Криогенные вакуумные насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.

Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.

Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.

Преимущества криогенных вакуумных насосов:

  • Высокая скорость откачки
  • Безопасная и надежная работа и низкая стоимость
  • Интеллектуальная система автоматического управления
  • Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
  • Чистота и отсутствие загрязнений
  • Создание сверхвысокого вакуум
  • Функция быстрой регенерации
  • Гибкая установка в любом положении
  • Можно построить откачную группу с несколькими криогенными насосами и одним компрессором

Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:

  • стандартная (версия CP)
  • on-Board с автоматическим управлением и регенерацией (версия ICP и ECP)
 МодельCP200ICP200CP200NICP200NCP250ICP250CP250NICP250NCP320ICP320CP320NICP320N
Входной фланецDN200 ISO-KCF200ANSI 8 inDN250 ISO-KCF250ANSI 10 inDN320 ISO-KCF320ANSI 12 in
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 4000 л/с1500 л/с2200 л/с1200 л/с 6500 л/с2200 л/с3200 л/с1800 л/с 9500 л/с3200 л/с5400 л/с2800 л/с
Емкость поArH2 1000 ст.л12 ст.л 1600 ст.л16 ст.л 2000 ст.л22 ст.л
Время захолаживанияменее 100 минменее 100 минменее 150 мин
Масса21,5 кг (CP200)22,0 кг (CP200N)26,5 кг (ICP200)27,0 кг (ICP200N)27,0 кг (CP250)23,5 кг (CP250N)30,0 кг (ICP250)28,5 кг (ICP250N)33,5 кг (CP320)27,5 кг (CP320N)38,5 кг (ICP320)32,5 кг (ICP320N)
Габаритные размеры397x240x521 мм (CP200)440х264х564 мм (CP200N)397х238х575 мм (ICP200)459х264х618 мм (ICP200N)422x290x539 мм (CP250)460х275х608 мм (CP250N)422x290x539 мм (ICP250)473х275х661 мм (ICP250N)462х370х550 мм (CP320)481х299х683мм (CP320N)462х370х602 мм (ICP320)502х299х736 мм (ICP320N)
Модель гелиевого компрессораC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
Количество подключаемых насосовдо 3до 2до 2
 МодельCP400ICP400CP500ICP500CP630
Входной фланецDN400 ISO-KANSI 16 inDN500 ISO-KANSI 20 inDN630 ISO-K
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 16000 л/с6000 л/с9000 л/с5000 л/с 30000 л/с10000 л/с14000 л/с8400 л/с 46000 л/с18000 л/с14000 л/с13500 л/с
Емкость поArH2 2500 ст.л25 ст.л 5500 ст.л40 ст.л 6000 ст.л65 ст.л
Время захолаживанияменее 180 минменее 210 минменее 180 мин
Масса58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)80,5 кг (CP500)85,5 кг (ICP500)58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)
Габаритные размеры502х450х610 мм (CP400)502х450х663,5 мм (ICP400)552x550x605 мм (CP500)552x550x659 мм (ICP500)
Модель гелиевого компрессораC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
 МодельCP800CP1000LNCP1250LN
Входной фланецDN800 ISO-KDN1000 ISO-KDN1250 ISO-K
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 70000 л/с28000 л/с30000 л/с23000 л/с 110000 л/с40000 л/с34000 л/с32000 л/с 180000 л/с57000 л/с60000 л/с47000 л/с
Емкость поArH2 6500 ст.л70 ст.л 7000 ст.л80 ст.л 9000 ст.л150 ст.л
Время захолаживанияменее 240 минменее 240 минМенее 330 мин
Расход жидкого азота16 л/ч20 л/ч

Документы

БУКЛЕТ-Криогенные-вакуумные-насосы.pdf 466.19 КБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]