Криогенные вакуумные насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.

Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10^-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10^-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.

Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.

Преимущества криогенных вакуумных насосов:

Высокая скорость откачки
Безопасная и надежная работа и низкая стоимость
Интеллектуальная система автоматического управления
Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
Чистота и отсутствие загрязнений
Создание сверхвысокого вакуум
Функция быстрой регенерации
Гибкая установка в любом положении
Можно построить откачную группу с несколькими криогенными насосами и одним компрессором

Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:

стандартная (версия CP)
on-Board с автоматическим управлением и регенерацией (версия ICP и ECP)

Модель	CP200ICP200	CP200NICP200N	CP250ICP250	CP250NICP250N	CP320ICP320	CP320NICP320N
Входной фланец	DN200 ISO-KCF200ANSI 8 in		DN250 ISO-KCF250ANSI 10 in		DN320 ISO-KCF320ANSI 12 in
Предельное остаточное давление	10^-7 Па		10^-7 Па		10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	4000 л/с1500 л/с2200 л/с1200 л/с		6500 л/с2200 л/с3200 л/с1800 л/с		9500 л/с3200 л/с5400 л/с2800 л/с
Емкость поArH₂	1000 ст.л12 ст.л		1600 ст.л16 ст.л		2000 ст.л22 ст.л
Время захолаживания	менее 100 мин		менее 100 мин		менее 150 мин
Масса	21,5 кг (CP200)22,0 кг (CP200N)26,5 кг (ICP200)27,0 кг (ICP200N)		27,0 кг (CP250)23,5 кг (CP250N)30,0 кг (ICP250)28,5 кг (ICP250N)		33,5 кг (CP320)27,5 кг (CP320N)38,5 кг (ICP320)32,5 кг (ICP320N)
Габаритные размеры	397x240x521 мм (CP200)440х264х564 мм (CP200N)397х238х575 мм (ICP200)459х264х618 мм (ICP200N)		422x290x539 мм (CP250)460х275х608 мм (CP250N)422x290x539 мм (ICP250)473х275х661 мм (ICP250N)		462х370х550 мм (CP320)481х299х683мм (CP320N)462х370х602 мм (ICP320)502х299х736 мм (ICP320N)
Модель гелиевого компрессора	C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
Количество подключаемых насосов	до 3		до 2		до 2

Модель	CP400	ICP400	CP500	ICP500	CP630
Входной фланец	DN400 ISO-KANSI 16 in		DN500 ISO-KANSI 20 in		DN630 ISO-K
Предельное остаточное давление	10^-7 Па		10^-7 Па		10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	16000 л/с6000 л/с9000 л/с5000 л/с		30000 л/с10000 л/с14000 л/с8400 л/с		46000 л/с18000 л/с14000 л/с13500 л/с
Емкость поArH₂	2500 ст.л25 ст.л		5500 ст.л40 ст.л		6000 ст.л65 ст.л
Время захолаживания	менее 180 мин		менее 210 мин		менее 180 мин
Масса	58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)		80,5 кг (CP500)85,5 кг (ICP500)		58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)
Габаритные размеры	502х450х610 мм (CP400)502х450х663,5 мм (ICP400)		552x550x605 мм (CP500)552x550x659 мм (ICP500)		—
Модель гелиевого компрессора	C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц		C100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц

Модель	CP800	CP1000LN	CP1250LN
Входной фланец	DN800 ISO-K	DN1000 ISO-K	DN1250 ISO-K
Предельное остаточное давление	10^-7 Па	10^-7 Па	10^-7 Па
Производительность поH₂OВоздухуH₂Ar	70000 л/с28000 л/с30000 л/с23000 л/с	110000 л/с40000 л/с34000 л/с32000 л/с	180000 л/с57000 л/с60000 л/с47000 л/с
Емкость поArH₂	6500 ст.л70 ст.л	7000 ст.л80 ст.л	9000 ст.л150 ст.л
Время захолаживания	менее 240 мин	менее 240 мин	Менее 330 мин
Расход жидкого азота	—	16 л/ч	20 л/ч

Документы

БУКЛЕТ-Криогенные-вакуумные-насосы.pdf 466.19 КБ

pdf

Новости

Новости компании НПК ЭОМС приглашает вас на 22-ю Международную выставку Testing&Control 2025!

