ВЧ-генераторы плазмы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

adv-1 Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

adv-2 Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

adv-3 Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

adv-4 Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Преимущества

  1. Применение современных силовых устройств, собственный независимый дизайн. 
    Уровень локализации продукта составляет 100% Китайские комплектующие
    Локализация — это ключевая особенность, позволяющая прорваться через монополию США.
  2. ВЧ-генераторы обладают высокой точностью поддержания генерируемой мощности, обеспечивают стабильную работу, максимальную надежность и долгий срок службы оборудования.
  3. ВЧ-генераторы имеют различные конфигурации и интерфейсы управления. Водяное или воздушное охлаждение, аналоговое и цифровое управление.
  4. Генераторы прошли сертификацию безопасности и соответствуют требованиям Европейского Союза. ВЧ-генераторы являются надежным брендом в области полупроводников и обладают различными функциями, необходимыми для процессов производства полупроводников следующего поколения. Обладая новейшими технологиями и надежностью, наши продукты служат постоянно развивающейся полупроводниковой промышленности.
  5. Уникальная система защиты за счет постоянного мониторинга температуры и влажности внутри генератора. Распространенной причиной сбоев ВЧ-генераторов является повреждение печатной платы, вызванное чрезмерной внутренней температурой и влажностью. Наши продукты разработаны с самозащитой от чрезмерной температуры и влажности, что снижает частоту отказов.
  6. Конструкция превентивного обнаружения неисправностей
    ВЧ-генераторы имеют ЖК-дисплей с визуальным интерфейсом и встроенной функцией фиксирования и сохранения неисправностей, чтобы облегчить диагностику оборудования. Любые записи сигналов тревоги и записи данных об использовании в производственном процессе можно запросить с панели.
  7. Динамический мониторинг, высокая эффективность Согласующих устройств.
    Дизайн динамического мониторинга позволяет пользователям быстро и удобно фиксировать точки согласования и повышать эффективность согласования. Панель согласующего устройства оснащена светодиодами, чем обеспечивается интуитивно понятную обратную связь в режиме реального времени о точке согласования импеданса, заданной точке и скорости согласования, что значительно облегчает установку и отладку, диагностику неисправностей и отладку процесса для инженеров.
  8. Полный спектр производимых ВЧ-генераторов
    Выходная частота: 400 кГц, 2 МГц, 4 МГц, 12 МГц, 13,56 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц, 128 МГц.
    Выходная мощность: 300 Вт, 600 Вт, 1 кВт, 1,2 кВт, 3 кВт, 5 кВт, 6 кВт, 10 кВт, 20 кВт, 40 кВт, 60 кВт.
    Входное напряжение: 220 В переменного тока, 400 В переменного тока, 480 В переменного тока

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц)

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ


Модель RFP-0313
Выходная мощность 300 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-3B
AE Cesar 133 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-0613
Выходная мощность 600 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6A
AE Cesar 136, AE RFX600A
COMDEL CX-600AS
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1213
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-12B/12A
AE Cesar 1312 и другие модели 
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ




Модель RFP-0113
Выходная мощность 100 Вт
Частота 13,56 МГц   
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-1013
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
COMDEL CPS -1001/12
ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ

Модель RFP-2813
Выходная мощность 2800 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI ACG-28B


Модель RFP-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI GHW-50A, ENI OEM-50A
AE RFG5500



Модель RFP-2513
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-25B 


Модель RFP-2013
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI OEM-2000A
AE Cesar 1320


Модель RFP-1250
Выходная мощность 1200 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE RFG1250/Halo, RFDS1250/Halo


Модель RFP-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 1513, Apex 1513


Модель RFP-3000
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 3013, Apex 3013


Модель RFP-10013
Выходная мощность 10500 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
ENI Spectrum 10513
AE Apex 10KW


Модель RFP-6013
Выходная мощность 6000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
AE Paramount 6013


Модель RFP-15013
Выходная мощность 15000 Вт
Частота 13,56 МГц 

Замена
Adtech Daiohen Kyosan


Согласующее устройство
Модель RFM-1513
Выходная мощность 1500 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-2000
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-3013
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 13,56 МГц


Согласующее устройство
Модель RFM-5013
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 13,56 МГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (400 кГц)



Модель RFP-400К
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10ACOMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-1000
Выходная мощность 1000 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE LF-10A
COMDEL DP5836-01R2


Модель MFP-2500
Выходная мощность 2500 Вт
Частота 400 кГц 

Замена
AE PDX II 2500 
COMDEL CLX 2500

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (40 кГц)



Модель C20XMF
Выходная мощность 20000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C10XMF
Выходная мощность 10000 Вт
Частота 40 кГц


Модель C30XMF
Выходная мощность 30000 Вт
Частота 40 кГц

Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (2 МГц, 27 МГц, 40,68 МГц, 60 МГц)



Модель RFP-3020
Выходная мощность 3000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW25, NOVA25


