Автоматические установки фотолитографии серии GHS — 408А/607S

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Автоматическая установка фотолитографии GHS-408А

Полностью автоматизированная установка для фотолитографических процессов совмещения и экспонирования предназначена для использования в серийном производстве интегральных микросхем. Установка обеспечивает автоматическую подачу, совмещение и экспонирование по заданному алгоритму 

Достоинствами модели является удобство, высокая производительность и повторяемость.

ПараметрЗначение
Размер пластин4”, 6”
Размер фотошаблона5”, 7”
Толщина пластин0,2-1,1 мм
Производительность260 пластин/час
Точность совмещения5 мкм
Разрешение2 мкм (при контактном режиме и позитивном фоторезисте толщиной 1 мкм)

Автоматическая установка фотолитографии GHS-607S

Полностью автоматизированная установка для фотолитографических процессов совмещения и экспонирования предназначена для использования в серийном производстве интегральных микросхем и других компонентов. Установка обеспечивает автоматическую подачу, совмещение и экспонирование по заданному алгоритму 

Достоинствами модели является удобство, высокая производительность и повторяемость.

ПараметрЗначение
Размер пластин4”, 6”
Размер фотошаблона5”, 7”
Толщина пластин0,2-1,1 мм
Режимы засветкиМягкий контакт, жёсткий контакт, вакуумный контакт, экспонирование с зазором
Точность совмещения, верхняя сторона± 1,5 мкм
Точность совмещения, нижняя сторона± 3,5 мкм
Источник засветкиУФ ртутная лампа (линии I, H и G)мощность 1000 Втили светодиодный источник 365 нм 
Размер зоны засветкиØ160 мм
Разрешение1,5 мкм (при вакуумном контакте и позитивном фоторезисте толщиной <1 мкм)
Интенсивность засветки≥ 40 мВт/см(365 нм)
Неоднородность засветки± 3%

Документы

GHS-408_607.pdf 1.89 МБ
pdf

Новости


Новости компании Продукция компании занесена в Государственный реестр средств измерений

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении высокоточных источников – измерителей напряжения и силы тока (SMU) серии N2600 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93903-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». На рынке источники- измерители NGI серия N2600 представлены […]

Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

Новости компании НПК «ЭОМС» на форуме «Микроэлектроника – 2024».

Сотрудники НПК «ЭОМС» вместе с коллегами из ряда смежных предприятий Китайской Народной Республики приняли участие в выставке, проходившей с 23 по 27 сентября в г. Сочи на базе Университета «Сириус» в рамках 10-го Юбилейного Российского форума «Микроэлектроника-2024». На выставке были представлены такие направления деятельности нашей компании как оборудование для производства полупроводников, высоконадёжные электронные компоненты и […]

Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока NGI серии N3410 внесены в Государственный реестр средств измерений.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении трехканальных источников питания постоянного серии N 34101 в Государственный реестр средств измерений РФ(номер в Госреестре- 92980-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Трехканальный источник питания постоянного тока серии N3410 N3410 — […]

Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]

НПК «ЭОМС» на форуме Армия
Новости компании Международный военно-технический форум «Армия-2024»

12 августа начинает свою работу Международный военно-технический форум «Армия-2024». На выставочных площадках форума будут демонстрироваться образцы новейшей техники и оборудования и презентоваться передовые технологии для критически важных отраслей промышленности. НПК «ЭОМС» традиционно принимает участие в этом мероприятии и приглашает вас присоединиться к нам и побывать на нашем стенде. Мы запланировали для наших посетителей много интересного: […]

Векторные генераторы сигналов XS-VSG-01
Новости компании Фазовая когерентность в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01

Российское представительство компании компании «Xiansheng Technology» с радостью сообщает о реализации опции фазовой когерентности в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01. XS-VSG-01 станет оптимальным выбором для компаний участвующих в разработке и проектирование ВЧ и СВЧ устройств, тестировании модулей передачи/приёма, а теперь и таких как фазированные антенные решетки (ФАР). На сколько мы знаем, разработка и создание ФАР […]

Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]