Приглашаем вас на Testing&Control – 22-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 21–23 октября 2025 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F501 На нашем стенде мы продемонстрируем:

15 октября 2025

Новости компании Компания НПК ЭОМС включила в свой ассортимент продукцию компании CSMT

Сегодня мы рады объявить, что ассортимент компании НПК ЭОМС пополнился за счёт продукции компании CSMT, которая входит в китайский концерн Zhenhua. Компания CSMT специализируется на производстве высоконадёжных микросхем, предназначенных для использования в технике особого назначения (авиация и морской транспорт), а также в изделиях, которые должны эксплуатироваться в широком диапазоне рабочих температур и при неблагоприятных внешних […]

4 сентября 2025

Новости компании НПК ЭОМС официальный дистрибьютор компании Farohm.

Мы рады объявить, что наша компания ЭОМС получила статус официального дистрибьютора китайского производителя пассивных компонентов Farohm. Мы уверены, что это соглашение укрепит наши позиции на рынке электроники и повысит уровень удовлетворенности наших клиентов. Продукция компании Farohm используется в китайских изделиях гражданского и специального назначения, где предъявляются повышенные требования к надёжности компонентов и способности выдерживать экстремальные […]

28 июля 2025

Новости компании НПК ЭОМС стала дистрибьютером компании Rf-Core.

Rf-Core — один из ведущих китайских производителей микроэлектроники и интегральных схем для сверхвысокочастотных (СВЧ) приложений. Продукция компании позволяет закрыть все потребности в активных компонентах для СВЧ трактов в диапазоне частот до 100 ГГц. Высокий уровень локализации процессов проектирования и производства обеспечивает независимость от западных партнёров и позволяет реализовывать индивидуальные проекты: корпусировать кристаллы, изготавливать заказные микросхемы […]

23 июля 2025

Новости компании НПК «ЭОМС» расширила ассортимент поставляемой продукции, добавив в линейку поставок продукцию китайской фирмы Ambasen.

Компания Anbeixun Technology, которая владеет торговой маркой Ambasen, основана в 2013 году и включает в себя Anbeixun Technology (Цзянсу) Co., Ltd., Anbeixun Technology (Чэнду) Co., Ltd., Anbeixun Technology (Шанхай) Co., Ltd. и Anbeixun Aerospace Electronic Components (Сучжоу) Co., Ltd. Штаб-квартира компании расположена в Сучжоу, провинция Цзянсу, Китай, и занимает площадь 25,800 квадратных футов (общая площадь, […]

27 мая 2025

Новости компании Итоги выставки ExpoElectronica-2025

Подводим итоги 27-й международной выставки ExpoElectronica 2025, которая проходила с 15 по 17 апреля 2025 года в МВЦ «Крокус Экспо», г. Москва. В этом году в выставке приняли участие 825 компаний, на общей выставочной площади 35 000 кв.м. В рамках выставки проходила насыщенная деловая программа, которая стала открытой площадкой для обмена опытом и поиска новых […]

22 апреля 2025

Новости компании Итоги участия в Международной выставке VacuumTechExpo-2025

Компания «НПК «ЭОМС» приняла участие в 19-й Международной выставке вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo-2025, которая прошла с 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр». В этом году в выставке участвовали более 60 компаний из России, Китая и Республики Беларусь, а выставочная площадь составила 3000 м2, что на 44% больше, чем в прошлом году. В рамках […]

7 апреля 2025

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2025

Приглашаем вас посетить наш стенд на 27 Международной выставке ExpoElectronica 2025! На нашем стенде вас ждут новинки электроники и наши лучшиеспециалисты, которые расскажут вам последние новости в областипроизводства электронных компонентов и измерительного оборудованияи ответят на все ваши вопросы. Ждем вас на стенде №C5063, павильон 3, залы 13, 14, 15.

18 марта 2025

Источники питания постоянного тока серии N 36100 внесены в Государственный реестр средств измерений РФ.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении источников питания постоянного тока серии N 36100 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93086-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Источники питания постоянного тока программируемые N36100 N36100 — […]

18 марта 2025

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ВакуумТехЭкспо 2025

С 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 19-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2025 На нашем стенде вас ждет много интересного!Новинки оборудования, наши лучшие специалисты, представители наших партнёров, последние новости китайских производителей, а также дружеская атмосфера и продуктивное общение! Ждем вас на стенде № А209, ЦВК «Экспоцентр», павильон №5 (Южный […]

7 марта 2025

Все новости