Ионные (магниторазрядные) насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод.

Ионные насосы компании SKY специально разработаны и применяются в различных научно-исследовательских институтах и промышленном оборудовании, где требуется создание сверхвысокого вакуума (UHV). Насосы применяются также в сверхвысоковакуумных приборах и устройствах, ускорителях частиц, источниках синхротронного излучения, исследованиях мощных лазеров, электронных микроскопах, масс-спектрометрах и в других областях.

Компания SKY Technology Development Co., Ltd. CAS (SKY), основана в 1958 году, всегда придерживается принципа, ориентированности на людей, и передовые технологии. Продукция экспортируется в различные страны и регионы. Компания с полувековой историей, которая организовала творческие и совместные научные группы, создала высокую отправную точку и технологическую платформу высокого стандарта, стала современным предприятием, которое объединяет исследования и научные разработки, производство, продажи и сервисное обслуживание вакуумного оборудования.

Компания SKY накопила богатый опыт в вакуумной промышленности. Еще в 1990 году компания успешно разработала 3-ступенчатый ионный насос, который мог достигать вакуум вплоть до 10-9 Па. После двух десятилетий разработок с постоянным применением новых технологий и концепций дизайна SKY представила новое поколение ионных насосов в 2014 году.

Новое поколение ионных насосов при меньших размерах и меньшем весе достигает более низкое предельное давление, чем аналогичные зарубежные продукты.

Насосы обеспечивают откачку воздуха или инертного газа без вибрации. Диапазон производительности насосов от 3 л/с до 1000 л/с и может быть настроен по индивидуальному заказу с конкретными требованиями.

Преимущества ионных (магниторазрядных) насосов

  1. Высоковольтный электрод:
    — Специальный изоляционный материал, обладает стойкостью к высокому давлению и высокой температуре;
    — Специальная конструкция анти-фрагментации и защиты от утечек, чтобы продлить срок службы насоса;
    — Оснащен устройством блокировки, при отключении не выдается высокое напряжение, обеспечивая безопасную работу.
  2. Высоковольтный кабель:
    — Высокомолекулярный материал изолированного проводника, радиационная стойкость, хорошие изоляционные свойства;
    — Высоковольтная защитная блокировка, автоматическая защита при отключении питания, обеспечивает безопасную работу;
    — Конструкция экрана внешнего слоя из нержавеющей стали, повышает прочность, эффективно предотвращает утечку тока.
  3. Устройство для отжига:
    — Четыре нагревательные панели из нержавеющей стали окружают конструкцию для обеспечения равномерного отжига;
    — Достижение наилучшего эффекта при наиболее экономичных эксплуатационных расходах.
  4. Анодная трубка:
    — Оптимальные формы, размер и массив анодной трубки;
    — Максимальный электроразряд и скорость откачки;
    — Минимальный размер и вес;
    — 99% керамика на основе оксида алюминия;
    — Уровень изоляции достигает нA;
    — Уменьшенное накопленное напыление проводящего покрытия.
  5. Уплотнения и процедура обработки:
    — Высокотемпературная сверхвысоковакуумная дегазация;
    — Испытательное оборудование соответствует национальном стандартам;
    — Специальное откачное оборудование для ионного насоса, обеспечивает стабильность качества массового производства ионных насосов.
  6. Откачной модуль:
    — Используется материал из соединения Ti / Ta скорость откачки инертных газа намного выше, чем у обычных двухступенчатых насосов;
    — Оптимизация конструкции насосного модуля, более компактная внутренняя структура;
    — Более стабильный разряд ионного тока в сверхвысоковакуумной среде.
  7. Корпус насоса и покрытие:
    — Инновационный дизайн структуры корпуса насоса из нержавеющей стали, значительно снижает вес насоса;
    — Антикоррозийное покрытие всего насоса обеспечивает возможность откачки различных коррозионных газов и устойчивость к высоким температурам, что продлевает срок службы в суровых рабочих условиях.
  8. Магнитная система:
    — Специальное покрытие для устойчивости к высоким температурам, коррозии и хорошим показателям;
    — Оптимизированная конструкция магнитной цепи, повышенная эффективность магнитного потока, предотвращая утечки паразитного магнитного поля.

Результаты испытаний

Испытание на предельное давлениена примере sip400aslАнализ остаточного газана примере sip400aslИспытание производительностина примере SIP200ASLСхема распределения магнитного поляна примере SIP400ASL

Кривые откачки ионных насосов

Кривые сокростей откачки по АзотуКривые сокростей откачки по АргонуКривые давления и ионного тока

Модели и технические параметры ионных насосов

МодельSIP001SIP005SIP010SIP025SIP050
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па15102550
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤1.0×10-6≤5.0×10-7≤1.0×10-8≤1.0×10-8≤8.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3
Входной фланецCF16CF40CF40CF40CF100
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)————————0.2
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)114×54×56143×79×81221.5×94×126173×134×206.5246×156×237
Масса (кг)1.22.58.512.522
МодельSIP075SIP100SIP200SIP400SIP500
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па75100200400500
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤3.0×10-9≤3.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤3.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3
Входной фланецCF63CF100CF150CF150CF150
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)0.280.280.620.680.8
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)296×163×308296×163×308442×155.6×444.5442×246×444.5447×328×444.5
Масса (кг)35356095130
МодельSIP500TSIP600SIP1000SIP1500SIP2000
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па850600100015002000
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤6.0×10-10(с LN2)≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3
Входной фланецCF150CF200CF200CF200CF250
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)0.80.81.223
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)447×578×444.5492×328×451.5512×582×451.5512×382×950550×620×950
Масса (кг)138138224300450

Контроллер ионных насосов

Основные преимущества:

  • Интерактивный интерфейс Оснащен 4,3″ цветным сенсорным экраном, все функциональные кнопки имеют сенсорное управление, просты и удобны в эксплуатации. 
  • Высокая мощность, компактный размер и простота интеграции Достижение высокой мощности, компактного размера и высокой интеграции с мощностью до 200 Вт и небольшим размером, значительно экономит занимаемое пространство.
  • Несколько режимов управления. Оснащен режимом дистанционного управления, включающим RS232 /RS485 ASCII, RS485 Mod-bus, I/O и другие разнообразные режимы управления.
  • Многофункциональный дисплей Отображение рабочих параметров: рабочего напряжения, ионного тока, степени вакуума и других данных на сенсорном экране.
  • Гибкая конфигурация параметров Оснащен функцией настройки параметров для различных требований эксплуатации, подходит для всех серий ионных насосов.
  • Функция защиты Оснащен функциями защиты от перегрузки по току, перегрева, короткого замыкания, дуги и другими методами автоматической защиты, что обеспечивает высокую надежность контроллера.

Основные технические характеристики

Электропитание220В±10%, 50Гц
Выходное напряжение+3кВ, +5кВ, +7кВ ±10%
Макс. выходная мощность200Вт/100Вт
Ток защиты от короткого замыкания70 мА
Минимальный детектируемый ионный ток100 нА
Диапазон отображения ионного тока100 мА…100 нА
Разрешение отображения напряжения100 В
Разрешение отображения тока100 нА
Габаритные размеры241 х 130 х 360 мм
Дисплей4,3″ цветной сенсорный
Масса9 кг

Документы

БУКЛЕТ-ионные-насосы-SKY.pdf 1.5 МБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]