Ионные (магниторазрядные) насосы

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод.

Ионные насосы компании SKY специально разработаны и применяются в различных научно-исследовательских институтах и промышленном оборудовании, где требуется создание сверхвысокого вакуума (UHV). Насосы применяются также в сверхвысоковакуумных приборах и устройствах, ускорителях частиц, источниках синхротронного излучения, исследованиях мощных лазеров, электронных микроскопах, масс-спектрометрах и в других областях.

Компания SKY Technology Development Co., Ltd. CAS (SKY), основана в 1958 году, всегда придерживается принципа, ориентированности на людей, и передовые технологии. Продукция экспортируется в различные страны и регионы. Компания с полувековой историей, которая организовала творческие и совместные научные группы, создала высокую отправную точку и технологическую платформу высокого стандарта, стала современным предприятием, которое объединяет исследования и научные разработки, производство, продажи и сервисное обслуживание вакуумного оборудования.

Компания SKY накопила богатый опыт в вакуумной промышленности. Еще в 1990 году компания успешно разработала 3-ступенчатый ионный насос, который мог достигать вакуум вплоть до 10-9 Па. После двух десятилетий разработок с постоянным применением новых технологий и концепций дизайна SKY представила новое поколение ионных насосов в 2014 году.

Новое поколение ионных насосов при меньших размерах и меньшем весе достигает более низкое предельное давление, чем аналогичные зарубежные продукты.

Насосы обеспечивают откачку воздуха или инертного газа без вибрации. Диапазон производительности насосов от 3 л/с до 1000 л/с и может быть настроен по индивидуальному заказу с конкретными требованиями.

Преимущества ионных (магниторазрядных) насосов

  1. Высоковольтный электрод:
    — Специальный изоляционный материал, обладает стойкостью к высокому давлению и высокой температуре;
    — Специальная конструкция анти-фрагментации и защиты от утечек, чтобы продлить срок службы насоса;
    — Оснащен устройством блокировки, при отключении не выдается высокое напряжение, обеспечивая безопасную работу.
  2. Высоковольтный кабель:
    — Высокомолекулярный материал изолированного проводника, радиационная стойкость, хорошие изоляционные свойства;
    — Высоковольтная защитная блокировка, автоматическая защита при отключении питания, обеспечивает безопасную работу;
    — Конструкция экрана внешнего слоя из нержавеющей стали, повышает прочность, эффективно предотвращает утечку тока.
  3. Устройство для отжига:
    — Четыре нагревательные панели из нержавеющей стали окружают конструкцию для обеспечения равномерного отжига;
    — Достижение наилучшего эффекта при наиболее экономичных эксплуатационных расходах.
  4. Анодная трубка:
    — Оптимальные формы, размер и массив анодной трубки;
    — Максимальный электроразряд и скорость откачки;
    — Минимальный размер и вес;
    — 99% керамика на основе оксида алюминия;
    — Уровень изоляции достигает нA;
    — Уменьшенное накопленное напыление проводящего покрытия.
  5. Уплотнения и процедура обработки:
    — Высокотемпературная сверхвысоковакуумная дегазация;
    — Испытательное оборудование соответствует национальном стандартам;
    — Специальное откачное оборудование для ионного насоса, обеспечивает стабильность качества массового производства ионных насосов.
  6. Откачной модуль:
    — Используется материал из соединения Ti / Ta скорость откачки инертных газа намного выше, чем у обычных двухступенчатых насосов;
    — Оптимизация конструкции насосного модуля, более компактная внутренняя структура;
    — Более стабильный разряд ионного тока в сверхвысоковакуумной среде.
  7. Корпус насоса и покрытие:
    — Инновационный дизайн структуры корпуса насоса из нержавеющей стали, значительно снижает вес насоса;
    — Антикоррозийное покрытие всего насоса обеспечивает возможность откачки различных коррозионных газов и устойчивость к высоким температурам, что продлевает срок службы в суровых рабочих условиях.
  8. Магнитная система:
    — Специальное покрытие для устойчивости к высоким температурам, коррозии и хорошим показателям;
    — Оптимизированная конструкция магнитной цепи, повышенная эффективность магнитного потока, предотвращая утечки паразитного магнитного поля.

