Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.
Насосы производятся в трех исполнениях
- серия L для легких процессов, откачки загрузочных камер или шлюзов
- серия М для средних процессов
- серия Н для тяжелых процессов с химически активными и агрессивными газами.
Основные области применения сухих насосов:
- Металлургия
- Нанесение покрытий
- Вакуумная сушка
- Плазменные процессы
- Производство солнечных батарей
- Производство светодиодов
- Откачка вакуумных камер
- Вакуумная упаковка
| Рекомендации по применению | легкие процессы | средние процессы | тяжелые процессы | |||||||||||||||||
| Модель насоса | Load lock | Transfer | Metrology | Lithography | PVDpre-clean | OxideEtch | RTA | Strip/Ashing | SiliconEtch | ImplanSource | MetalEtch | Metal Etch | HDP-CVD | RTP | SACVD | MOCVD | PECVD | LPCVD | ALD | |
| L | SGL-120 | ● | ● | ● | ● | |||||||||||||||
| SGL-600 | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||||||
| M | JGM-600 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||
| JGM-1000 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||||
| SGM-1200 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||||
| Н | GH-80 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | |||||||||||
| GH-160 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-600 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-800 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-1000 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-1200 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| SGH-1200 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-1400 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| JGH-1800 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| SGH-1800 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| SGH-3000 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
| SGH-6000 | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ● | ||||||||||||
Сухие вакуумные насосы для легких процессов (серия L)
Сухие форвакуумные насосы для легких процессов серии SGL представляют собой цельную семиступенчатую конструкцию насоса Рутса. Данная обновленная конструкция сухого насоса обеспечивает высокую производительность и стабильность при работе на атмосферном давлении. Наряду с увеличением скорости вращения ротора, в сухих насосах серии SGL-120, также был уменьшен зазор между полостями ротора, что приводит к высоким показателям скорости откачки легких газов и обеспечивает предельное остаточное давление насоса такое же, как и при откачке воздуха.
Применение современных электродвигателей с постоянными магнитами снижает энергопотребление сухих насосов, поскольку они более эффективны, чем классические асинхронные двигатели.
| Модель | SGL-120A | SGL-120AN | SGL-600A |
| Производительность | 110,0 м³/ч | 110,0 м³/ч | 600,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 1,3*10-2 мбар (1,3 Па) | 1,3*10-2 мбар (1,3 Па) | 10-3 мбар (0,1 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN63 / ISO-KF DN50 | ISO-K DN63 / ISO-KF DN50 | ISO-K DN100 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN25 | ISO-KF DN25 | ISO-KF DN25 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | Не подключается | 5 slm | 0-14 slm |
| Не подключается | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 1 slm | > 1 slm | > 2 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 55 дБ | 55 дБ | 58 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 1,5 кВт | 1,5 кВт | 3,4 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 0,65 кВт | 0,65 кВт | 1,1 кВт |
| Масса | 59 кг | 59 кг | 204 кг |
| Габаритный размеры | 450×230×275 мм | 450×230×275 мм | 695×392×400 мм |
Сухие вакуумные насосы для средних процессов (серия М)
Сухие вакуумные насосы относится к механическим вакуумным насосам, которые могут начинать откачку с атмосферного давления и создавать низкое предельное давление, такое же, как и вакуумные насосы с масляным уплотнением.
Сухие насосы:
- обеспечивают полностью сухую откачку
- обладают высокой скоростью откачки в широком диапазоне давлений
- быстрый запуск и могут работать сразу после включения
- нечувствительны к пыли и водяным парам, содержащимся в откачиваемом газе
- имеют компактную конструкцию и занимают небольшую площадь
- низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание
Поэтому сухие вакуумные насосы широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, металлургической, нефтехимической, бумагоделательной, пищевой и электронной промышленностях.
| Модель | JGM—600A | JGM-1000A | SGM-600A | SGM-1200A |
| Производительность | 600,0 м³/ч | 950,0 м³/ч | 600,0 м³/ч | 1150,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 5*10-3 мбар (0,5 Па) | 5*10-3 мбар (0,5 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN25 | ISO-KF DN25 | ISO-KF DN25 | ISO-KF DN25 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 0-30 slm | 0-30 slm | 0-44 slm | 0-96 slm |
| 1/4” | 1/4” | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 2 slm | > 2 slm | > 4-7 slm | > 4-7 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 68 дБ | 68 дБ | 68 дБ | 68 дБ |
| Электропитание | 380В, 50Гц, 3ф | 380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 3,8 кВт | 3,8 кВт | 3,8 кВт | 3,8 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 2,3 кВт | 2,1 кВт | 1,6 кВт | 1,6 кВт |
| Масса | 230 кг | 230 кг | 318 кг | 318 кг |
| Габаритный размеры | 788×288×691 мм | 788×288×691 мм | 879×294×737 мм | 879×294×737 мм |
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
Cухие вакуумные насосы серий GH, JGH и SGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности.
