Обработка отработанных газов при полупроводниковом производстве

Процесс обработки отработанных газов при полупроводниковом производстве требует специального оборудования – скрубберы
Технологический газ, выходящий из главной машины, вакуумными насосами по трубопроводам подаётся на выхлоп. В соответствии с конкретными технологическими требованиями, в конце основной технологической машины может быть встроена системная ловушка, на входе вакуумного насоса может быть установлена ловушка, вокруг трубопровода может быть установлена нагревательная лента, также могут быть установлены нагревательная лента и устройство для нагрева азота, а на выходе может быть установлено энергосберегающее устройство. Для утилизации и дезактивации отработанных технологических газов применяются специальные устройства – скрубберы.
ЭОМС может предоставить полный спектр оборудования для обработки выхлопных газов после рабочей машины. Они бывают разных типов:
- Водяного разложения;
- Термического разложения;
- Гибридный плазменного разложения + душевание,
- Плазменного разложения и дожиганием газа;
- Скрубберы канальный и отдельно стоящие;
- Сухие, где газ впитывается адсорбентом.
