Криогенные вакуумные насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.

Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10^-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10^-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.

Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.

Преимущества криогенных вакуумных насосов:

Высокая скорость откачки
Безопасная и надежная работа и низкая стоимость
Интеллектуальная система автоматического управления
Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
Чистота и отсутствие загрязнений
Создание сверхвысокого вакуум
Функция быстрой регенерации
Гибкая установка в любом положении
Можно построить откачную группу с несколькими криогенными насосами и одним компрессором

Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:

стандартная (версия CP)
on-Board с автоматическим управлением и регенерацией (версия ICP и ECP)

Модель	CP200ICP200	CP200NICP200N	CP250ICP250	CP250NICP250N	CP320ICP320	CP320NICP320N
Входной фланец	DN200 ISO-KCF200ANSI 8 in		DN250 ISO-KCF250ANSI 10 in		DN320 ISO-KCF320ANSI 12 in
Предельное остаточное давление	10^-7 Па		10^-7 Па		10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	4000 л/с1500 л/с2200 л/с1200 л/с		6500 л/с2200 л/с3200 л/с1800 л/с		9500 л/с3200 л/с5400 л/с2800 л/с
Емкость поArH₂	1000 ст.л12 ст.л		1600 ст.л16 ст.л		2000 ст.л22 ст.л
Время захолаживания	менее 100 мин		менее 100 мин		менее 150 мин
Масса	21,5 кг (CP200)22,0 кг (CP200N)26,5 кг (ICP200)27,0 кг (ICP200N)		27,0 кг (CP250)23,5 кг (CP250N)30,0 кг (ICP250)28,5 кг (ICP250N)		33,5 кг (CP320)27,5 кг (CP320N)38,5 кг (ICP320)32,5 кг (ICP320N)
Габаритные размеры	397x240x521 мм (CP200)440х264х564 мм (CP200N)397х238х575 мм (ICP200)459х264х618 мм (ICP200N)		422x290x539 мм (CP250)460х275х608 мм (CP250N)422x290x539 мм (ICP250)473х275х661 мм (ICP250N)		462х370х550 мм (CP320)481х299х683мм (CP320N)462х370х602 мм (ICP320)502х299х736 мм (ICP320N)
Модель гелиевого компрессора	C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
Количество подключаемых насосов	до 3		до 2		до 2

Модель	CP400	ICP400	CP500	ICP500	CP630
Входной фланец	DN400 ISO-KANSI 16 in		DN500 ISO-KANSI 20 in		DN630 ISO-K
Предельное остаточное давление	10^-7 Па		10^-7 Па		10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	16000 л/с6000 л/с9000 л/с5000 л/с		30000 л/с10000 л/с14000 л/с8400 л/с		46000 л/с18000 л/с14000 л/с13500 л/с
Емкость поArH₂	2500 ст.л25 ст.л		5500 ст.л40 ст.л		6000 ст.л65 ст.л
Время захолаживания	менее 180 мин		менее 210 мин		менее 180 мин
Масса	58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)		80,5 кг (CP500)85,5 кг (ICP500)		58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)
Габаритные размеры	502х450х610 мм (CP400)502х450х663,5 мм (ICP400)		552x550x605 мм (CP500)552x550x659 мм (ICP500)		—
Модель гелиевого компрессора	C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц

Модель	CP800	CP1000LN	CP1250LN
Входной фланец	DN800 ISO-K	DN1000 ISO-K	DN1250 ISO-K
Предельное остаточное давление	10^-7 Па	10^-7 Па	10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	70000 л/с28000 л/с30000 л/с23000 л/с	110000 л/с40000 л/с34000 л/с32000 л/с	180000 л/с57000 л/с60000 л/с47000 л/с
Емкость поArH₂	6500 ст.л70 ст.л	7000 ст.л80 ст.л	9000 ст.л150 ст.л
Время захолаживания	менее 240 мин	менее 240 мин	Менее 330 мин
Расход жидкого азота	—	16 л/ч	20 л/ч

Документы

БУКЛЕТ-Криогенные-вакуумные-насосы.pdf 466.19 КБ

pdf

Новости

Новости компании Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств. В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод. Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические […]

