Оборудование для микроэлектроники

Преимущества насосов JLG-1100A: Основные области применения насосов JLG-1100A: В быстро развивающемся мире высоких вакуумных технологий все чаще и чаще предъявляются требования к полностью безмасляной откачке. Благодаря отсутствию трения и масла, сухие форвакуумные насосы JLG-1100A обеспечивают стабильные характеристики в период всего срока эксплуатации, при этом не происходит загрязнение откачиваемого объёма ни посторонними частицами, ни масляными парами. Сухие […]

Преимущества Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц) Модель RFP-0313Выходная мощность 300 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-3BAE Cesar 133  Модель RFP-0613Выходная мощность 600 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6AAE Cesar 136, AE RFX600ACOMDEL CX-600AS Модель RFP-1213Выходная мощность 1200 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI OEM-12B/12AAE Cesar 1312 и другие модели  Модель RFP-0113Выходная мощность 100 ВтЧастота 13,56 МГц    Модель RFP-1013Выходная мощность 1000 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаCOMDEL CPS […]

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод. Ионные насосы компании SKY специально разработаны и применяются […]

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции. Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с […]

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники. Насосы производятся в трех исполнениях Основные области применения сухих насосов: Рекомендации по применению легкие процессы средние процессы тяжелые процессы Модель насоса Load lock Transfer Metrology Lithography […]