Сухие насосы серии SGH обладают возможностью настройки подачи азота до 120 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает вероятность образования конденсата и пыли. Насосы комплектуются электродвигателями с высоким номинальным крутящим моментом нижнего насоса до 11,9 Н/м, что значительно улучшает способность ротора удалять пыль из насоса и предотвращает его заклинивание.
| Модель | GH—80A | GH-160A |
| Производительность | 80,0 м³/ч | 160,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 3*10-2 мбар (3 Па) | 3*10-2 мбар (3 Па) |
| Входной фланец | ISO-KF DN50 | ISO-KF DN50 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 4-10 slm | 4-10 slm |
| 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 2 slm | > 2 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 76 дБ | 76 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 2,9 кВт | 2,9 кВт |
| Масса | 255 кг | 255 кг |
| Габаритный размеры | 944×405×649 мм | 944×405×649 мм |
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
| Модель | JGH—600A/AC | JGH—800C | JGH-1000D |
| Производительность | 600,0 м³/ч | 800,0 м³/ч | 950,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 2*10—3 мбар (0,2 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 | ISO-K DN160 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 4-60 slm | 4-60 slm | 4-60 slm |
| 1/4” | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 4 slm | > 4 slm | > 4 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 76 дБ | 76 дБ | 76 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 5,1 кВт | 5,1 кВт | 5,8 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 3,6 кВт | 3,6 кВт | 3,6 кВт |
| Масса | 450 кг | 450 кг | 500 кг |
| Габаритный размеры | 937×386×1062 мм | 937×386×1062 мм | 1107×444×1100 мм |
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
| Модель | JGH—1200A | JGH—1400A/AC | JGH-1800B/BC |
| Производительность | 1200,0 м³/ч | 1350,0 м³/ч | 1750,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 2*10—3 мбар (0,2 Па) | 2*10—3 мбар (0,2 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN100 | ISO-K DN160 | ISO-K DN160 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 4-60 slm | 4-60 slm | 4-60 slm |
| 1/4” | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 5 slm | > 5 slm | > 5 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 76 дБ | 76 дБ | 76 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 6,9 кВт | 5,8/7,9 кВт | 5,8/7,9 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 3,8 кВт | 3,6 кВт | 4,0 кВт |
| Масса | 450 кг | 500 кг | 500 кг |
| Габаритный размеры | 937×386×1062 мм | 1107×444×1100 мм | 1107×444×1100 мм |
Cухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
| Модель | SGH—1200A | SGH—1200AT |
| Производительность | 1350,0 м³/ч | 1300,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 5*10—3 мбар (0,5 Па) | 1*10-2 мбар (1 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 0-120 (44) slm | 0-120 (96) slm |
| 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 7,5 slm | > 6 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 70 дБ | 70 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 12,0 кВт | 12,0 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 4,0 кВт | 4,8 кВт |
| Масса | 450 кг | 480 кг |
| Габаритный размеры | 915×404×790 мм | 915×404×790 мм |
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
| Модель | SGH—1800A | SGH—1800AN | SGH—1800AT |
| Производительность | 1800,0 м³/ч | 1800,0 м³/ч | 1700,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 5*10—3 мбар (0,5 Па) | 2*10-2 мбар (2 Па) | 1*10-2 мбар (1 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 | ISO-K DN100 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 0-120 (44) slm | 0-120 (120) slm | 0-120 (96) slm |
| 1/4” | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 7,5 slm | > 7,5 slm | > 7 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 70 дБ | 70 дБ | 70 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 12,0 кВт | 12,0 кВт | 12,0 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 4,0 кВт | 4,0 кВт | 4,8 кВт |
| Масса | 480 кг | 480 кг | 500 кг |
| Габаритный размеры | 915×404×790 мм | 915×404×790 мм | 915×404×790 мм |
Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)
| Модель | SGH-3000B | SGH—3000BT | SGH—6000A | SGH—6000AT |
| Производительность | 3200,0 м³/ч | 3200,0 м³/ч | 5000,0 м³/ч | 5000,0 м³/ч |
| Предельное остаточное давление | 5*10—3 мбар (0,5 Па) | 1*10-2 мбар (1 Па) | 5*10—3 мбар (0,5 Па) | 1*10-2 мбар (1 Па) |
| Входной фланец | ISO-K DN160 | ISO-K DN160 | ISO-K DN250 | ISO-K DN250 |
| Выхлопной фланец | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 | ISO-KF DN40 |
| Температура окружающей среды | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C | 5 — 40°C |
| Подключение азота | 0-120 (96) slm | 0-120 (96) slm | 0-120 (96) slm | 0-120 (96) slm |
| 1/4” | 1/4” | 1/4” | 1/4” | |
| Подключение охлаждающей воды | > 9 slm | > 9 slm | > 9 slm | > 9 slm |
| 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | 3/8” NPT мама | |
| Уровень шума | 70 дБ | 70 дБ | 70 дБ | 70 дБ |
| Электропитание | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф | 208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф |
| Номинальная мощность двигателя | 18,5 кВт | 18,5 кВт | 18,5 кВт | 18,5 кВт |
| Фактическая потребляемая мощность | 8,5 кВт | 8,5 кВт | 8,5 кВт | 8,5 кВт |
| Масса | 820 кг | 820 кг | 920 кг | 920 кг |
| Габаритный размеры | 943×524×948 мм | 943×524×948 мм | 1093×524×948 мм | 1093×524×948 мм |
Документы
