Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.

Насосы производятся в трех исполнениях

серия L для легких процессов, откачки загрузочных камер или шлюзов
серия М для средних процессов
серия Н для тяжелых процессов с химически активными и агрессивными газами.

Основные области применения сухих насосов:

Металлургия
Нанесение покрытий
Вакуумная сушка
Плазменные процессы
Производство солнечных батарей
Производство светодиодов
Откачка вакуумных камер
Вакуумная упаковка

Рекомендации по применению

легкие
процессы

средние
процессы

тяжелые
процессы

Модель
насоса

Load lock

Transfer

Metrology

Lithography

PVDpre-clean

OxideEtch

RTA

Strip/Ashing

SiliconEtch

ImplanSource

MetalEtch

Metal
Etch

HDP-CVD

RTP

SACVD

MOCVD

PECVD

LPCVD

ALD

SGL-120

●

SGL-600

●

JGM-600

●

JGM-1000

●

SGM-1200

●

GH-80

●

GH-160

●

JGH-600

●

JGH-800

●

JGH-1000

●

JGH-1200

●

SGH-1200

●

JGH-1400

●

JGH-1800

●

SGH-1800

●

SGH-3000

●

SGH-6000

●

Сухие вакуумные насосы для легких процессов (серия L)

Сухие форвакуумные насосы для легких процессов серии SGL представляют собой цельную семиступенчатую конструкцию насоса Рутса. Данная обновленная конструкция сухого насоса обеспечивает высокую производительность и стабильность при работе на атмосферном давлении. Наряду с увеличением скорости вращения ротора, в сухих насосах серии SGL-120, также был уменьшен зазор между полостями ротора, что приводит к высоким показателям скорости откачки легких газов и обеспечивает предельное остаточное давление насоса такое же, как и при откачке воздуха.

Применение современных электродвигателей с постоянными магнитами снижает энергопотребление сухих насосов, поскольку они более эффективны, чем классические асинхронные двигатели.

Модель	SGL-120A	SGL-120AN	SGL-600A
Производительность	110,0 м³/ч	110,0 м³/ч	600,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	1,3*10^-2 мбар (1,3 Па)	1,3*10^-2 мбар (1,3 Па)	10^-3 мбар (0,1 Па)
Входной фланец	ISO-K DN63 / ISO-KF DN50	ISO-K DN63 / ISO-KF DN50	ISO-K DN100
Выхлопной фланец	ISO-KF DN25	ISO-KF DN25	ISO-KF DN25
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	Не подключается	5 slm	0-14 slm
Подключение азота	Не подключается	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 1 slm	> 1 slm	> 2 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	55 дБ	55 дБ	58 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	1,5 кВт	1,5 кВт	3,4 кВт
Фактическая потребляемая мощность	0,65 кВт	0,65 кВт	1,1 кВт
Масса	59 кг	59 кг	204 кг
Габаритный размеры	450×230×275 мм	450×230×275 мм	695×392×400 мм

Сухие вакуумные насосы для легких процессов (серия L)

Сухие вакуумные насосы для средних процессов (серия М)

Сухие вакуумные насосы относится к механическим вакуумным насосам, которые могут начинать откачку с атмосферного давления и создавать низкое предельное давление, такое же, как и вакуумные насосы с масляным уплотнением.

Сухие насосы:

обеспечивают полностью сухую откачку
обладают высокой скоростью откачки в широком диапазоне давлений
быстрый запуск и могут работать сразу после включения
нечувствительны к пыли и водяным парам, содержащимся в откачиваемом газе
имеют компактную конструкцию и занимают небольшую площадь
низкие затраты на эксплуатацию и техническое обслуживание

Поэтому сухие вакуумные насосы широко используются в полупроводниковой, фотоэлектрической, металлургической, нефтехимической, бумагоделательной, пищевой и электронной промышленностях.

Модель	JGM—600A	JGM-1000A	SGM-600A	SGM-1200A
Производительность	600,0 м³/ч	950,0 м³/ч	600,0 м³/ч	1150,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	5*10^-3 мбар (0,5 Па)	5*10^-3 мбар (0,5 Па)
Входной фланец	ISO-K DN100	ISO-K DN100	ISO-K DN100	ISO-K DN100
Выхлопной фланец	ISO-KF DN25	ISO-KF DN25	ISO-KF DN25	ISO-KF DN25
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	0-30 slm	0-30 slm	0-44 slm	0-96 slm
Подключение азота	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 2 slm	> 2 slm	> 4-7 slm	> 4-7 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	68 дБ	68 дБ	68 дБ	68 дБ
Электропитание	380В, 50Гц, 3ф	380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф / 380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	3,8 кВт	3,8 кВт	3,8 кВт	3,8 кВт
Фактическая потребляемая мощность	2,3 кВт	2,1 кВт	1,6 кВт	1,6 кВт
Масса	230 кг	230 кг	318 кг	318 кг
Габаритный размеры	788×288×691 мм	788×288×691 мм	879×294×737 мм	879×294×737 мм

Сухие вакуумные насосы для средних процессов (серия М)

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Cухие вакуумные насосы серий GH, JGH и SGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности.

