Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств.

В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод.

Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические параметры (ток, напряжение) в заданной области. Доступны головки с различным шагом и радиусом скругления зондов, по запросу заказчика.

Программное обеспечение установки производит расчёты поверхностного сопротивления, удельного сопротивления и проводимости в широком диапазоне.

Установка сочетает в себе высокую точность и повторяемость с простотой управления через графический интерфейс, что подходит для использования в условиях чистого помещения.

В комплекте поставляются калибровочные образцы сопротивлений.