Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10^-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная химически стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того, чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

Модель	CXF—200/1401	CXF—200/1402	CXF—250/2301	CXF—250/2302	CXF—320/3001	CXF—320/3002
Входной фланец	DN200 ISO-F, ISO-K, CF200		DN250 ISO-F, ISO-K, CF250		DN320 ISO-F
Выхлопной фланец	DN40 ISO-KF		DN40 ISO-KF		DN40 ISO-KF
Производительность по N₂ Ar He H₂	1280 л/с 1100 л/с 880 л/с 560 л/с	1400 л/с 1300 л/с 1100 л/с 8200 л/с	2150 л/с 1900 л/с 1500 л/с 850 л/с	2360 л/с 2260 л/с 1980 л/с 1250 л/с	2950 л/с 2750 л/с 2300 л/с 1100 л/с	3260 л/с 2900 л/с 2550 л/с 1730 л/с
Степень сжатия по N₂ Ar He H₂	> 10⁸ > 10⁸ > 10⁴ > 10³		> 10⁸ > 10⁸ > 10⁴ > 10³		> 10⁸ > 10⁸ > 10⁴ > 10³	> 10⁹ > 10⁹ > 10⁴ > 10³
Предельно остаточное давление	10^-7 Па		10^-7 Па		10^-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе	2,66 мбар		2,66 мбар		2,66 мбар
Фланец продувки (опция)	DN10 ISO-KF		DN10 ISO-KF		DN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора	30000 об/мин	33000 об/мин	27000 об/мин	30000 об/мин	21000 об/мин	24000 об/мин
Время разгона	≤ 6 мин	≤ 7 мин	≤ 8 мин	≤ 9 мин	≤ 9 мин	≤ 10 мин
Время остановки	≤ 8 мин	≤ 9 мин	≤ 11 мин	≤ 12 мин	≤ 12 мин	≤ 14 мин
Тип охлаждения	водяное		водяное		водяное
Электропитание	220В, 50Гц		220В, 50Гц		220В, 50Гц
Потребляемая мощность	1000 Вт		1500 Вт		1500 Вт
Масса	51 кг		60 кг		76 кг
Интерфейсы	RS232/485, 37-pin Remote, Profibus		RS232/485, 37-pin Remote, Profibus		RS232/485, 37-pin Remote, Profibus

Модель	CXF—200/1401CVХимически стойкий	CXF—250/2301CVХимически стойкий	CXF—320/3001CVХимически стойкий
Входной фланец	DN200 ISO-F, ISO-K, CF200	DN250 ISO-F, ISO-K, CF250	DN320 ISO-F
Выхлопной фланец	DN40 ISO-KF	DN40 ISO-KF	DN40 ISO-KF
Производительность по N₂ Ar He H₂	1400 л/с 1360 л/с 880 л/с 560 л/с	2300 л/с 2250 л/с 1900 л/с 850 л/с	3000 л/с 2750 л/с 2300 л/с 1100 л/с
Степень сжатия по N₂ Ar He H₂	> 10⁸ > 10⁸ > 10⁴ > 10³	> 10⁷ > 10⁷ > 10⁴ > 10³	> 10⁸ > 10⁸ > 10⁴ > 10³
Предельно остаточное давление	10^-7 Па	10^-7 Па	10^-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе	3 мбар	3 мбар	3 мбар
Фланец продувки	DN10 ISO-KF	DN10 ISO-KF	DN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора	30000 об/мин	27000 об/мин	21000 об/мин
Время разгона	≤ 6 мин	≤ 8 мин	≤ 9 мин
Время остановки	≤ 8 мин	≤ 11 мин	≤ 12 мин
Тип охлаждения	водяное	водяное	водяное
Электропитание	220В, 50Гц	220В, 50Гц	220В, 50Гц
Потребляемая мощность	1000 Вт	1500 Вт	1500 Вт
Масса	51 кг	60 кг	76 кг
Интерфейсы	RS232/485, 37-pin Remote, Profibus	RS232/485, 37-pin Remote, Profibus	RS232/485, 37-pin Remote, Profibus

Документы

БУКЛЕТ-ТМН-на-магнитном-подвесе-KyKy-CXF.pdf 6.95 МБ

pdf

Новости

Новости компании Итоги участия в Международной выставке VacuumTechExpo-2025

Компания «НПК «ЭОМС» приняла участие в 19-й Международной выставке вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo-2025, которая прошла с 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр». В этом году в выставке участвовали более 60 компаний из России, Китая и Республики Беларусь, а выставочная площадь составила 3000 м2, что на 44% больше, чем в прошлом году. В рамках […]

7 апреля 2025

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2025

Приглашаем вас посетить наш стенд на 27 Международной выставке ExpoElectronica 2025! На нашем стенде вас ждут новинки электроники и наши лучшиеспециалисты, которые расскажут вам последние новости в областипроизводства электронных компонентов и измерительного оборудованияи ответят на все ваши вопросы. Ждем вас на стенде №C5063, павильон 3, залы 13, 14, 15.

18 марта 2025

Источники питания постоянного тока серии N 36100 внесены в Государственный реестр средств измерений РФ.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении источников питания постоянного тока серии N 36100 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93086-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Источники питания постоянного тока программируемые N36100 N36100 — […]

18 марта 2025

Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ВакуумТехЭкспо 2025

С 1 по 3 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 19-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2025 На нашем стенде вас ждет много интересного!Новинки оборудования, наши лучшие специалисты, представители наших партнёров, последние новости китайских производителей, а также дружеская атмосфера и продуктивное общение! Ждем вас на стенде № А209, ЦВК «Экспоцентр», павильон №5 (Южный […]

7 марта 2025

Новости компании Открыт эксклюзивный сервисный центр KYKY TECHNOLOGY в Зеленограде.

Осенью прошлого года компания ООО «НПК ЭОМС» получила права на открытие эксклюзивного авторизованного сервисного центра по ремонту и обслуживанию вакуумного оборудования всемирно известной китайской компании KYKY TECHNOLOGY CO., LTD, которая является одним из ведущих мировых производителей безмасляных вакуумных насосов для производства микроэлектроники и гелевых течеискателей. Если вам требуется профессиональная техническая поддержка, обслуживание или ремонт техники […]

24 января 2025

Новости компании С Новым годом и Рождеством!

Новый год — пора новых возможностей, оригинальных идей и интересных проектов. Желаем вам безопасного ведения дел, надёжных партнеров в команде и благоприятных сделок. Желаем грандиозных планов, реализации всего задуманного и колоссального роста! Давайте продолжим наше приятное сотрудничество и в Новом году вместе добьёмся еще большего успеха! С Новым годом и Рождеством!

31 декабря 2024

Новости компании Модули расширения частотного диапазона (гармонические смесители). Диапазон частот от 75 ГГц до 110 ГГц.

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования новых модулей расширения частотного диапазона марки XS. Гармонические смесители марки XS применяются для расширения частотного диапазона векторных анализаторов цепей при разработке и испытаниях устройств в лабораториях и в условиях производства. Технические характеристики гармонических смесителей XS Структурная схема гармонического смесителя 75 ГГц – […]

13 декабря 2024

Новости компании Продукция компании занесена в Государственный реестр средств измерений

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении высокоточных источников – измерителей напряжения и силы тока (SMU) серии N2600 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93903-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». На рынке источники- измерители NGI серия N2600 представлены […]

29 ноября 2024

Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

28 октября 2024

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

16 октября 2024

Все новости