Сухие насосы серии SGH обладают возможностью настройки подачи азота до 120 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает вероятность образования конденсата и пыли. Насосы комплектуются электродвигателями с высоким номинальным крутящим моментом нижнего насоса до 11,9 Н/м, что значительно улучшает способность ротора удалять пыль из насоса и предотвращает его заклинивание.

Модель	GH—80A	GH-160A
Производительность	80,0 м³/ч	160,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	3*10^-2 мбар (3 Па)	3*10^-2 мбар (3 Па)
Входной фланец	ISO-KF DN50	ISO-KF DN50
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	4-10 slm	4-10 slm
Подключение азота	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 2 slm	> 2 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	76 дБ	76 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	2,9 кВт	2,9 кВт
Масса	255 кг	255 кг
Габаритный размеры	944×405×649 мм	944×405×649 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Модель	JGH—600A/AC	JGH—800C	JGH-1000D
Производительность	600,0 м³/ч	800,0 м³/ч	950,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	2*10^—³ мбар (0,2 Па)
Входной фланец	ISO-K DN100	ISO-K DN100	ISO-K DN160
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	4-60 slm	4-60 slm	4-60 slm
Подключение азота	1/4”	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 4 slm	> 4 slm	> 4 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	76 дБ	76 дБ	76 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	5,1 кВт	5,1 кВт	5,8 кВт
Фактическая потребляемая мощность	3,6 кВт	3,6 кВт	3,6 кВт
Масса	450 кг	450 кг	500 кг
Габаритный размеры	937×386×1062 мм	937×386×1062 мм	1107×444×1100 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Модель	JGH—1200A	JGH—1400A/AC	JGH-1800B/BC
Производительность	1200,0 м³/ч	1350,0 м³/ч	1750,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	2*10^—³ мбар (0,2 Па)	2*10^—³ мбар (0,2 Па)
Входной фланец	ISO-K DN100	ISO-K DN160	ISO-K DN160
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	4-60 slm	4-60 slm	4-60 slm
Подключение азота	1/4”	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 5 slm	> 5 slm	> 5 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	76 дБ	76 дБ	76 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	6,9 кВт	5,8/7,9 кВт	5,8/7,9 кВт
Фактическая потребляемая мощность	3,8 кВт	3,6 кВт	4,0 кВт
Масса	450 кг	500 кг	500 кг
Габаритный размеры	937×386×1062 мм	1107×444×1100 мм	1107×444×1100 мм

Cухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Модель	SGH—1200A	SGH—1200AT
Производительность	1350,0 м³/ч	1300,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	5*10^—³ мбар (0,5 Па)	1*10^-2 мбар (1 Па)
Входной фланец	ISO-K DN100	ISO-K DN100
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	0-120 (44) slm	0-120 (96) slm
Подключение азота	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 7,5 slm	> 6 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	70 дБ	70 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	12,0 кВт	12,0 кВт
Фактическая потребляемая мощность	4,0 кВт	4,8 кВт
Масса	450 кг	480 кг
Габаритный размеры	915×404×790 мм	915×404×790 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Модель	SGH—1800A	SGH—1800AN	SGH—1800AT
Производительность	1800,0 м³/ч	1800,0 м³/ч	1700,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	5*10^—³ мбар (0,5 Па)	2*10^-2 мбар (2 Па)	1*10^-2 мбар (1 Па)
Входной фланец	ISO-K DN100	ISO-K DN100	ISO-K DN100
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	0-120 (44) slm	0-120 (120) slm	0-120 (96) slm
Подключение азота	1/4”	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 7,5 slm	> 7,5 slm	> 7 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	70 дБ	70 дБ	70 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	12,0 кВт	12,0 кВт	12,0 кВт
Фактическая потребляемая мощность	4,0 кВт	4,0 кВт	4,8 кВт
Масса	480 кг	480 кг	500 кг
Габаритный размеры	915×404×790 мм	915×404×790 мм	915×404×790 мм

Сухие вакуумные насосы для тяжелых процессов (серия H)

Модель	SGH-3000B	SGH—3000BT	SGH—6000A	SGH—6000AT
Производительность	3200,0 м³/ч	3200,0 м³/ч	5000,0 м³/ч	5000,0 м³/ч
Предельное остаточное давление	5*10^—³ мбар (0,5 Па)	1*10^-2 мбар (1 Па)	5*10^—³ мбар (0,5 Па)	1*10^-2 мбар (1 Па)
Входной фланец	ISO-K DN160	ISO-K DN160	ISO-K DN250	ISO-K DN250
Выхлопной фланец	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40	ISO-KF DN40
Температура окружающей среды	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C	5 — 40°C
Подключение азота	0-120 (96) slm	0-120 (96) slm	0-120 (96) slm	0-120 (96) slm
Подключение азота	1/4”	1/4”	1/4”	1/4”
Подключение охлаждающей воды	> 9 slm	> 9 slm	> 9 slm	> 9 slm
Подключение охлаждающей воды	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама	3/8” NPT мама
Уровень шума	70 дБ	70 дБ	70 дБ	70 дБ
Электропитание	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф	208В, 50Гц, 3ф380В, 50Гц, 3ф
Номинальная мощность двигателя	18,5 кВт	18,5 кВт	18,5 кВт	18,5 кВт
Фактическая потребляемая мощность	8,5 кВт	8,5 кВт	8,5 кВт	8,5 кВт
Масса	820 кг	820 кг	920 кг	920 кг
Габаритный размеры	943×524×948 мм	943×524×948 мм	1093×524×948 мм	1093×524×948 мм

