Оборудование для микроэлектроники

Вакуумные насосы JLG обладают рядом преимуществ, которые делают их популярными в различных отраслях промышленности. Вот некоторые из них: Основные области применения насосов JLG: В быстро развивающемся мире высоких вакуумных технологий все чаще и чаще предъявляются требования к полностью безмасляной откачке. Благодаря отсутствию трения и масла, сухие форвакуумные насосы JLG обеспечивают стабильные характеристики в период всего […]

Преимущества Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц) Модель RFP-0313Выходная мощность 300 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-3BAE Cesar 133  Модель RFP-0613Выходная мощность 600 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6AAE Cesar 136, AE RFX600ACOMDEL CX-600AS Модель RFP-1213Выходная мощность 1200 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI OEM-12B/12AAE Cesar 1312 и другие модели  Модель RFP-0113Выходная мощность 100 ВтЧастота 13,56 МГц    Модель RFP-1013Выходная мощность 1000 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаCOMDEL CPS […]

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод. Ионные насосы компании SKY специально разработаны и […]

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.  Насосы производятся в трех исполнениях Основные области применения сухих насосов: Рекомендации по применению легкие процессы средние процессы тяжелые процессы Модель насоса Load lock Transfer Metrology Lithography […]

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции. Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с […]

Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели предназначены для обнаружения утечек и определения герметичности вакуумных камер. Основные режимы работы течеискателей – это работа по методу щупа, работа по вакуумному методу и работа по методу «обратного тока», но при этом течеискатель работает только как анализатор, а проверяемые изделия должны пройти опрессовку гелием заранее. Конструктивно гелиевый течеискатель состоит из масс-спектрометрического анализатора с […]

Спиральный вакуумный насос – это механический насос объемного типа, в котором сжатие воздуха происходит за счет изменения объема серповидных полостей, образуемых между 2 спиралями, расположенным по отношению друг к другу под углом 1800. При этом одна спираль остается все время неподвижной, а вторая описывает эллипс (движется по орбите). Преимущества спиральных насосов: Основные области применения спиральных […]

Турбомолекулярные насосы серии FF, разработанные компанией KYKY для приборостроительной промышленности, представляют собой небольшие высокопроизводительные высоковакуумные насосы со скоростью откачки от 22 л/с до 300 л/с и обладают компактной конструкцией, удобством в использовании и гибкостью при установке. Встроенный контроллер: Компактные турбомолекулярные насосы напрямую приводятся в действие и управляются с помощью встроенного контроллера TD, который удобно интегрировать […]

Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с консистентной смазкой компании KYKY Technology Co., Ltd — это классические высоковакуумные насосы применяемые в научно-исследовательской деятельности и высоковакуумных лабораторных установках, химической и атомной промышленности, в металлургии, ускорителях частиц, при производстве электроники, в тонкопленочных технологиях и других областях промышленности. Турбомолекулярные насосы могут устанавливаться в любом рабочем положении, обеспечивают откачку со […]

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF. Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NН3 NSGW1.5K Токсичные газы PH3, CO Компоновка системы и технологическая схема Установка сухого […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Горючие газы  H2, NH3 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl Токсичные газы PH3, BCl3 […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Водорастворимые газы Cl2, BCl3, F2, HCl, HBr, NH3 и др. Состав системы Впускной узел (опция)  Функции впускного узла: Распылительная форсунка Функции распылительной форсунки: Промывочная установка Особенности промывочной установки: Система циркуляции воды Особенности […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiCl4, SiF4 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Токсичные газы PH3, AsH3, BCl3 СОСТАВ СИСТЕМЫ Основные особенности работы сухого скруббера: ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА 1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других […]

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Горючие газы H2, NH3 Токсичные газы PH3, BCl3 Фторированные соединения NF3, […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде. Газы Пример Соединения Si SiH4 Горючие газы H2, NН3 Токсичные газы PH3, CO ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ  ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА Особенности плазменной горелки: КАМЕРА ДОЖИГА Особенности камеры дожига: КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ Особенности камеры охлаждения: СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО […]