Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности.


Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает вероятность образования конденсата и пыли. Насосы комплектуются электродвигателями с высоким номинальным крутящим моментом нижнего насоса, что значительно улучшает способность ротора удалять пыль из насоса и предотвращает его заклинивание.