Установки удаления фоторезиста

Высокопроизводительные установки удаления фоторезиста методом сухого травления (ICP). Сдвоенные камеры, двойная роботизированная рука для перемещения пластин, кассетной загрузка. Возможность интеграции модулей в кластер.