Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF.

Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в режиме реального времени. Контроллер насоса отслеживает дисбаланс и выдает динамический компенсирующий сигнал на соответствующее изменение тока в электромагнитах. Автоматическая балансировка позволяет насосу исключить возникновение вибраций и обеспечить его стабильную и надежную работу.

Роторы насосов изготовлены из соединения высокопрочного алюминиевого сплава и легкого углеродного волокна. По сравнению с роторами из алюминиевого сплава, роторы турбомолекулярных насосов серии CXFимеют значительно меньший вес и более высокую прочность, тем самым обеспечивая высокую скорость вращения, высокую производительность и высокую надежность.

Все насосы оснащены системой защиты от коррозии, поверхности деталей насосов обрабатываются по специальной технологии, так что поверхности могут противостоять коррозии, вызванной агрессивными газами в процессах производства полупроводников в течение длительного времени. Кроме того, опционально насосы могут оснащаться продувочным портом инертным газом (азотом) для защиты области низкого вакуума.

Дополнительно, для работы на тяжелых агрессивных процессах, таких как травление, разработана специальная химически стойкая версия насосов CV, оснащенная электрическим нагревателем и регулятором температуры для того, чтобы в процессе работы в насосе не происходило осаждения и конденсации агрессивных газов на поверхностях насоса.

 МодельCXF200/1401CXF200/1402CXF250/2301CXF250/2302CXF320/3001CXF320/3002
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1280 л/с
1100 л/с
880 л/с
560 л/с

1400 л/с
1300 л/с
1100 л/с
8200 л/с

2150 л/с
1900 л/с
1500 л/с
850 л/с

2360 л/с
2260 л/с
1980 л/с
1250 л/с

2950 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с

3260 л/с
2900 л/с
2550 л/с
1730 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
 
> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 108
> 108
> 104
> 103

> 109
> 109
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе2,66 мбар2,66 мбар2,66 мбар
Фланец продувки (опция)DN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин33000 об/мин27000 об/мин30000 об/мин21000 об/мин24000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 7 мин≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 9 мин≤ 10 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 9 мин≤ 11 мин≤ 12 мин≤ 12 мин≤ 14 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus
 МодельCXF200/1401CVХимически стойкийCXF250/2301CVХимически стойкийCXF320/3001CVХимически стойкий
Входной фланецDN200 ISO-F, ISO-K, CF200DN250 ISO-F, ISO-K, CF250DN320 ISO-F
Выхлопной фланецDN40 ISO-KFDN40 ISO-KFDN40 ISO-KF
Производительность по
N2
Ar
He
H2

1400 л/с
1360 л/с
880 л/с
560 л/с

2300 л/с
2250 л/с
1900 л/с
850 л/с

3000 л/с
2750 л/с
2300 л/с
1100 л/с
Степень сжатия по
N2
Ar
He
H2
> 108
> 108
> 104
> 103
> 107
> 107
> 104
> 103
> 108
> 108
> 104
> 103
Предельно остаточное давление10-7 Па10-7 Па10-7 Па
Максимальное рабочее давление на выхлопе3 мбар3 мбар3 мбар
Фланец продувкиDN10 ISO-KFDN10 ISO-KFDN10 ISO-KF
Скорость вращения ротора30000 об/мин27000 об/мин21000 об/мин
Время разгона≤ 6 мин≤ 8 мин≤ 9 мин
Время остановки≤ 8 мин≤ 11 мин≤ 12 мин
Тип охлажденияводяноеводяноеводяное
Электропитание220В, 50Гц220В, 50Гц220В, 50Гц
Потребляемая мощность1000 Вт1500 Вт1500 Вт
Масса51 кг60 кг76 кг
ИнтерфейсыRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, ProfibusRS232/485, 37-pin Remote, Profibus

Документы

БУКЛЕТ-ТМН-на-магнитном-подвесе-KyKy-CXF.pdf 6.95 МБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]