Установка осаждения MR SEMI 2000 / 6000 PECVD

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Применение:

Системы плазмохимического газофазного осаждения с одновременной обработкой нескольких пластин – до 6 шт. Предназначены для серийных производств.

Основные технические характеристики

Стандартная конфигурацияMR SEMI 2000 PECVDMR SEMI 6000 PECVD
Тип камерыЗагрузка нескольких пластин
ПроцессыPECVD
Количество модулейПроцессный модуль — 1
Охлаждение — 1
Процессный модуль — до 2
Охлаждение — 1
Реакционный источникСилан / TEOS
Диаметр пластин4”, 6”, 8”
Платформачетырёхугольнаяшестиугольная
Генератор плазмы13,56 МГц, 5000 Вт
или 400 кГц, 1000 Вт
Нагрев пластиныМакс. температура 400°С
SMIFДоступен

Документы

2000-PECVD-1.pdf 492.14 КБ
pdf

Новости


Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]

НПК «ЭОМС» на форуме Армия
Новости компании Международный военно-технический форум «Армия-2024»

12 августа начинает свою работу Международный военно-технический форум «Армия-2024». На выставочных площадках форума будут демонстрироваться образцы новейшей техники и оборудования и презентоваться передовые технологии для критически важных отраслей промышленности. НПК «ЭОМС» традиционно принимает участие в этом мероприятии и приглашает вас присоединиться к нам и побывать на нашем стенде. Мы запланировали для наших посетителей много интересного: […]

Векторные генераторы сигналов XS-VSG-01
Новости компании Фазовая когерентность в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01

Российское представительство компании компании «Xiansheng Technology» с радостью сообщает о реализации опции фазовой когерентности в векторных генераторах сигналов линейки XS-VSG-01. XS-VSG-01 станет оптимальным выбором для компаний участвующих в разработке и проектирование ВЧ и СВЧ устройств, тестировании модулей передачи/приёма, а теперь и таких как фазированные антенные решетки (ФАР). На сколько мы знаем, разработка и создание ФАР […]

Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]