Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная химически стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того, чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

 МодельCXF200/1401CXF200/1402CXF250/2301CXF250/2302CXF320/3001CXF320/3002
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1280 л/с
1100 л/с
880 л/с
560 л/с

1400 л/с
1300 л/с
1100 л/с
8200 л/с

2150 л/с
1900 л/с
1500 л/с
850 л/с

2360 л/с
2260 л/с
1980 л/с
1250 л/с

2950 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с

3260 л/с
2900 л/с
2550 л/с
1730 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
 
> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 109
> 109
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе2,66 мбар2,66 мбар2,66 мбар
Фланец продувки (опция)DN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин33000 об/мин27000 об/мин30000 об/мин21000 об/мин24000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 7 мин≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 9 мин≤ 10 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 11 мин≤ 12 мин≤ 12 мин≤ 14 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus
 МодельCXF200/1401CVХимически стойкийCXF250/2301CVХимически стойкийCXF320/3001CVХимически стойкий
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1400 л/с
1360 л/с
880 л/с
560 л/с

2300 л/с
2250 л/с
1900 л/с
850 л/с

3000 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
> 108
> 108
> 104
> 103
> 107
> 107
> 104
> 103
> 108
> 108
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе3 мбар3 мбар3 мбар
Фланец продувкиDN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин27000 об/мин21000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 8 мин≤ 9 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 11 мин≤ 12 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus

Документы

БУКЛЕТ-ТМН-на-магнитном-подвесе-KyKy-CXF.pdf 6.95 МБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]