Установка вакуумного осаждения тонких плёнок MR SEMI 8000/8200 PVD

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Особенности и преимущества

Установка вакуумного напыления MR SEMI 8000/8200 PVD предназначена для серийного производства изделий микроэлектроники. Данные установки являются кластерными системами с одним или двумя транспортными модулями, к которым могут быть присоединены от одной до четырёх рабочих камер, устройства кассетной загрузки и выгрузки полупроводниковых пластин, камер выравнивания, плазменной очистки, дегазации и охлаждения. Рабочие модули оборудованы высоковакуумной системой откачки и плазменными генераторами. Возможно исполнение рабочих модулей для применения в процессе осаждения ионно-металлической плазмы (IMP) и включение в состав установки модулей газохимического осаждения (CVD). Система управления включает в себя программное обеспечение собственной разработки Производителя на основе операционной системы Windows, с простым и удобным интерфейсом.

Область применения

Осаждение металлических тонких плёнок в производстве интегральных микросхем, компонентов силовой электроники и других изделий микроэлектроники, на подложках от 4 до 8 дюймов (100-200 мм).

Тип процесса

Материал плёнки

Применение

Источники

PVD

AlCu

Контактные слои

AlCu мишень, Ar

TiN

Барьерные и адгезионные слои

Ti мишень, Ar+N2

TiW

Барьерные слои

TiW мишень, Ar

Ti

Барьерные слои/ омические контакты / адгезионные слои

Ti мишень, Ar

W

Омические контакты

W мишень, Ar

Co

Co мишень, Ar

Ni

Ni мишень, Ar

CVD

TiN

Барьерные и адгезионные слои

TDHMAT+N2+H2, He

W

Переходные контакты

WF6+N2+H2, Ar

Системы магнетронного напыления с кассетной загрузкой пластин

Модель

MR SEMI 8000PVD

MR SEMI 8200 PVD

Конструктивное исполнение

С одним транспортным модулем

 

С двумя транспортными модулями

 

Тип камеры

Загрузка одной пластины

Процессы

PVD/ W-CVD/ TiN-CVD

PVD/ TiN-CVD

Количество вакуумных камер

Макс. 6

Процессные камеры – 1 — 4

Плазменная очистка – 1

Дегазация — 1

Макс. 8

Процессные камеры – 1 — 4

Плазменная очистка –2

Дегазация – 2

Диаметр пластин

4”, 6”, 8” (100 — 200мм)

Типовые параметры процессов

 

Процесс

Параметр

Низкотемпературное осаждение AlCu, 5KA

Высокотемпературное осаждение AlCu, 5KA

Осаждение Ti, 1 KA

Осаждение Ti, N, 1 KA

Энергия, Вт

11500

11500

1800

6500

Расход газов, ст.куб.см

Ar — 35

ArH — 15

Ar — 35

ArH — 15

Ar — 19

 

Ar – 30

N2 — 54

Нагрев, °С

270±2

410±2

100

25

Давление, мТорр

5

5

1,4

1,4

Скорость осаждения, Å/мин

5000±250

5000±350

1600±50

>800

Однородность по пластине

<3% (1σ)

Однородность по партии

<2% (1σ)

<2% (1σ)

<1,5% (1σ)

<2% (1σ)

Установка вакуумного осаждения тонких плёнок MR SEMI 8000/8200 PVD c[tvf

Документы

8000_8200-PVD-2.pdf 381.88 КБ
pdf

Новости


Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

Новости компании НПК «ЭОМС» на форуме «Микроэлектроника – 2024».

Сотрудники НПК «ЭОМС» вместе с коллегами из ряда смежных предприятий Китайской Народной Республики приняли участие в выставке, проходившей с 23 по 27 сентября в г. Сочи на базе Университета «Сириус» в рамках 10-го Юбилейного Российского форума «Микроэлектроника-2024». На выставке были представлены такие направления деятельности нашей компании как оборудование для производства полупроводников, высоконадёжные электронные компоненты и […]

Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока NGI серии N3410 внесены в Государственный реестр средств измерений.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении трехканальных источников питания постоянного серии N 34101 в Государственный реестр средств измерений РФ(номер в Госреестре- 92980-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Трехканальный источник питания постоянного тока серии N3410 N3410 — […]

Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]

НПК «ЭОМС» на форуме Армия
Новости компании Международный военно-технический форум «Армия-2024»

12 августа начинает свою работу Международный военно-технический форум «Армия-2024». На выставочных площадках форума будут демонстрироваться образцы новейшей техники и оборудования и презентоваться передовые технологии для критически важных отраслей промышленности. НПК «ЭОМС» традиционно принимает участие в этом мероприятии и приглашает вас присоединиться к нам и побывать на нашем стенде. Мы запланировали для наших посетителей много интересного: […]

Векторные генераторы сигналов XS-VSG-01
Новости компании Фазовая когерентность в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01

Российское представительство компании компании «Xiansheng Technology» с радостью сообщает о реализации опции фазовой когерентности в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01. XS-VSG-01 станет оптимальным выбором для компаний участвующих в разработке и проектирование ВЧ и СВЧ устройств, тестировании модулей передачи/приёма, а теперь и таких как фазированные антенные решетки (ФАР). На сколько мы знаем, разработка и создание ФАР […]

Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]