Серия скрубберов сухого плазменного дожига NSGB1.5K/3K, NSGC1.5K/3K, NSGW1.5K
Цена по запросу
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Описание
Документы
Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3).
Основные преимущества
- Производительность:
— Модель 1.5К — 1500 л/мин (H2 — 200 SLM, NH3 — 100 SLM);
— Модель 3К – 3000 л/мин (H2 — 400SLM, NH3 — 200SLM);
- Энергоэкономичность при высокой производительности;
- Высокая эффективность очистки DRE (＞99%);
- Длительный эксплуатационный цикл;
- Простая настройка работы в автоматическом режиме;
- Специальная конструкция, позволяющая избежать проблем с закалкой;
- Основная сфера применения – MOCVD.
Модельный ряд
| Модель | Газы | Пример |
| NSGB1.5K/3K | Соединения Si | SiH4 |
| NSGC1.5K/3K | Горючие газы | H2, NН3 |
| NSGW1.5K | Токсичные газы | PH3, CO |
Компоновка системы и технологическая схема
Установка сухого плазменного дожига
Особенности сухого плазменного дожига:
- Дожиг при температуре вспышки газа с помощью дугового зажигания (0,2-0,3 кВт);
- Безопасный дожиг слабого потока газа за счет плавного дугового разряда (подача воздуха: 10 — 20 л/мин);
- Обеспечение безопасного протекания всех технологических процессов даже если температура в камере не поддерживается на должном уровне из-за повреждения нагревателя.
Камера дожига и кожух нагревателя
Особенности камеры дожига:
- Нагреватель состоит из двух элементов (7 кВт ×2EA), которые при необходимость могут быть заменены по отдельности;
- Повышенная эффективность и стабильность обработки за счет подачи газа на внутреннюю поверхность стены нагревателя для предварительного нагрева.
Камера охлаждения
Особенности камеры охлаждения:
- Система непрямого охлаждения газа, прошедшего дожиг, позволяет уменьшить парообразование.
Резервуар для конденсата
Особенности резервуара для конденсата:
- Автоматический отвод конденсата с помощью фотодатчика (датчика уровня);
- Использование штифтовой трубки для повышения эффективности охлаждения;
- Простота технического обслуживания с помощью специального окна.
Камера охлаждения pcw
Особенности камеры охлаждения PCW:
- Понижение температуру газа с помощью непрямого водяного охлаждения;
- Циркуляция воды по замкнутому циклу.
Система нагнетания воздуха
Особенности системы нагнетания воздуха:
- Компрессорная подача воздуха в камеру дожига;
- Отсутствие перегрева благодаря использованию вытяжки нагретого воздуха;
Эффективность очистки газов
| Субстрат | EFF | Международные стандарты | Примечание |
| H2 | <1% | — | На 4% — 94% ниже предела горения H2 |
| NH3 | <25 ppm (TLV) | Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB14554-93) Стандарт первого класса — 4900 г/ч | Намного ниже национального стандарта КНР |
| NOx | <160 мг/м3 | Соответствие международным стандартам по выбросу загрязняющих веществ (GB16297-1996) Стандарт первого класса — 240 мг/м3 | Ниже многих национальных стандартов |
| Технологический конденсат | <15 мг/л | Соответствие международным стандартам по сбросу сточных вод (GB8978-1996 и CJ3082-199) Стандарт первого класса — 15 мг/л | Соответствие всем национальным стандартам |
Документы
