Оборудование для микроэлектроники

Установка для ПХ зачистки поверхности CRF-VPO-100L использует методику плазменной очистки. Сферы её применения: упаковка полупроводников, производство гибких печатных плат, энергетика, машиностроение, производство различных электронных устройств, медицинского оборудования и инструментов. ГАБАРИТНЫЙ ЧЕРТЁЖ ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ Обрабатываемые изделия подложки, корпуса и рамки микросхем Объём реактивной камеры, л 100 Габаритные размеры установки, мм 990 х 1100 х 1708 […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Горючие газы  H2, NH3 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl Токсичные газы PH3, BCl3 […]

Преимущества Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц) Модель RFP-0313Выходная мощность 300 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-3BAE Cesar 133  Модель RFP-0613Выходная мощность 600 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6AAE Cesar 136, AE RFX600ACOMDEL CX-600AS Модель RFP-1213Выходная мощность 1200 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI OEM-12B/12AAE Cesar 1312 и другие модели  Модель RFP-0113Выходная мощность 100 ВтЧастота 13,56 МГц    Модель RFP-1013Выходная мощность 1000 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаCOMDEL CPS […]

Спиральный вакуумный насос – это механический насос объемного типа, в котором сжатие воздуха происходит за счет изменения объема серповидных полостей, образуемых между 2 спиралями, расположенным по отношению друг к другу под углом 1800. При этом одна спираль остается все время неподвижной, а вторая описывает эллипс (движется по орбите). Преимущества спиральных насосов: Основные области применения спиральных […]

Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели предназначены для обнаружения утечек и определения герметичности вакуумных камер. Основные режимы работы течеискателей – это работа по методу щупа, работа по вакуумному методу и работа по методу «обратного тока», но при этом течеискатель работает только как анализатор, а проверяемые изделия должны пройти опрессовку гелием заранее. Конструктивно гелиевый течеискатель состоит из масс-спектрометрического анализатора с […]

Вакуумные насосы JLG обладают рядом преимуществ, которые делают их популярными в различных отраслях промышленности. Вот некоторые из них: Основные области применения насосов JLG: В быстро развивающемся мире высоких вакуумных технологий все чаще и чаще предъявляются требования к полностью безмасляной откачке. Благодаря отсутствию трения и масла, сухие форвакуумные насосы JLG обеспечивают стабильные характеристики в период всего […]

Турбомолекулярные насосы серии FF, разработанные компанией KYKY для приборостроительной промышленности, представляют собой небольшие высокопроизводительные высоковакуумные насосы со скоростью откачки от 22 л/с до 300 л/с и обладают компактной конструкцией, удобством в использовании и гибкостью при установке. Встроенный контроллер: Компактные турбомолекулярные насосы напрямую приводятся в действие и управляются с помощью встроенного контроллера TD, который удобно интегрировать […]

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF. Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в […]

Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с консистентной смазкой компании KYKY Technology Co., Ltd — это классические высоковакуумные насосы применяемые в научно-исследовательской деятельности и высоковакуумных лабораторных установках, химической и атомной промышленности, в металлургии, ускорителях частиц, при производстве электроники, в тонкопленочных технологиях и других областях промышленности. Турбомолекулярные насосы могут устанавливаться в любом рабочем положении, обеспечивают откачку со […]

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод. Ионные насосы компании SKY специально разработаны и […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NН3 NSGW1.5K Токсичные газы PH3, CO Компоновка системы и технологическая схема Установка сухого […]

Данная установка используется в области производства микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок ITO, металлических пленок и т. д. Это ключевое средство для мониторинга процессов, контроля качества, а также исследований и разработок полупроводниковых устройств. В сочетании с возможностями анализа данных оно удовлетворяет любые требования, начиная […]

Процесс автоматического высокоскоростного монтажа кристаллов методом клеевого соединения заключается в следующем: выводная рамка загружается во входной модуль, затем она поднимается и переносится на рабочий столик по транспортировочной направляющей, на ее поверхность наносится клей с помощью системы дозирования. Затем полупроводниковая пластина с кристаллами (чипами) забирается поворотным рычагом из расширительного кольца и приклеивается к выводной рамке. По […]

НазначениеВысокоскоростная установка монтажа кристаллов на припой предназначена для производства силовых приборов малой мощности. Система линейного привода используется для монтажной головы, платформы для установки пластины и камеры позиционирования. Основные компоненты системы, такие как расширенная функция распознавания изображений, обеспечивают высокую производительность и надежность. Особенности и преимуществаВысокая производительность: ▪ Прецизионная система подачи материала – возможность работы с широкими […]

Система включает в себя полностью автоматическое устройство для подачи выводных рамок и пластикового материала для заливки, устройство автоматической герметизации, удаления литников, направляющие и приёмник готовых изделий. ОСНОВНЫЕ ОСОБЕННОСТИ И ПРЕИМУЩЕСТВА КОНСТРУКЦИОННАЯ СХЕМА УСТАНОВКИ СОСТАВ УСТАНОВКИ 1.Модуль загрузки рамок. 2. Модуль подачи материала. 3. Модуль выгрузки. 4. Линия подачи литьевого материала. 5. Модуль сбора готовых изделий. […]

Модель инспекционного микроскопа MX68R оснащена держателями 4, 6 и 8 дюймов и применяется для инспекции полупроводниковых пластин диаметром до 200мм и плоских дисплеев с диагональю до 11 дюймов. Габаритный чертёж Основные преимущества Аксессуары для инспекционного микроскопа MX68R ОКУЛЯРЫ С ШИРОКИМ ПОЛЕМ ЗРЕНИЯ ОБЪЕКТИВЫ С БОЛЬШИМ РАБОЧИМ РАССТОЯНИЕМ Доступные объективы Объектив Кратность увеличения Числовая Апертура (N.A.) […]