Вакуумное оборудование

10 товаров
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002
Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серия CXF-200/1401, CXF-200/1402, CXF-250/2301, CXF-250/2302, CXF-320/3001, CXF-320/3002

Турбомолекулярные насосы на магнитном подвесе серии CXF — это высоковакуумные насосы, ротор которых поддерживается за счет магнитной силы, они обеспечивают скорости откачки в диапазоне от 1200 л/с до 3200 л/с, рабочим давлением от 20 Па до 10-7 Па и с возможными типами входных фланцев ISO-F и CF. Роторы турбомолекулярных насосов серии CXF имеют автоматическую систему балансировки по 5-ти осям в […]

Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с внешним контроллером серия FF-160/700, FF-200/1300, FF-250/2000
Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с внешним контроллером серия FF-160/700, FF-200/1300, FF-250/2000

Турбомолекулярные насосы на керамических подшипниках с консистентной смазкой компании KYKY Technology Co., Ltd — это классические высоковакуумные насосы применяемые в научно-исследовательской деятельности и высоковакуумных лабораторных установках, химической и атомной промышленности, в металлургии, ускорителях частиц, при производстве электроники, в тонкопленочных технологиях и других областях промышленности. Турбомолекулярные насосы могут устанавливаться в любом рабочем положении, обеспечивают откачку со […]

Компактные турбомолекулярные насосы серия FF-63/80, FF-100/150, FF-100/300
Компактные турбомолекулярные насосы серия FF-63/80, FF-100/150, FF-100/300

Турбомолекулярные насосы серии FF, разработанные компанией KYKY для приборостроительной промышленности, представляют собой небольшие высокопроизводительные высоковакуумные насосы со скоростью откачки от 22 л/с до 300 л/с и обладают компактной конструкцией, удобством в использовании и гибкостью при установке. Встроенный контроллер: Компактные турбомолекулярные насосы напрямую приводятся в действие и управляются с помощью встроенного контроллера TD, который удобно интегрировать […]

Спиральные вакуумные насосы
Спиральные вакуумные насосы

Спиральный вакуумный насос – это механический насос объемного типа, в котором сжатие воздуха происходит за счет изменения объема серповидных полостей, образуемых между 2 спиралями, расположенным по отношению друг к другу под углом 1800. При этом одна спираль остается все время неподвижной, а вторая описывает эллипс (движется по орбите). Преимущества спиральных насосов: Основные области применения спиральных […]

Многофункциональные гелиевые течеискатели серии ZQJ -3200
Многофункциональные гелиевые течеискатели серии ZQJ -3200

Гелиевые масс-спектрометрические течеискатели предназначены для обнаружения утечек и определения герметичности вакуумных камер. Основные режимы работы течеискателей – это работа по методу щупа, работа по вакуумному методу и работа по методу «обратного тока», но при этом течеискатель работает только как анализатор, а проверяемые изделия должны пройти опрессовку гелием заранее. Конструктивно гелиевый течеискатель состоит из масс-спектрометрического анализатора с […]

Криогенные вакуумные насосы
Криогенные вакуумные насосы

Криогенный вакуумный насос представляет собой разновидность высоковакуумных насосов, в котором используется принцип криогенной конденсации и криогенной адсорбции. Криогенный вакуумный насос применяется с целью получения как глубокого вакуума от 10-3 Па так и получения сверхвысокого вакуума до 10-9Па и особенно подходит для применений, требующих безмасляной и быстрой откачки. Насосы обеспечивают скорость откачки по воздуху от 1500 л/с […]

Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники
Сухие вакуумные насосы для микроэлектроники

Надёжные и производительные сухие вакуумные насосы, представляющие собой насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса, широко применяются как в общепромышленных процессах, так и в производстве микроэлектроники.  Насосы производятся в трех исполнениях Основные области применения сухих насосов: Рекомендации по применению легкие процессы средние процессы тяжелые процессы Модель насоса Load lock Transfer Metrology Lithography […]

Ионные (магниторазрядные) насосы
Ионные (магниторазрядные) насосы

Ионный насос — это тип вакуумного насоса, который работает путем распыления металлического геттера. В идеальных условиях ионные насосы способны достигать давления до 10-11 мбар. Ионный насос сначала ионизирует газ внутри объема, к которому он подключен, и использует сильный электрический потенциал, обычно 3-7 кВ, который ускоряет ионы в твердый электрод. Ионные насосы компании SKY специально разработаны и […]

