Установка быстрого термического отжига (RTP)

Высокопроизводительные установки для проведения быстрых термических процессов на пластинах 100, 150 и 200 мм. Установки обеспечивают высокую однородность и повторяемость от пластины к пластине. Возможность отжига в различных средах.

Установка MR SEMI 100 RTP позволяет работать с пластинами образцами до 200 мм в диаметре.

Загрузка пластин в рабочую камеру производится автоматически из кассеты либо опционально возможно укомплектовать установку SMIF загрузчиком.

• Максимальная температура процесса до +1300 С.
• Максимальная скорость нагрева до 50 С/сек.
• Точность поддержания температуры до +/- 2 С.
• Возможно проведение процессов как в вакууме, так и газовой среде.