Ионные (магниторазрядные) насосы
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод.
Ионные насосы компании SKY специально разработаны и применяются в различных научно-исследовательских институтах и промышленном оборудовании, где требуется создание сверхвысокого вакуума (UHV). Насосы применяются также в сверхвысоковакуумных приборах и устройствах, ускорителях частиц, источниках синхротронного излучения, исследованиях мощных лазеров, электронных микроскопах, масс-спектрометрах и в других областях.
Компания SKY Technology Development Co., Ltd. CAS (SKY), основана в 1958 году, всегда придерживается принципа, ориентированности на людей, и передовые технологии. Продукция экспортируется в различные страны и регионы. Компания с полувековой историей, которая организовала творческие и совместные научные группы, создала высокую отправную точку и технологическую платформу высокого стандарта, стала современным предприятием, которое объединяет исследования и научные разработки, производство, продажи и сервисное обслуживание вакуумного оборудования.
Компания SKY накопила богатый опыт в вакуумной промышленности. Еще в 1990 году компания успешно разработала 3-ступенчатый ионный насос, который мог достигать вакуум вплоть до 10-9 Па. После двух десятилетий разработок с постоянным применением новых технологий и концепций дизайна SKY представила новое поколение ионных насосов в 2014 году.
Новое поколение ионных насосов при меньших размерах и меньшем весе достигает более низкое предельное давление, чем аналогичные зарубежные продукты.
Насосы обеспечивают откачку воздуха или инертного газа без вибрации. Диапазон производительности насосов от 3 л/с до 1000 л/с и может быть настроен по индивидуальному заказу с конкретными требованиями.
Преимущества ионных (магниторазрядных) насосов
- Высоковольтный электрод:
— Специальный изоляционный материал, обладает стойкостью к высокому давлению и высокой температуре;
— Специальная конструкция анти-фрагментации и защиты от утечек, чтобы продлить срок службы насоса;
— Оснащен устройством блокировки, при отключении не выдается высокое напряжение, обеспечивая безопасную работу. - Высоковольтный кабель:
— Высокомолекулярный материал изолированного проводника, радиационная стойкость, хорошие изоляционные свойства;
— Высоковольтная защитная блокировка, автоматическая защита при отключении питания, обеспечивает безопасную работу;
— Конструкция экрана внешнего слоя из нержавеющей стали, повышает прочность, эффективно предотвращает утечку тока. - Устройство для отжига:
— Четыре нагревательные панели из нержавеющей стали окружают конструкцию для обеспечения равномерного отжига;
— Достижение наилучшего эффекта при наиболее экономичных эксплуатационных расходах. - Анодная трубка:
— Оптимальные формы, размер и массив анодной трубки;
— Максимальный электроразряд и скорость откачки;
— Минимальный размер и вес;
— 99% керамика на основе оксида алюминия;
— Уровень изоляции достигает нA;
— Уменьшенное накопленное напыление проводящего покрытия. - Уплотнения и процедура обработки:
— Высокотемпературная сверхвысоковакуумная дегазация;
— Испытательное оборудование соответствует национальном стандартам;
— Специальное откачное оборудование для ионного насоса, обеспечивает стабильность качества массового производства ионных насосов. - Откачной модуль:
— Используется материал из соединения Ti / Ta скорость откачки инертных газа намного выше, чем у обычных двухступенчатых насосов;
— Оптимизация конструкции насосного модуля, более компактная внутренняя структура;
— Более стабильный разряд ионного тока в сверхвысоковакуумной среде. - Корпус насоса и покрытие:
— Инновационный дизайн структуры корпуса насоса из нержавеющей стали, значительно снижает вес насоса;
— Антикоррозийное покрытие всего насоса обеспечивает возможность откачки различных коррозионных газов и устойчивость к высоким температурам, что продлевает срок службы в суровых рабочих условиях. - Магнитная система:
— Специальное покрытие для устойчивости к высоким температурам, коррозии и хорошим показателям;
— Оптимизированная конструкция магнитной цепи, повышенная эффективность магнитного потока, предотвращая утечки паразитного магнитного поля.
