Обработка отработанных газов при полупроводниковом производстве

Обработка отработанных газов при полупроводниковом производстве

Процесс обработки отработанных газов при полупроводниковом производстве требует специального оборудования – скрубберы

Технологический газ, выходящий из главной машины, вакуумными насосами по трубопроводам подаётся на выхлоп. В соответствии с конкретными технологическими требованиями, в конце основной технологической машины может быть встроена системная ловушка, на входе вакуумного насоса может быть установлена ловушка, вокруг трубопровода может быть установлена нагревательная лента, также могут быть установлены нагревательная лента и устройство для нагрева азота, а на выходе может быть установлено энергосберегающее устройство. Для утилизации и дезактивации отработанных технологических газов применяются специальные устройства – скрубберы.

ЭОМС может предоставить полный спектр оборудования для обработки выхлопных газов после рабочей машины. Они бывают разных типов: 

  • Водяного разложения;
  • Термического разложения;
  • Гибридный плазменного разложения + душевание, 
  • Плазменного разложения и дожиганием газа; 
  • Скрубберы канальный и отдельно стоящие;
  • Сухие, где газ впитывается адсорбентом.
Обработка отработанных газов при полупроводниковом производстве