Модель RFP-5020
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 2 МГц 

Замена
MKS GHW50, NOVA50


Модель RFP-2027
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 27 МГц   


Модель RFP-5060
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 60 МГц 


Модель RFP-2040
Выходная мощность 2000 Вт
Частота 40,68 МГц 


Модель RFP-5027
Выходная мощность 5000 Вт
Частота 27 МГц 

Документы

ЭОМС-RF-generators.pdf 1.02 МБ
pdf

Новости


оборудования для измерения поверхностного сопротивления
Новости компании Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств. В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод. Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические […]

Image_20260915124751
Сферы применения автоматических погрузчиков

Системы автоматической погрузки и разгрузки — это решение, призванное ускорить стандартный процесс управления логистикой, характерный для любого производственного предприятия или склада.  Автоматизированные системы погрузки и разгрузки грузового транспорта помогают производителям, складам и логистическим центрам перемещать товары быстрее, безопаснее и эффективнее. Заменяя ручной труд, вилочные погрузчики и гидравлические тележки конвейерами, робототехникой, датчиками и интеллектуальными системами управления, […]

geekbot_ru_1788511627286
Преимущества автоматической погрузки

 Традиционные процессы погрузки и разгрузки часто бывают медленными, трудоемкими и могут быть сопряжены с ошибками. Срыв сроков, повреждение товаров и рост затрат на рабочую силу — все это в совокупности создает серьезные проблемы в условиях текущей конкуренции в сфере логистики. Преимущества автоматической погрузки: Эффективность и скорость  В логистике время — деньги. Автоматизированная погрузка контейнеров оптимизирует […]

Image_20260827145327
Новости индустрии Грузовой паром «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой

Китай спустил на воду первый в мире грузовой паром водоизмещением 41 800 тонн под названием «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой. Это не только крупнейшее в мире саморазгрузочное судно для мелководья, но и самое быстрое судно по скорости разгрузки среди специализированных судов и первое в мире саморазгрузочное судно в этом классе тоннажа с возможностью двустороннего плавания. […]

Перспективы применения PMI пены в различных отраслях
Новости индустрии Перспективы применения PMI пены в различных отраслях

Являясь представителем высокопроизводительных структурных пен с закрытыми порами, PMI пена формирует свою основу за счет цепей с имидными кольцами. Сочетает в себе высокую удельную прочность, высокую термостойкость, низкую диэлектрическую проницаемость и стабильность к воздействию окружающей среды. Способна выдерживать высокотемпературную ползучесть, а также сохраняет стабильность своих свойств при низкой температуре. Данные характеристики способствуют прорыву в ее […]

Применение PMI пены в морской отрасли
Применение PMI пены в морской отрасли

Усиление корпуса и палубы Морские суда сталкиваются с суровыми условиями, от соленой морской воды до постоянного давления. Сочетание прочности и устойчивости к водопоглощению делает PMI пену отличным выбором для корпусов, палуб и переборок. Внутренние панели и облегченные компоненты Яхты и коммерческие суда требуют облегченных решений для внутренней отделки. PMI пена помогает снизить общий вес, повышая […]

PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда

Благодаря таким преимуществам, как легкость, высокая жесткость, шумоподавление, огнестойкость и экологичность PMI пена стала предпочтительным материалом в сфере железнодорожного транспорта для внутренних панелей и несущих конструкций высокоскоростных поездов, метро и других видов железнодорожного транспорта. Сферы применения: I. Применение для внутренних панелей Внутренние панели высокоскоростных поездов и метро должны одновременно соответствовать требованиям легкости, безопасности и комфорта. […]

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиации  PMI пена — это высокоэффективный конструкционный материал, широко используемый в авиации для производства легких и высокопрочных композитных сэндвич-панелей. Жесткая пена с закрытыми ячейками имеет решающее значение для оптимизации современных аэрокосмических конструкций при замене более тяжелых традиционных материалов. Основные преимущества пенопласта PMI в авиации Основные сферы применения в авиации:

PMI пена (Полиметакрилимид)
Новости компании PMI пена (Полиметакрилимид)

Представляет собой пену со 100% закрытой ячеистой структурой, не содержит галогенов и обладает высочайшей удельной прочностью. Находит широкое применение в аэрокосмической отрасли, системах связи 5G, мембранах мобильных телефонов, клавиатурах планшетов, аудиооборудовании, высокоскоростных поездах, судах, спортивном оборудовании, медицинском оборудовании и других отраслях.  Ключевые свойства материала Высокая термостойкость: Материал выдерживает автоклавное формование и совместное отверждение с высокотемпературными […]

VacuumCryoTech-2026
Приглашаем посетить наш стенд на выставке VacuumCryoTech-2026!

НПК «ЭОМС» в течение последних лет является постоянным участником Международной выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности, которая в этом году пройдёт в 20-й раз. На VacuumCryoTech-2026 наша компания традиционно представит модели сухих форвакуумных насосов марки SKY, которые специально предназначены для использования в сфере производства микроэлектроники. Кроме этого, наши сотрудники […]