Серия сухих скрубберов NSOD 50 S/D, NSOD 100 S/D, NSOD 200 S/D
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом.
ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА
- Емкость поглотителя:
— NSOD 50 S/D – 50 литров;
— NSOD 100 S/D – 100 литров;
— NSOD 200 S/D – 200 литров. - Высокая эффективность газоочистки;
- Низкие эксплуатационные расходы;
- Простой в обслуживании и замене адсорбционный картридж;
- Основные отрасли применения – полупроводниковое производство, FPD, солнечные батареи, светодиоды.
- Основные технологические процессы использования — IMP / Etch / CVD и т.д.
ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ
| Вид газов | Пример |
| Соединения Si | SiH4, SiCl4, SiF4 |
| Водорастворимые газы | Cl2, F2, HCl, NH3 |
| Токсичные газы | PH3, AsH3, BCl3 |
СОСТАВ СИСТЕМЫ
Основные особенности работы сухого скруббера:
- Газ очищается с помощью метода химической адсорбции.
- Если давление на входе превышает допустимые значения, то открывается перепускной клапан.
- Устройство адсорбционного картриджа обеспечивает легкую загрузку и замену адсорбента.
- В случае срабатывания аварийной сигнализации, очищенный газ поступает через аварийный картридж.
ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА
1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других газов группы VOCs)
2. Z-VNH (адсорбент для щелочных газов, таких как NH3 )*
* При использовании данного адсорбента для очистки SiH4, AsH3, PH3, его цвет меняется от небесно-голубого до темно-коричневого.
3. Z-VHF (адсорбент для кислых газов)
Следует также учитывать, что цвет адсорбента может измениться под воздействием воздуха (О2), т.е. без закачки газа.
ХИМИЧЕСКАЯ СХЕМА ОЧИСТКИ
| Химические преобразования | DRE |
| 2F2 + 2Ca (OH)2 —> 2Ca (OH)2 + 2 H2O + O2 | ＜TLV |
| 2BCI3 + 2Fe (OH)3 —> 2FeCl3 + B2O3 + 3H2O | ＜TLV |
| 2Cl2 + 2Ca (OH)2 —> 2CaCl2 + 2H2O + O2 | ＜TLV |
| 2AsH3 + 3CuO —> Cu3As + 6H2O + As | ＜TLV |
| 2PH3 + 3CuO —> Cu3P2+3H2O | ＜TLV |
Документы
