Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

adv-1 Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

adv-2 Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

adv-3 Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

adv-4 Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная химически стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того, чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

 МодельCXF—200/1401CXF—200/1402CXF—250/2301CXF—250/2302CXF—320/3001CXF—320/3002
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1280 л/с
1100 л/с
880 л/с
560 л/с

1400 л/с
1300 л/с
1100 л/с
8200 л/с

2150 л/с
1900 л/с
1500 л/с
850 л/с

2360 л/с
2260 л/с
1980 л/с
1250 л/с

2950 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с

3260 л/с
2900 л/с
2550 л/с
1730 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
 
> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 109
> 109
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе2,66 мбар2,66 мбар2,66 мбар
Фланец продувки (опция)DN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин33000 об/мин27000 об/мин30000 об/мин21000 об/мин24000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 7 мин≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 9 мин≤ 10 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 11 мин≤ 12 мин≤ 12 мин≤ 14 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus
 МодельCXF—200/1401CVХимически стойкийCXF—250/2301CVХимически стойкийCXF—320/3001CVХимически стойкий
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1400 л/с
1360 л/с
880 л/с
560 л/с

2300 л/с
2250 л/с
1900 л/с
850 л/с

3000 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
> 108
> 108
> 104
> 103
> 107
> 107
> 104
> 103
> 108
> 108
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе3 мбар3 мбар3 мбар
Фланец продувкиDN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин27000 об/мин21000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 8 мин≤ 9 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 11 мин≤ 12 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus

Документы

БУКЛЕТ-ТМН-на-магнитном-подвесе-KyKy-CXF.pdf 6.95 МБ
pdf

Новости


оборудования для измерения поверхностного сопротивления
Новости компании Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств. В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод. Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические […]

Image_20260915124751
Сферы применения автоматических погрузчиков

Системы автоматической погрузки и разгрузки — это решение, призванное ускорить стандартный процесс управления логистикой, характерный для любого производственного предприятия или склада.  Автоматизированные системы погрузки и разгрузки грузового транспорта помогают производителям, складам и логистическим центрам перемещать товары быстрее, безопаснее и эффективнее. Заменяя ручной труд, вилочные погрузчики и гидравлические тележки конвейерами, робототехникой, датчиками и интеллектуальными системами управления, […]

geekbot_ru_1788511627286
Преимущества автоматической погрузки

 Традиционные процессы погрузки и разгрузки часто бывают медленными, трудоемкими и могут быть сопряжены с ошибками. Срыв сроков, повреждение товаров и рост затрат на рабочую силу — все это в совокупности создает серьезные проблемы в условиях текущей конкуренции в сфере логистики. Преимущества автоматической погрузки: Эффективность и скорость  В логистике время — деньги. Автоматизированная погрузка контейнеров оптимизирует […]

Image_20260827145327
Новости индустрии Грузовой паром «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой

Китай спустил на воду первый в мире грузовой паром водоизмещением 41 800 тонн под названием «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой. Это не только крупнейшее в мире саморазгрузочное судно для мелководья, но и самое быстрое судно по скорости разгрузки среди специализированных судов и первое в мире саморазгрузочное судно в этом классе тоннажа с возможностью двустороннего плавания. […]

Перспективы применения PMI пены в различных отраслях
Новости индустрии Перспективы применения PMI пены в различных отраслях

Являясь представителем высокопроизводительных структурных пен с закрытыми порами, PMI пена формирует свою основу за счет цепей с имидными кольцами. Сочетает в себе высокую удельную прочность, высокую термостойкость, низкую диэлектрическую проницаемость и стабильность к воздействию окружающей среды. Способна выдерживать высокотемпературную ползучесть, а также сохраняет стабильность своих свойств при низкой температуре. Данные характеристики способствуют прорыву в ее […]

Применение PMI пены в морской отрасли
Применение PMI пены в морской отрасли

Усиление корпуса и палубы Морские суда сталкиваются с суровыми условиями, от соленой морской воды до постоянного давления. Сочетание прочности и устойчивости к водопоглощению делает PMI пену отличным выбором для корпусов, палуб и переборок. Внутренние панели и облегченные компоненты Яхты и коммерческие суда требуют облегченных решений для внутренней отделки. PMI пена помогает снизить общий вес, повышая […]

PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда

Благодаря таким преимуществам, как легкость, высокая жесткость, шумоподавление, огнестойкость и экологичность PMI пена стала предпочтительным материалом в сфере железнодорожного транспорта для внутренних панелей и несущих конструкций высокоскоростных поездов, метро и других видов железнодорожного транспорта. Сферы применения: I. Применение для внутренних панелей Внутренние панели высокоскоростных поездов и метро должны одновременно соответствовать требованиям легкости, безопасности и комфорта. […]

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиации  PMI пена — это высокоэффективный конструкционный материал, широко используемый в авиации для производства легких и высокопрочных композитных сэндвич-панелей. Жесткая пена с закрытыми ячейками имеет решающее значение для оптимизации современных аэрокосмических конструкций при замене более тяжелых традиционных материалов. Основные преимущества пенопласта PMI в авиации Основные сферы применения в авиации:

PMI пена (Полиметакрилимид)
Новости компании PMI пена (Полиметакрилимид)

Представляет собой пену со 100% закрытой ячеистой структурой, не содержит галогенов и обладает высочайшей удельной прочностью. Находит широкое применение в аэрокосмической отрасли, системах связи 5G, мембранах мобильных телефонов, клавиатурах планшетов, аудиооборудовании, высокоскоростных поездах, судах, спортивном оборудовании, медицинском оборудовании и других отраслях.  Ключевые свойства материала Высокая термостойкость: Материал выдерживает автоклавное формование и совместное отверждение с высокотемпературными […]

VacuumCryoTech-2026
Приглашаем посетить наш стенд на выставке VacuumCryoTech-2026!

НПК «ЭОМС» в течение последних лет является постоянным участником Международной выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности, которая в этом году пройдёт в 20-й раз. На VacuumCryoTech-2026 наша компания традиционно представит модели сухих форвакуумных насосов марки SKY, которые специально предназначены для использования в сфере производства микроэлектроники. Кроме этого, наши сотрудники […]