Автоматические установки фотолитографии серии GHS — 408А/607S
Описание
Документы
Автоматическая установка фотолитографии GHS-408А
Полностью автоматизированная установка для фотолитографических процессов совмещения и экспонирования предназначена для использования в серийном производстве интегральных микросхем. Установка обеспечивает автоматическую подачу, совмещение и экспонирование по заданному алгоритму
Достоинствами модели является удобство, высокая производительность и повторяемость.
Параметр | Значение |
Размер пластин | 4”, 6” |
Размер фотошаблона | 5”, 7” |
Толщина пластин | 0,2-1,1 мм |
Производительность | 260 пластин/час |
Точность совмещения | 5 мкм |
Разрешение | 2 мкм (при контактном режиме и позитивном фоторезисте толщиной 1 мкм) |
Автоматическая установка фотолитографии GHS-607S
Полностью автоматизированная установка для фотолитографических процессов совмещения и экспонирования предназначена для использования в серийном производстве интегральных микросхем и других компонентов. Установка обеспечивает автоматическую подачу, совмещение и экспонирование по заданному алгоритму
Достоинствами модели является удобство, высокая производительность и повторяемость.
Параметр | Значение |
Размер пластин | 4”, 6” |
Размер фотошаблона | 5”, 7” |
Толщина пластин | 0,2-1,1 мм |
Режимы засветки | Мягкий контакт, жёсткий контакт, вакуумный контакт, экспонирование с зазором |
Точность совмещения, верхняя сторона | ± 1,5 мкм |
Точность совмещения, нижняя сторона | ± 3,5 мкм |
Источник засветки | УФ ртутная лампа (линии I, H и G)мощность 1000 Втили светодиодный источник 365 нм |
Размер зоны засветки | Ø160 мм |
Разрешение | 1,5 мкм (при вакуумном контакте и позитивном фоторезисте толщиной <1 мкм) |
Интенсивность засветки | ≥ 40 мВт/см2 (365 нм) |
Неоднородность засветки | ± 3% |