Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники. 

Насосы производятся в трех исполнениях

  • серия L для легких процессов, откачки загрузочных камер или шлюзов
  • серия М для средних процессов
  • серия Н для тяжелых процессов с химически активными и агрессивными газами.

Основные области применения сухих насосов:

  • Металлургия
  • Нанесение покрытий
  • Вакуумная сушка
  • Плазменные процессы
  • Производство солнечных батарей
  • Производство светодиодов
  • Откачка вакуумных камер
  • Вакуумная упаковка
Рекомендации по применениюлегкие
процессы
средние
процессы
тяжелые
процессы
Модель
насоса
Load lockTransferMetrologyLithographyPVDpre-cleanOxideEtchRTAStrip/AshingSiliconEtchImplanSourceMetalEtchMetal
Etch
HDP-CVDRTPSACVDMOCVDPECVDLPCVDALD
LSGL-120
SGL-600
MJGM-600
JGM-1000
SGM-1200
НGH-80
GH-160
JGH-600
JGH-800
JGH-1000
JGH-1200
SGH-1200
JGH-1400
JGH-1800
SGH-1800
SGH-3000
SGH-6000

Сухие вакуумные насосы для легких процессов (серия L)

Сухие форвакуумные насосы для легких процессов серии SGL представляют собой цельную семиступенчатую конструкцию насоса Рутса. Данная обновленная конструкция сухого насоса обеспечивает высокую производительность и стабильность при работе на атмосферном давлении. Наряду с увеличением скорости вращения ротора, в сухих насосах серии SGL-120, также был уменьшен зазор между полостями ротора, что приводит к высоким показателям скорости откачки легких газов и обеспечивает предельное остаточное давление насоса такое же, как и при откачке воздуха.

Применение современных электродвигателей с постоянными магнитами снижает энергопотребление сухих насосов, поскольку они более эффективны, чем классические асинхронные двигатели.

МодельSGL-120ASGL-120ANSGL-600A
Производительность110,0 м³/ч110,0 м³/ч600,0 м³/ч
Предельное остаточное давление1,3*10-2 мбар (1,3 Па)1,3*10-2 мбар (1,3 Па)10-3 мбар (0,1 Па)
Входной фланецISO-K DN63 / ISO-KF DN50ISO-K DN63 / ISO-KF DN50ISO-K DN100
Выхлопной фланецISO-KF DN25ISO-KF DN25ISO-KF DN25
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азотаНе подключается5 slm0-14 slm
Не подключается1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 1 slm> 1 slm> 2 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума65 дБ65 дБ68 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя1,5 кВт1,5 кВт3,4 кВт
Фактическая потребляемая мощность0,65 кВт0,65 кВт1,1 кВт
Масса59 кг59 кг204 кг
Габаритный размеры450×230×295 мм450×230×295 мм695×392×407 мм
Сухие вакуумные насосы для легких процессов (серия L)

Сухие вакуумные насосы для средних процессов (серия М)

Сухие вакуумные насосы относится к механическим вакуумным насосам, которые могут начинать откачку с атмосферного давления и создавать низкое предельное давление, такое же, как и вакуумные насосы с масляным уплотнением.

Сухие насосы:

  • обеспечивают полностью сухую откачку
  • обладают высокой скоростью откачки в широком диапазоне давлений
  • быстрый запуск и могут работать сразу после включения
  • нечувствительны к пыли и водяным парам, содержащимся в откачиваемом газе
  • имеют компактную конструкцию и занимают небольшую площадь
  • низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Поэтому сухие вакуумные насосы широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, металлургической, нефтехимической, бумагоделательной, пищевой и электронной промышленностях.

МодельJGM600AJGM-1000ASGM-600ASGM-1200A
Производительность600,0 м³/ч950,0 м³/ч600,0 м³/ч1150,0 м³/ч
Предельное остаточное давление2*103 мбар (0,2 Па)2*103 мбар (0,2 Па)5*10-3 мбар (0,5 Па)5*10-3 мбар (0,5 Па)
Входной фланецISO-K DN100ISO-K DN100ISO-K DN100ISO-K DN100
Выхлопной фланецISO-KF DN25ISO-KF DN25ISO-KF DN25ISO-KF DN25
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота0-30 slm0-30 slm0-44 slm0-96 slm
1/4”1/4”1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 2 slm> 2 slm> 4-7 slm> 4-7 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума68 дБ68 дБ68 дБ68 дБ
Электропитание380В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя3,8 кВт3,8 кВт3,8 кВт3,8 кВт
Фактическая потребляемая мощность2,3 кВт2,1 кВт1,6 кВт1,6 кВт
Масса230 кг230 кг318 кг318 кг
Габаритный размеры788×288×691 мм788×288×691 мм879×294×737 мм879×294×737 мм
Сухие вакуумные насосы для средних процессов (серия М)

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Cухие вакуумные насосы серий GH, JGH и SGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно      зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности.

