Оборудование для микроэлектроники

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Водорастворимые газы Cl2, BCl3, F2, HCl, HBr, NH3 и др. Состав системы Впускной узел (опция)  Функции впускного узла: Распылительная форсунка Функции распылительной форсунки: Промывочная установка Особенности промывочной установки: Система циркуляции воды Особенности […]

Назначение: Установка предназначена для разварки полупроводниковых кристаллов толстой алюминиевой проволокой, в производстве мощных полупроводниковых дискретных компонентов и модулей. Особенности и преимущества Установка имеет две сварочные головы, работающие независимо друг от друга. Это позволяет производить разварку проволоками разного диаметра и обеспечивает высокую производительность в случае использования проволоки одного диаметра на обеих головах. Опционально доступны: Технические характеристики […]

Особенности и преимущества Технические характеристики Сварочный процесс Метод сварки Термозвук Диаметр проволоки 0,5-2,0 mil (12,7-50,8 мкм) Длина перемычки 0,2-8,0 мм Скорость сварки 24 перемычки/сек, при длине 2мм Точность сварки 3 мкм @3σ Рабочая область 56 х 90 мм (подходит для рамок шириной ≤100 мм) Точность распознавания изображения 0.25 мкм Задание профиля перемычки Полностью автоматическое Число сохраняемых программ До 30 […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде. Газы Пример Соединения Si SiH4 Горючие газы H2, NН3 Токсичные газы PH3, CO ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ  ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА Особенности плазменной горелки: КАМЕРА ДОЖИГА Особенности камеры дожига: КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ Особенности камеры охлаждения: СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения комбинации термического и плазменного дожига с душеванием для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS NSGW1.5K Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NH3 Компоновка системы и […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiCl4, SiF4 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Токсичные газы PH3, AsH3, BCl3 СОСТАВ СИСТЕМЫ Основные особенности работы сухого скруббера: ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА 1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других […]

Ручная зондовая станция, отличающаяся надёжностью и удобством. Предназначена для тестирования электрических параметров широкого перечня микроэлектронных устройств. Параметр Значение Диаметр пластин 3”, 4”, 5”, 6”, 8” Диапазон перемещения рабочей платформы X-Y 240 x 260 мм Механизм перемещения рабочей платформы маховик Диапазон перемещения по Z 10 мм  Угол поворота ϴ  ±45° Увеличение  12.5х~3000x Подсветка Оптоволоконный осветитель Загрузка пластины Ручная […]

Полностью автоматическая зондовая станция, имеющая функции автоматического выравнивания пластины, автоматического позиционирования и тестирования кристаллов. Наряду с этим, имеется функция идентификации пластин по ID. Программное обеспечение включает в себя множество других функция, предоставляя пользователю широкие возможности по проведению тестов и позволяет значительно улучшить эффективность производства. Перечень применений включает в себя тестирование / получение характеристик I-V, C-V с […]

Назначение: Установка предназначена для разварки полупроводниковых кристаллов тонкой алюминиевой проволокой на печатных платах и других подложках (технология Chip-on-Board). Может применяться для производства изделий в металлокерамических корпусах.  Особенности и преимущества Опционально доступны: Технические характеристики Сварочный процесс Перемещение по оси Z Макс. 15 мм Вращение по углу ϴ Макс. 190° Диаметр Al проволоки 0,7-2,0 mil (17,8-50,8 мкм) […]

Зондовая станция предназначена для анализа и контроля электрических параметров приборов с двух сторон полупроводниковой пластины. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 4”, 5” Диапазон перемещения X-Y 170 x 240 мм Точность позиционирования X/Y < ±0,01 мм @150 мм Разрешение X/Y 0,001 мм Держатель пластины Параметр Значение Диапазон перемещения по Z […]

Автоматическая зондовая станция ZHS-803 Полностью автоматическая зондовая станция, предназначенная для анализа и контроля электрических параметров дискретных приборов и интегральных микросхем. В сочетании с контрольно-измерительным прибором, станция позволяет тестировать электрические параметры и функционирование полупроводниковых кристаллов в автоматическом режиме. Рабочая платформа Параметр Значение Диаметр пластин 6”, 8”  Диапазон перемещения X-Y 270 x 500 мм Точность позиционирования X/Y < ±0.003 мм @200 мм Разрешение X/Y 0.001 […]

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Горючие газы H2, NH3 Токсичные газы PH3, BCl3 Фторированные соединения NF3, […]

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.  Насосы производятся в трех исполнениях Основные области применения сухих насосов: Рекомендации по применению легкие процессы средние процессы тяжелые процессы Модель насоса Load lock Transfer Metrology Lithography […]

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции. Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с […]

Установка ASM Eagle AERO предназначена для высокоскоростной разварки кристаллов в большой рабочей зоне (от 140 до 300 мм по длине и от 28 до 105 мм по ширине). Данный тип установок разварки используется при изготовлении широкой номенклатуры изделий, в которых необходимо производить разварку с кристаллов на печатную плату (Chip on Board). Сфера применения: в микроэлектронной […]

Модель инспекционного микроскопа MX8R оснащена 8- дюймовой рабочей платформой, а также имеет улучшенный эргономичный дизайн, обеспечивающий быстроту управления, равномерность освещения и высокую чёткость изображения. Основные преимущества Схема инспекционного микроскопа MX8R Аксессуары для инспекционного микроскопа MX8R ОКУЛЯРЫ С ШИРОКИМ ПОЛЕМ ЗРЕНИЯ Объективы с большим рабочим расстоянием Доступные объективы Объектив Кратность увеличения Числовая Апертура (N.A.) Рабочее фокусное […]