Вспомогательное оборудование
7 товаров
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Водорастворимые газы Cl2, BCl3, F2, HCl, HBr, NH3 и др. Состав системы Впускной узел (опция) Функции впускного узла: Распылительная форсунка Функции распылительной форсунки: Промывочная установка Особенности промывочной установки: Система циркуляции воды Особенности […]
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде. Газы Пример Соединения Si SiH4 Горючие газы H2, NН3 Токсичные газы PH3, CO ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА Особенности плазменной горелки: КАМЕРА ДОЖИГА Особенности камеры дожига: КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ Особенности камеры охлаждения: СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО […]
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения комбинации термического и плазменного дожига с душеванием для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS NSGW1.5K Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NH3 Компоновка системы и […]
Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiCl4, SiF4 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Токсичные газы PH3, AsH3, BCl3 СОСТАВ СИСТЕМЫ Основные особенности работы сухого скруббера: ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА 1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других […]
Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Горючие газы H2, NH3 Токсичные газы PH3, BCl3 Фторированные соединения NF3, […]
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NН3 NSGW1.5K Токсичные газы PH3, CO Компоновка системы и технологическая схема Установка сухого […]
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Горючие газы H2, NH3 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl Токсичные газы PH3, BCl3 […]
В разделе «Скрубберы, Чиллеры и термостаты» представлено специализированное вспомогательное оборудование для микроэлектроники, обеспечивающее высокую эффективность производственных процессов и безопасность эксплуатации.
Скрубберы предназначены для очистки и нейтрализации вредных газов и паров, способствуя поддержанию оптимального микроклимата и экологической безопасности на производстве. Надежная фильтрация и эффективное удаление загрязнений позволяют минимизировать риски для оборудования и персонала.
Чиллеры обеспечивают стабилизацию температуры технологического оборудования за счет эффективного охлаждения. Это критичный элемент для предотвращения перегрева и поддержания точного теплового режима в процессе производства микросхем и других электронных компонентов.
Термостаты гарантируют точный контроль и поддержание заданного температурного режима, что важно для проведения стабильных и качественных технологических операций. Надежные и точные устройства обеспечивают оптимальные условия, снижая износ оборудования и повышая общую производительность.
Все товары отличаются высоким качеством, долговечностью и простотой интеграции в современные производственные линии микроэлектроники. Наше оборудование проходит строгий контроль качества и соответствует международным стандартам.
Выбирая скрубберы, чиллеры и термостаты у нас, вы получаете точное, надежное и безопасное оборудование, которое помогает оптимизировать производственные процессы и поддерживать стабильность качества продукции.