Сухие насосы серии SGH обладают возможностью настройки подачи азота до 120 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает вероятность образования конденсата и пыли. Насосы комплектуются электродвигателями с высоким номинальным крутящим моментом нижнего насоса до 11,9 Н/м, что значительно улучшает способность ротора удалять пыль из насоса и предотвращает его заклинивание. 

МодельGH80AGH-160A
Производительность80,0 м³/ч160,0 м³/ч
Предельное остаточное давление3*10-2 мбар (3 Па)3*10-2 мбар (3 Па)
Входной фланецISO-KF DN50ISO-KF DN50
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота4-10 slm4-10 slm
1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 2 slm> 2 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума76 дБ76 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя2,9 кВт2,9 кВт
Масса255 кг255 кг
Габаритный размеры944×405×649 мм944×405×649 мм
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

МодельJGH600A/ACJGH800CJGH-1000D
Производительность600,0 м³/ч800,0 м³/ч950,0 м³/ч
Предельное остаточное давление2*103 мбар (0,2 Па)2*103 мбар (0,2 Па)2*103 мбар (0,2 Па)
Входной фланецISO-K DN100ISO-K DN100ISO-K DN160
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота4-60 slm4-60 slm4-60 slm
1/4”1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 4 slm> 4 slm> 4 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума76 дБ76 дБ76 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя5,1 кВт5,1 кВт5,8 кВт
Фактическая потребляемая мощность3,6 кВт3,6 кВт3,6 кВт
Масса450 кг450 кг500 кг
Габаритный размеры937×386×1062 мм937×386×1062 мм1107×444×1100 мм
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

МодельJGH1200AJGH1400A/ACJGH-1800B/BC
Производительность1200,0 м³/ч1350,0 м³/ч1750,0 м³/ч
Предельное остаточное давление2*103 мбар (0,2 Па)2*103 мбар (0,2 Па)2*103 мбар (0,2 Па)
Входной фланецISO-K DN100ISO-K DN160ISO-K DN160
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота4-60 slm4-60 slm4-60 slm
1/4”1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 5 slm> 5 slm> 5 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума76 дБ76 дБ76 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя6,9 кВт5,8/7,9 кВт5,8/7,9 кВт
Фактическая потребляемая мощность3,8 кВт3,6 кВт4,0 кВт
Масса450 кг500 кг500 кг
Габаритный размеры937×386×1062 мм1107×444×1100 мм1107×444×1100 мм
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Cухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

МодельSGH1200ASGH1200AT
Производительность1350,0 м³/ч1300,0 м³/ч
Предельное остаточное давление5*103 мбар (0,5 Па)1*10-2 мбар (1 Па)
Входной фланецISO-K DN100ISO-K DN100
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота0-120 (44) slm0-120 (96) slm
1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 7,5 slm> 6 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума70 дБ70 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя12,0 кВт12,0 кВт
Фактическая потребляемая мощность4,0 кВт4,8 кВт
Масса450 кг480 кг
Габаритный размеры915×404×790 мм915×404×790 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

МодельSGH1800ASGH1800ANSGH1800AT
Производительность1800,0 м³/ч1800,0 м³/ч1700,0 м³/ч
Предельное остаточное давление5*103 мбар (0,5 Па)2*10-2 мбар (2 Па)1*10-2 мбар (1 Па)
Входной фланецISO-K DN100ISO-K DN100ISO-K DN100
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота0-120 (44) slm0-120 (120) slm0-120 (96) slm
1/4”1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 7,5 slm> 7,5 slm> 7 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума70 дБ70 дБ70 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя12,0 кВт12,0 кВт12,0 кВт
Фактическая потребляемая мощность4,0 кВт4,0 кВт4,8 кВт
Масса480 кг480 кг500 кг
Габаритный размеры915×404×790 мм915×404×790 мм915×404×790 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

МодельSGH-3000BSGH3000BTSGH6000ASGH6000AT
Производительность3200,0 м³/ч3200,0 м³/ч5000,0 м³/ч5000,0 м³/ч
Предельное остаточное давление5*103 мбар (0,5 Па)1*10-2 мбар (1 Па)5*103 мбар (0,5 Па)1*10-2 мбар (1 Па)
Входной фланецISO-K DN160ISO-K DN160ISO-K DN250ISO-K DN250
Выхлопной фланецISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40ISO-KF DN40
Температура окружающей среды5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C5 — 40°C
Подключение азота0-120 (96) slm0-120 (96) slm0-120 (96) slm0-120 (96) slm
1/4”1/4”1/4”1/4”
Подключение охлаждающей воды> 9 slm> 9 slm> 9 slm> 9 slm
3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама3/8” NPT мама
Уровень шума70 дБ70 дБ70 дБ70 дБ
Электропитание208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя18,5 кВт18,5 кВт18,5 кВт18,5 кВт
Фактическая потребляемая мощность8,5 кВт8,5 кВт8,5 кВт8,5 кВт
Масса820 кг820 кг920 кг920 кг
Габаритный размеры943×524×948 мм943×524×948 мм1093×524×948 мм1093×524×948 мм

Документы

Сухие-насосы-SKY.pdf 1.78 МБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]