21 сентября 2026

Сферы применения автоматических погрузчиков

Системы автоматической погрузки и разгрузки — это решение, призванное ускорить стандартный процесс управления логистикой, характерный для любого производственного предприятия или склада. Автоматизированные системы погрузки и разгрузки грузового транспорта помогают производителям, складам и логистическим центрам перемещать товары быстрее, безопаснее и эффективнее. Заменяя ручной труд, вилочные погрузчики и гидравлические тележки конвейерами, робототехникой, датчиками и интеллектуальными системами управления, […]

15 сентября 2026

Преимущества автоматической погрузки

Традиционные процессы погрузки и разгрузки часто бывают медленными, трудоемкими и могут быть сопряжены с ошибками. Срыв сроков, повреждение товаров и рост затрат на рабочую силу — все это в совокупности создает серьезные проблемы в условиях текущей конкуренции в сфере логистики. Преимущества автоматической погрузки: Эффективность и скорость В логистике время — деньги. Автоматизированная погрузка контейнеров оптимизирует […]

4 сентября 2026

Новости индустрии Грузовой паром «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой

Китай спустил на воду первый в мире грузовой паром водоизмещением 41 800 тонн под названием «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой. Это не только крупнейшее в мире саморазгрузочное судно для мелководья, но и самое быстрое судно по скорости разгрузки среди специализированных судов и первое в мире саморазгрузочное судно в этом классе тоннажа с возможностью двустороннего плавания. […]

27 августа 2026

Новости индустрии Перспективы применения PMI пены в различных отраслях

Являясь представителем высокопроизводительных структурных пен с закрытыми порами, PMI пена формирует свою основу за счет цепей с имидными кольцами. Сочетает в себе высокую удельную прочность, высокую термостойкость, низкую диэлектрическую проницаемость и стабильность к воздействию окружающей среды. Способна выдерживать высокотемпературную ползучесть, а также сохраняет стабильность своих свойств при низкой температуре. Данные характеристики способствуют прорыву в ее […]

6 августа 2026

Применение PMI пены в морской отрасли

Усиление корпуса и палубы Морские суда сталкиваются с суровыми условиями, от соленой морской воды до постоянного давления. Сочетание прочности и устойчивости к водопоглощению делает PMI пену отличным выбором для корпусов, палуб и переборок. Внутренние панели и облегченные компоненты Яхты и коммерческие суда требуют облегченных решений для внутренней отделки. PMI пена помогает снизить общий вес, повышая […]

30 июля 2026

Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда

Благодаря таким преимуществам, как легкость, высокая жесткость, шумоподавление, огнестойкость и экологичность PMI пена стала предпочтительным материалом в сфере железнодорожного транспорта для внутренних панелей и несущих конструкций высокоскоростных поездов, метро и других видов железнодорожного транспорта. Сферы применения: I. Применение для внутренних панелей Внутренние панели высокоскоростных поездов и метро должны одновременно соответствовать требованиям легкости, безопасности и комфорта. […]

21 июля 2026

Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиации PMI пена — это высокоэффективный конструкционный материал, широко используемый в авиации для производства легких и высокопрочных композитных сэндвич-панелей. Жесткая пена с закрытыми ячейками имеет решающее значение для оптимизации современных аэрокосмических конструкций при замене более тяжелых традиционных материалов. Основные преимущества пенопласта PMI в авиации Основные сферы применения в авиации:

3 июля 2026

Новости компании PMI пена (Полиметакрилимид)

Представляет собой пену со 100% закрытой ячеистой структурой, не содержит галогенов и обладает высочайшей удельной прочностью. Находит широкое применение в аэрокосмической отрасли, системах связи 5G, мембранах мобильных телефонов, клавиатурах планшетов, аудиооборудовании, высокоскоростных поездах, судах, спортивном оборудовании, медицинском оборудовании и других отраслях. Ключевые свойства материала Высокая термостойкость: Материал выдерживает автоклавное формование и совместное отверждение с высокотемпературными […]

23 июня 2026

Приглашаем посетить наш стенд на выставке VacuumCryoTech-2026!

НПК «ЭОМС» в течение последних лет является постоянным участником Международной выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности, которая в этом году пройдёт в 20-й раз. На VacuumCryoTech-2026 наша компания традиционно представит модели сухих форвакуумных насосов марки SKY, которые специально предназначены для использования в сфере производства микроэлектроники. Кроме этого, наши сотрудники […]

22 апреля 2026

Все новости