Документы

Сухие-насосы-SKY_.pdf 1.85 МБ

pdf

Новости

Новости компании Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств. В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод. Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические […]

21 сентября 2026

Сферы применения автоматических погрузчиков

Системы автоматической погрузки и разгрузки — это решение, призванное ускорить стандартный процесс управления логистикой, характерный для любого производственного предприятия или склада. Автоматизированные системы погрузки и разгрузки грузового транспорта помогают производителям, складам и логистическим центрам перемещать товары быстрее, безопаснее и эффективнее. Заменяя ручной труд, вилочные погрузчики и гидравлические тележки конвейерами, робототехникой, датчиками и интеллектуальными системами управления, […]

15 сентября 2026

Преимущества автоматической погрузки

Традиционные процессы погрузки и разгрузки часто бывают медленными, трудоемкими и могут быть сопряжены с ошибками. Срыв сроков, повреждение товаров и рост затрат на рабочую силу — все это в совокупности создает серьезные проблемы в условиях текущей конкуренции в сфере логистики. Преимущества автоматической погрузки: Эффективность и скорость В логистике время — деньги. Автоматизированная погрузка контейнеров оптимизирует […]

4 сентября 2026

Новости индустрии Грузовой паром «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой

Китай спустил на воду первый в мире грузовой паром водоизмещением 41 800 тонн под названием «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой. Это не только крупнейшее в мире саморазгрузочное судно для мелководья, но и самое быстрое судно по скорости разгрузки среди специализированных судов и первое в мире саморазгрузочное судно в этом классе тоннажа с возможностью двустороннего плавания. […]

27 августа 2026

Новости индустрии Перспективы применения PMI пены в различных отраслях

Являясь представителем высокопроизводительных структурных пен с закрытыми порами, PMI пена формирует свою основу за счет цепей с имидными кольцами. Сочетает в себе высокую удельную прочность, высокую термостойкость, низкую диэлектрическую проницаемость и стабильность к воздействию окружающей среды. Способна выдерживать высокотемпературную ползучесть, а также сохраняет стабильность своих свойств при низкой температуре. Данные характеристики способствуют прорыву в ее […]

6 августа 2026

Применение PMI пены в морской отрасли

Усиление корпуса и палубы Морские суда сталкиваются с суровыми условиями, от соленой морской воды до постоянного давления. Сочетание прочности и устойчивости к водопоглощению делает PMI пену отличным выбором для корпусов, палуб и переборок. Внутренние панели и облегченные компоненты Яхты и коммерческие суда требуют облегченных решений для внутренней отделки. PMI пена помогает снизить общий вес, повышая […]

30 июля 2026

Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда

Благодаря таким преимуществам, как легкость, высокая жесткость, шумоподавление, огнестойкость и экологичность PMI пена стала предпочтительным материалом в сфере железнодорожного транспорта для внутренних панелей и несущих конструкций высокоскоростных поездов, метро и других видов железнодорожного транспорта. Сферы применения: I. Применение для внутренних панелей Внутренние панели высокоскоростных поездов и метро должны одновременно соответствовать требованиям легкости, безопасности и комфорта. […]

21 июля 2026

Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиации PMI пена — это высокоэффективный конструкционный материал, широко используемый в авиации для производства легких и высокопрочных композитных сэндвич-панелей. Жесткая пена с закрытыми ячейками имеет решающее значение для оптимизации современных аэрокосмических конструкций при замене более тяжелых традиционных материалов. Основные преимущества пенопласта PMI в авиации Основные сферы применения в авиации:

3 июля 2026

Новости компании PMI пена (Полиметакрилимид)

Представляет собой пену со 100% закрытой ячеистой структурой, не содержит галогенов и обладает высочайшей удельной прочностью. Находит широкое применение в аэрокосмической отрасли, системах связи 5G, мембранах мобильных телефонов, клавиатурах планшетов, аудиооборудовании, высокоскоростных поездах, судах, спортивном оборудовании, медицинском оборудовании и других отраслях. Ключевые свойства материала Высокая термостойкость: Материал выдерживает автоклавное формование и совместное отверждение с высокотемпературными […]

23 июня 2026

Приглашаем посетить наш стенд на выставке VacuumCryoTech-2026!

НПК «ЭОМС» в течение последних лет является постоянным участником Международной выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности, которая в этом году пройдёт в 20-й раз. На VacuumCryoTech-2026 наша компания традиционно представит модели сухих форвакуумных насосов марки SKY, которые специально предназначены для использования в сфере производства микроэлектроники. Кроме этого, наши сотрудники […]

22 апреля 2026

Все новости

Вы ранее смотрели

Криогенные вакуумные насосы