Результаты испытаний
 |  |  |  |
| Испытание на предельное давлениена примере sip400asl | Анализ остаточного газана примере sip400asl | Испытание производительностина примере SIP200ASL | Схема распределения магнитного поляна примере SIP400ASL |
Кривые откачки ионных насосов
Модели и технические параметры ионных насосов
| Модель | SIP001 | SIP005 | SIP010 | SIP025 | SIP050 |
| Производительность по N2 (л/с)при давлении 10-5 Па | 1 | 5 | 10 | 25 | 50 |
| Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃) | ≤1.0×10-6 | ≤5.0×10-7 | ≤1.0×10-8 | ≤1.0×10-8 | ≤8.0×10-9 |
| Давление запуска (Па) | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 | ≤1×10-3 |
| Входной фланец | CF16 | CF40 | CF40 | CF40 | CF100 |
| Напряжение на аноде (кВ) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) |
| Температура отжига (℃) | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 |
| Мощность встроенного нагревателя (кВт) | —— | —— | —— | —— | 0.2 |
| Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В) | 114×54×56 | 143×79×81 | 221.5×94×126 | 173×134×206.5 | 246×156×237 |
| Масса (кг) | 1.2 | 2.5 | 8.5 | 12.5 | 22 |
| Модель | SIP075 | SIP100 | SIP200 | SIP400 | SIP500 |
| Производительность по N2 (л/с)при давлении 10-5 Па | 75 | 100 | 200 | 400 | 500 |
| Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃) | ≤3.0×10-9 | ≤3.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤3.0×10-9 |
| Давление запуска (Па) | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 |
| Входной фланец | CF63 | CF100 | CF150 | CF150 | CF150 |
| Напряжение на аноде (кВ) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) |
| Температура отжига (℃) | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 |
| Мощность встроенного нагревателя (кВт) | 0.28 | 0.28 | 0.62 | 0.68 | 0.8 |
| Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В) | 296×163×308 | 296×163×308 | 442×155.6×444.5 | 442×246×444.5 | 447×328×444.5 |
| Масса (кг) | 35 | 35 | 60 | 95 | 130 |
| Модель | SIP500T | SIP600 | SIP1000 | SIP1500 | SIP2000 |
| Производительность по N2 (л/с)при давлении 10-5 Па | 850 | 600 | 1000 | 1500 | 2000 |
| Предельно остаточное давление(Па)(при температуре окружающей среды ≤25℃) | ≤6.0×10-10(с LN2) | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 | ≤2.0×10-9 |
| Давление запуска (Па) | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 | ≤1.0×10-3 |
| Входной фланец | CF150 | CF200 | CF200 | CF200 | CF250 |
| Напряжение на аноде (кВ) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) | ≤+7 (DC) |
| Температура отжига (℃) | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 | ≤300 |
| Мощность встроенного нагревателя (кВт) | 0.8 | 0.8 | 1.2 | 2 | 3 |
| Габаритные размеры (мм) (Д×Ш×В) | 447×578×444.5 | 492×328×451.5 | 512×582×451.5 | 512×382×950 | 550×620×950 |
| Масса (кг) | 138 | 138 | 224 | 300 | 450 |
Контроллер ионных насосов
Основные преимущества:
- Интерактивный интерфейс Оснащен 4,3″ цветным сенсорным экраном, все функциональные кнопки имеют сенсорное управление, просты и удобны в эксплуатации.
- Высокая мощность, компактный размер и простота интеграции Достижение высокой мощности, компактного размера и высокой интеграции с мощностью до 200 Вт и небольшим размером, значительно экономит занимаемое пространство.
- Несколько режимов управления. Оснащен режимом дистанционного управления, включающим RS232 /RS485 ASCII, RS485 Mod-bus, I/O и другие разнообразные режимы управления.
- Многофункциональный дисплей Отображение рабочих параметров: рабочего напряжения, ионного тока, степени вакуума и других данных на сенсорном экране.
- Гибкая конфигурация параметров Оснащен функцией настройки параметров для различных требований эксплуатации, подходит для всех серий ионных насосов.
- Функция защиты Оснащен функциями защиты от перегрузки по току, перегрева, короткого замыкания, дуги и другими методами автоматической защиты, что обеспечивает высокую надежность контроллера.
Основные технические характеристики
| Электропитание | 220В±10%, 50Гц |
| Выходное напряжение | +3кВ, +5кВ, +7кВ ±10% |
| Макс. выходная мощность | 200Вт/100Вт |
| Ток защиты от короткого замыкания | 70 мА |
| Минимальный детектируемый ионный ток | 100 нА |
| Диапазон отображения ионного тока | 100 мА…100 нА |
| Разрешение отображения напряжения | 100 В |
| Разрешение отображения тока | 100 нА |
| Габаритные размеры | 241 х 130 х 360 мм |
| Дисплей | 4,3″ цветной сенсорный |
| Масса | 9 кг |
Документы
