (Hopper & Cone) предназначенная для предотвращения обветривания и увеличения скорости теплообмена за счет диффузии газа.

СЕРВИСНОЕ ОБСЛУЖИВАНИЕ

В целях безопасности и во избежание загрязнения окружающей среды рекомендуется осуществлять разборку скруббера в последовательном порядке. 

Документы

NPCR1000-T3-PS-1.pdf 972.42 КБ
pdf

Новости


ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]

Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]