Установка осаждения MR SEMI 2000 / 8000 PECVDS

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Применение:

Системы плазмохимического газофазного осаждения кластерного типа с одновременной обработкой 1 пластины. Доступны процессы cубатмосферного осаждения (SA). Предназначены для серийных производств.

Основные технические характеристики

Стандартная конфигурацияMR SEMI 2000 PECVDSMR SEMI 8000 PECVDS
Тип камерыЗагрузка 1 пластины
ПроцессыPECVD, SACVD
Количество модулейПроцессный модуль — 1
Охлаждение — 1
Реакционный источникСилан / TEOS
Диаметр пластин4”, 6”, 8”
Платформачетырёхугольнаявосьмиугольная
Генератор плазмы13,56 МГц, 2000 Вт
или 350 кГц, 900 Вт
Нагрев пластиныМакс. температура 400°С (550°С для SA)
SMIFДоступен

Документы

2000-PECVDS-1.pdf 691.19 КБ
pdf

Новости


Новости компании НПК «ЭОМС» расширила ассортимент поставляемой продукции, добавив в линейку поставок продукцию китайской фирмы Ambasen.

Компания Anbeixun Technology, которая владеет торговой маркой Ambasen, основана в 2013 году и включает в себя Anbeixun Technology (Цзянсу) Co., Ltd., Anbeixun Technology (Чэнду) Co., Ltd., Anbeixun Technology (Шанхай) Co., Ltd. и Anbeixun Aerospace Electronic Components (Сучжоу) Co., Ltd. Штаб-квартира компании расположена в Сучжоу, провинция Цзянсу, Китай, и занимает площадь 25,800 квадратных футов (общая площадь, […]

Новости компании Итоги выставки ExpoElectronica-2025

Подводим итоги 27-й международной выставки ExpoElectronica 2025, которая проходила с 15 по 17 апреля 2025 года в МВЦ «Крокус Экспо», г. Москва.  В этом году в выставке приняли участие 825 компаний, на общей выставочной площади 35 000 кв.м. В рамках выставки проходила насыщенная деловая программа, которая стала открытой площадкой для обмена опытом и поиска новых […]

Новости компании Итоги участия в Международной выставке VacuumTechExpo-2025

Компания «НПК «ЭОМС» приняла участие в 19-й Международной выставке вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo-2025, которая прошла с 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр». В этом году в выставке участвовали более 60 компаний из России, Китая и Республики Беларусь, а выставочная площадь составила 3000 м2, что на 44% больше, чем в прошлом году. В рамках […]

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2025

Приглашаем вас посетить наш стенд на 27 Международной выставке ExpoElectronica 2025! На нашем стенде вас ждут новинки электроники и наши лучшиеспециалисты, которые расскажут вам последние новости в областипроизводства электронных компонентов и измерительного оборудованияи ответят на все ваши вопросы. Ждем вас на стенде №C5063, павильон 3, залы 13, 14, 15.

Источники питания постоянного тока серии N 36100 внесены в Государственный реестр средств измерений РФ.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении источников питания постоянного тока серии N 36100 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93086-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Источники питания постоянного тока программируемые N36100 N36100 — […]

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ВакуумТехЭкспо 2025

С 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 19-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2025 На нашем стенде вас ждет много интересного!Новинки оборудования, наши лучшие специалисты, представители наших партнёров, последние новости китайских производителей, а также дружеская атмосфера и продуктивное общение! Ждем вас на стенде № А209, ЦВК «Экспоцентр», павильон №5 (Южный […]

Новости компании Открыт эксклюзивный сервисный центр KYKY TECHNOLOGY в Зеленограде.  

Осенью прошлого года компания ООО «НПК ЭОМС» получила права на открытие эксклюзивного авторизованного сервисного центра по ремонту и обслуживанию вакуумного оборудования всемирно известной китайской компании KYKY TECHNOLOGY CO., LTD, которая является одним из ведущих мировых производителей безмасляных вакуумных насосов для производства микроэлектроники и гелевых течеискателей. Если вам требуется профессиональная техническая поддержка, обслуживание или ремонт техники […]

Новости компании С Новым годом и Рождеством!

Новый год — пора новых возможностей, оригинальных идей и интересных проектов. Желаем вам безопасного ведения дел, надёжных партнеров в команде и благоприятных сделок. Желаем грандиозных планов, реализации всего задуманного и колоссального роста! Давайте продолжим наше приятное сотрудничество и в Новом году вместе добьёмся еще большего успеха! С Новым годом и Рождеством!

Новости компании Модули расширения частотного диапазона (гармонические смесители). Диапазон частот от 75 ГГц до 110 ГГц.

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования  новых модулей расширения частотного диапазона марки XS. Гармонические смесители марки XS применяются для расширения частотного диапазона векторных анализаторов цепей при разработке и испытаниях устройств в лабораториях и в условиях производства. Технические характеристики гармонических смесителей XS Структурная схема гармонического смесителя 75 ГГц – […]

Новости компании Продукция компании занесена в Государственный реестр средств измерений

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении высокоточных источников – измерителей напряжения и силы тока (SMU) серии N2600 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93903-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». На рынке источники- измерители NGI серия N2600 представлены […]