Результаты испытаний

Испытание на предельное давлениена примере sip400aslАнализ остаточного газана примере sip400aslИспытание производительностина примере SIP200ASLСхема распределения магнитного поляна примере SIP400ASL

Кривые откачки ионных насосов

Кривые сокростей откачки по АзотуКривые сокростей откачки по АргонуКривые давления и ионного тока

Модели и технические параметры ионных насосов

МодельSIP001SIP005SIP010SIP025SIP050
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па15102550
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤1.0×10-6≤5.0×10-7≤1.0×10-8≤1.0×10-8≤8.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3≤1×10-3
Входной фланецCF16CF40CF40CF40CF100
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)————————0.2
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)114×54×56143×79×81221.5×94×126173×134×206.5246×156×237
Масса (кг)1.22.58.512.522
МодельSIP075SIP100SIP200SIP400SIP500
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па75100200400500
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤3.0×10-9≤3.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤3.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3
Входной фланецCF63CF100CF150CF150CF150
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)0.280.280.620.680.8
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)296×163×308296×163×308442×155.6×444.5442×246×444.5447×328×444.5
Масса (кг)35356095130
МодельSIP500TSIP600SIP1000SIP1500SIP2000
Производительность по N(л/с)при давлении 10-5 Па850600100015002000
Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃)≤6.0×10-10(с LN2)≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9≤2.0×10-9
Давление запуска (Па)≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3≤1.0×10-3
Входной фланецCF150CF200CF200CF200CF250
Напряжение на аноде (кВ)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)≤+7 (DC)
Температура отжига (℃)≤300≤300≤300≤300≤300
Мощность встроенного нагревателя (кВт)0.80.81.223
Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В)447×578×444.5492×328×451.5512×582×451.5512×382×950550×620×950
Масса (кг)138138224300450

Контроллер ионных насосов

Основные преимущества:

  • Интерактивный интерфейс Оснащен 4,3″ цветным сенсорным экраном, все функциональные кнопки имеют сенсорное управление, просты и удобны в эксплуатации. 
  • Высокая мощность, компактный размер и простота интеграции Достижение высокой мощности, компактного размера и высокой интеграции с мощностью до 200 Вт и небольшим размером, значительно экономит занимаемое пространство.
  • Несколько режимов управления. Оснащен режимом дистанционного управления, включающим RS232 /RS485 ASCII, RS485 Mod-bus, I/O и другие разнообразные режимы управления.
  • Многофункциональный дисплей Отображение рабочих параметров: рабочего напряжения, ионного тока, степени вакуума и других данных на сенсорном экране.
  • Гибкая конфигурация параметров Оснащен функцией настройки параметров для различных требований эксплуатации, подходит для всех серий ионных насосов.
  • Функция защиты Оснащен функциями защиты от перегрузки по току, перегрева, короткого замыкания, дуги и другими методами автоматической защиты, что обеспечивает высокую надежность контроллера.

Основные технические характеристики

Электропитание220В±10%, 50Гц
Выходное напряжение+3кВ, +5кВ, +7кВ ±10%
Макс. выходная мощность200Вт/100Вт
Ток защиты от короткого замыкания70 мА
Минимальный детектируемый ионный ток100 нА
Диапазон отображения ионного тока100 мА…100 нА
Разрешение отображения напряжения100 В
Разрешение отображения тока100 нА
Габаритные размеры241 х 130 х 360 мм
Дисплей4,3″ цветной сенсорный
Масса9 кг

Документы

БУКЛЕТ-ионные-насосы-SKY.pdf 1.5 МБ
pdf

Новости


Ex-Power logo
Новости компании Компания ЭОМС стала официальным дистрибьютором фирмы Ex-Power в России

Ex-Power – это производитель высоконадёжных блоков питания для ответственных применений, таких как космическая и специальная техника, корабли и самолёты. Кроме блоков питания в ассортименте есть фильтры подавления электромагнитных помех и защитные цепи, такие как защита от скачков напряжений и переходных процессов. Продукция компании уже много лет успешно применяется в Китае при производстве космических кораблей и […]

Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Xiansheng Technology на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля Российское представительство компании Xiansheng Technology и представители завода-производителя приняли участие в выставке ExpoElectronica 2024 в МВЦ «Крокус Экспо». ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю цепочку производства от изготовления компонентов до разработки и сборки конечных электронных систем. На стенде […]

ООО «НПК «ЭОМС» на выставке ExpoElectronica 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на выставке ExpoElectronica 2024

С 16 по 18 апреля в МВЦ «Крокус Экспо» будет проходить 26-я Международная выставка электроники ExpoElectronica 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. ExpoElectronica – крупнейшая по количеству участников и посетителей в России и ЕАЭС международная выставка электроники, которая представляет всю […]

ООО «НПК «ЭОМС» на VacuumTechExpo 2024
Новости компании Приглашаем посетить наш стенд на VacuumTechExpo 2024

С 9 по 11 апреля в ЦВК «Экспоцентр» будет проходить 18-я Международная выставка вакуумного и криогенного оборудования VacuumTechExpo 2024. ООО «НПК «ЭОМС» принимает участие во всех крупных отраслевых выставках и активно демонстрирует свою продукцию потенциальным и уже действующим клиентам. Выставка VacuumTechExpo — идеальная площадка для общения бизнес-сообщества и место, где можно узнать все новости отрасли: […]

Xiansheng
Новости компании В Москве открылся официальный сервисный центр Xiansheng

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании Xiansheng в городе Москва! Компания Xiansheng является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. В период […]

Relcon
Новости компании Мы – официальные дистрибьюторы Relcon в России

ООО «НПК «ЭОМС» стали официальным дистрибьютором фирмы Reliable Connectors в России. Reliable Connectors – это производитель высоконадёжных соединителей, которые широко применяются в Китае при производстве самолётов, на железной дороге и в других изделиях для ответственных применений. В ассортименте компании есть цилиндрические и прямоугольные соединители, которые являются полными аналогами некоторых серий TE, Amphenol, DDK, Cavotec, TOC, […]

Семинар СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений
Новости компании Провели научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений»

13 марта в Институте радиоэлектроники и информатики на базе УНЦ «TESLA» кафедры радиоволновых процессов и технологий состоялся научно-технический семинар «СВЧ-технологии сигнальных радиоизмерений», серия «Радиоизмерительное оборудование «Xiansheng Technology Co (XS)». Спикером выступил ведущий инженер компании «Xiansheng Technology Co (XS)» Александр Рабынин. В рамках семинара была представлена информация о доступных на российском рынке современных контрольно-измерительных СВЧ-приборах высокого […]

Новости компании Cухие вакуумные насосы серий JGH

Cухие вакуумные насосы серий JGH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы модели JGH обладают возможностью настройки подачи азота до 60 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Cухие вакуумные насосы серий GH
Новости компании Cухие вакуумные насосы серий GH

Cухие вакуумные насосы серий GH разработаны специально для работы на тяжелых химически-активных процессах и прекрасно зарекомендовали себя на таких сложных процессах как травление, ионная имплантация и CVD в полупроводниковой промышленности. Сухие насосы серии GH обладают возможностью настройки подачи азота до 40 л/мин с улучшенной системой газораспределения и настройки температуры насоса от 65°C до 120°C, что позволяет откачивать агрессивные газы и снижает […]

Новости компании Широкодиапазонный вакуумметр

KYF-181 – это широкодиапазонный вакуумметр, объединяющий в себе функциональность вакуумметра Пирани и ионизационного вакуумметра с холодным катодом. Прибор предназначен для измерения давления ниже атмосферного в негорючих и неагрессивных средах. Вакуумметр Пирани основан на измерении теплопроводимости газа и применяется для точного измерения форвакуумного давления. Ионизационный вакуумметр с холодным катодом, измеряет концентрацию ионов, возникающих на электродах, и […]