Оборудование для микроэлектроники

Модель инспекционного микроскопа MX12R оснащена 12- дюймовой рабочей платформой с держателями 4, 6, 8 и 12 дюймов и применяется для инспекции полупроводниковых пластин диаметром до 300мм и плоских дисплеев с диагональю до 17 дюймов. Основные преимущества Схема инспекционного микроскопа MX12R Основные технические характеристики инспекционного микроскопа MX12R Оптическая система скорректированная на бесконечность Режим наблюдения светлое поле […]

На всех этапах производства электронных чипов требуется их многократное тестирование для обеспечения высокого качества продукции. Данная система предоставляет собой комплексное решение для тестирования полупроводниковых пластин, чипов, микроэлектронных компонентов и модулей, охватывая как этапы их разработки, так и производства. Она подходит для активных фронт-энд устройств в диапазоне от низких частот до суб-ТГц таких, как усилители мощности, […]

AWL812-AS – это инспекционная установка с автоматической подачей 12-дюймовой (при необходимости 8-дюймовой) пластины, оснащенная безопасной и надежной системой EFEM (включая загрузочный порт, устройство выравнивания и загрузочного робота). Данная установка имеет удобный интерфейс управления полностью на английском языке, а также она укомплектована оптической системой формирования изображений, которая обеспечивает проверку поверхности полупроводниковых пластин как на макро, так […]

НазначениеУстановка монтажа кристаллов на припой предназначена для изготовления силовых приборов малой мощности в составе сборочной линии для производства изделий в пластиковых корпусах. Установка создаёт нанесение мягкого припоя на выводные рамки, снятие кристалла с пластины и монтаж на припой. Особенности и преимущества Технические характеристики   Метод Монтаж на припой Процесс монтажа Производительность До 5 000 кристаллов/час, […]

Модель инспекционного микроскопа MX8R оснащена 8- дюймовой рабочей платформой, а также имеет улучшенный эргономичный дизайн, обеспечивающий быстроту управления, равномерность освещения и высокую чёткость изображения. Основные преимущества Схема инспекционного микроскопа MX8R Аксессуары для инспекционного микроскопа MX8R ОКУЛЯРЫ С ШИРОКИМ ПОЛЕМ ЗРЕНИЯ Объективы с большим рабочим расстоянием Доступные объективы Объектив Кратность увеличения Числовая Апертура (N.A.) Рабочее фокусное […]

Установка ASM Eagle AERO предназначена для высокоскоростной разварки кристаллов в большой рабочей зоне (от 140 до 300 мм по длине и от 28 до 105 мм по ширине). Данный тип установок разварки используется при изготовлении широкой номенклатуры изделий, в которых необходимо производить разварку с кристаллов на печатную плату (Chip on Board). Сфера применения: в микроэлектронной […]

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции. Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с […]

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.  Насосы производятся в трех исполнениях Основные области применения сухих насосов: Рекомендации по применению легкие процессы средние процессы тяжелые процессы Модель насоса Load lock Transfer Metrology Lithography […]

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Горючие газы H2, NH3 Токсичные газы PH3, BCl3 Фторированные соединения NF3, […]

Автоматическая зондовая станция ZHS-803 Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 6”, 8”  Диапазон перемещения X-Y 270 x 500 мм Точность позиционирования X/Y < ±0.003 мм @200 мм Разрешение X/Y 0.001 […]

Зондовая станция предназначена для анализа и контроля электрических параметров приборов с двух сторон полупроводниковой пластины. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 4”, 5” Диапазон перемещения X-Y 170 x 240 мм Точность позиционирования X/Y < ±0,01 мм @150 мм Разрешение X/Y 0,001 мм Держатель пластины Параметр Значение Диапазон перемещения по Z […]

Назначение: Установка предназначена для разварки полупроводниковых кристаллов тонкой алюминиевой проволокой на печатных платах и других подложках (технология Chip-on-Board). Может применяться для производства изделий в металлокерамических корпусах.  Особенности и преимущества Опционально доступны: Технические характеристики Сварочный процесс Перемещение по оси Z Макс. 15 мм Вращение по углу ϴ Макс. 190° Диаметр Al проволоки 0,7-2,0 mil (17,8-50,8 мкм) […]

Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и тестирования кристаллов. Наряду с этим, имеется функция идентификации пластин по ID. Программное обеспечение включает в себя множество других функция, предоставляя пользователю широкие возможности по проведению тестов и позволяет значительно улучшить эффективность производства. Перечень применений включает в себя тестирование / получение характеристик I-V, C-V с […]

Ручная зондовая станция, отличающаяся надёжностью и удобством. Предназначена для тестирования электрических параметров широкого перечня микроэлектронных устройств. Параметр Значение Диаметр пластин 3”, 4”, 5”, 6”, 8” Диапазон перемещения рабочей платформы X-Y 240 x 260 мм Механизм перемещения рабочей платформы маховик Диапазон перемещения по Z 10 мм  Угол поворота ϴ  ±45° Увеличение  12.5х~3000x Подсветка Оптоволоконный осветитель Загрузка пластины Ручная […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiCl4, SiF4 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Токсичные газы PH3, AsH3, BCl3 СОСТАВ СИСТЕМЫ Основные особенности работы сухого скруббера: ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА 1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения комбинации термического и плазменного дожига с душеванием для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS NSGW1.5K Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NH3 Компоновка системы и […]