Криогенные вакуумные насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции.

Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с до 57000 л/с.

Криогенные вакуумные насосы широко используются в процессах производства полупроводников, интегральных схем, оптических покрытий, солнечных панелей, плоских дисплеев, оптоэлектронных устройств и вакуумных электронных устройств. Это один из ключевых компонентов технологического оборудования для производства интегральных схем методом PVD и ионной имплантации, а также установок имитации космического пространства, физика высоких энергий, ускорители, калибровка и других.

Преимущества криогенных вакуумных насосов:

  • Высокая скорость откачки
  • Безопасная и надежная работа и низкая стоимость
  • Интеллектуальная система автоматического управления
  • Хорошая адаптируемость к вакуумной системе
  • Чистота и отсутствие загрязнений
  • Создание сверхвысокого вакуум
  • Функция быстрой регенерации
  • Гибкая установка в любом положении
  • Можно построить откачную группу с несколькими криогенными насосами и одним компрессором

Криогенные вакуумные насосы выпускаются в двух модификациях:

  • стандартная (версия CP)
  • on-Board с автоматическим управлением и регенерацией (версия ICP и ECP)
 МодельCP200ICP200CP200NICP200NCP250ICP250CP250NICP250NCP320ICP320CP320NICP320N
Входной фланецDN200 ISO-KCF200ANSI 8 inDN250 ISO-KCF250ANSI 10 inDN320 ISO-KCF320ANSI 12 in
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 4000 л/с1500 л/с2200 л/с1200 л/с 6500 л/с2200 л/с3200 л/с1800 л/с 9500 л/с3200 л/с5400 л/с2800 л/с
Емкость поArH2 1000 ст.л12 ст.л 1600 ст.л16 ст.л 2000 ст.л22 ст.л
Время захолаживанияменее 100 минменее 100 минменее 150 мин
Масса21,5 кг (CP200)22,0 кг (CP200N)26,5 кг (ICP200)27,0 кг (ICP200N)27,0 кг (CP250)23,5 кг (CP250N)30,0 кг (ICP250)28,5 кг (ICP250N)33,5 кг (CP320)27,5 кг (CP320N)38,5 кг (ICP320)32,5 кг (ICP320N)
Габаритные размеры397x240x521 мм (CP200)440х264х564 мм (CP200N)397х238х575 мм (ICP200)459х264х618 мм (ICP200N)422x290x539 мм (CP250)460х275х608 мм (CP250N)422x290x539 мм (ICP250)473х275х661 мм (ICP250N)462х370х550 мм (CP320)481х299х683мм (CP320N)462х370х602 мм (ICP320)502х299х736 мм (ICP320N)
Модель гелиевого компрессораC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC50W4,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
Количество подключаемых насосовдо 3до 2до 2
 МодельCP400ICP400CP500ICP500CP630
Входной фланецDN400 ISO-KANSI 16 inDN500 ISO-KANSI 20 inDN630 ISO-K
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 16000 л/с6000 л/с9000 л/с5000 л/с 30000 л/с10000 л/с14000 л/с8400 л/с 46000 л/с18000 л/с14000 л/с13500 л/с
Емкость поArH2 2500 ст.л25 ст.л 5500 ст.л40 ст.л 6000 ст.л65 ст.л
Время захолаживанияменее 180 минменее 210 минменее 180 мин
Масса58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)80,5 кг (CP500)85,5 кг (ICP500)58,5 кг (CP400)63,5 кг (ICP400)
Габаритные размеры502х450х610 мм (CP400)502х450х663,5 мм (ICP400)552x550x605 мм (CP500)552x550x659 мм (ICP500)
Модель гелиевого компрессораC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50ГцC100W5,5 кВт, вод.охл., 380В/50Гц
 МодельCP800CP1000LNCP1250LN
Входной фланецDN800 ISO-KDN1000 ISO-KDN1250 ISO-K
Предельное остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Производительность поH2OВоздухуH2Ar 70000 л/с28000 л/с30000 л/с23000 л/с 110000 л/с40000 л/с34000 л/с32000 л/с 180000 л/с57000 л/с60000 л/с47000 л/с
Емкость поArH2 6500 ст.л70 ст.л 7000 ст.л80 ст.л 9000 ст.л150 ст.л
Время захолаживанияменее 240 минменее 240 минМенее 330 мин
Расход жидкого азота16 л/ч20 л/ч

Документы

БУКЛЕТ-Криогенные-вакуумные-насосы.pdf 466.19 КБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]