ВЧ-ГЕНЕРАТОРЫ ПЛАЗМЫ
ВЧ-генераторы плазмы

Преимущества Технические параметры ВЧ-генераторов плазмы (13,56 МГц) Модель RFP-0313Выходная мощность 300 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-3BAE Cesar 133  Модель RFP-0613Выходная мощность 600 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI ACG-6B, ENI OEM-6B/6AAE Cesar 136, AE RFX600ACOMDEL CX-600AS Модель RFP-1213Выходная мощность 1200 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаENI OEM-12B/12AAE Cesar 1312 и другие модели  Модель RFP-0113Выходная мощность 100 ВтЧастота 13,56 МГц    Модель RFP-1013Выходная мощность 1000 ВтЧастота 13,56 МГц  ЗаменаCOMDEL CPS […]

Безмасляные форвакуумные насосы промышленного применения для откачки больших объёмов
Безмасляные форвакуумные насосы промышленного применения для откачки больших объёмов

Преимущества насосов JLG-1100A: Основные области применения насосов JLG-1100A: В быстро развивающемся мире высоких вакуумных технологий все чаще и чаще предъявляются требования к полностью безмасляной откачке. Благодаря отсутствию трения и масла, сухие форвакуумные насосы JLG-1100A обеспечивают стабильные характеристики в период всего срока эксплуатации, при этом не происходит загрязнение откачиваемого объёма ни посторонними частицами, ни масляными парами. Сухие […]

Вакуумными насосами принято называть устройства, предназначенные для создания так называемого технического вакуума в определённом объёме, что подразумевает откачку из него всех посторонних газовых сред. Создание технического вакуума в герметичных камерах наиболее востребовано в высокотехнологичных областях науки и промышленности, например таких как микроэлектроника. Выбор определённой модели вакуумного насоса или какой-либо комбинации вакуумного оборудования диктуется видом откачиваемых газов, необходимой пропускной способностью и степенью чистоты создаваемого вакуума. По этой причине для каждого конкретного применения существует своя конструкция вакуумного насоса, чем обусловлено большое разнообразие их видов. По основному принципу действия вакуумные насосы можно разделить на газоперемещающие, в которых откачиваемый газ просто выводится за пределы вакуумной камеры, и газопоглащающие (сорбционные), которые сохраняют откаченный объём газа. Газоперемещающие вакуумные насосы в свою очередь бывают объёмными, откачивающими газ порционно, и динамическими (кинетическими) действие которых беспрерывно. Кроме этого, по конструкционным признакам вакуумные насосы делятся на масленые (со смазкой деталей) и сухие (без смазки), для вакуумных применений, где недопустимы масленые испарения даже в небольшом количестве используются сухие вакуумные насосы. Ключевым параметром для всех видов вакуумных насосов является диапазон создаваемого рабочего давления, что подразумевает создание сверхвысокого вакуума (от 10-10 до 10-5мбар), высокого вакуума (от 10-4 до 10-1 мбар), среднего вакуума (от 10-1 до 10 мбар) и низкого вакуума (от 10 до 1000 мбар).

В нашем каталоге представлены следующие виды вакуумных насосов:

  • Спиральные вакуумные насосы, относящиеся к сухому типу. Работа этого вида насосов основана на прокачке газа через закрученное по спирали пространство. Такие насосы часто используются на охлаждающем оборудовании совместно с турбомолекулярными насосами.
  • Ионные (магниторазрядные) насосы. В таких насосах откачка газа осуществляется путём его предварительной ионизации с последующим удалением ионизированных молекул электрическим полем. Эти насосы обычно применяются для создания высокого и сверхвысокого вакуума.
  • Вакуумные насосы когтевого и винтового типов в комбинации с насосом Рутса. Это сухие вакуумные насосы специально предназначенные для промышленных линий по производству микроэлектроники.
  • Турбомолекулярные вакуумные насосы, откачка газа в которых происходит за счёт высокоскоростного вращения лопастей, продвигающих тем самым молекулы газа к выходному каналу.
  • Криогенные вакуумные насосы. В основу их действия заложен принцип заморозки газовых смесей с последующей их абсорбцией. Это высоковакуумный тип насосов, отличающийся высокой производительностью.
  • Промышленные форвакуумные сухие насосы, где откачка газа осуществляется за счёт его предварительного разрежения. Эти насосы используются при прокачке больших объёмов газа.

Помимо самих вакуумных насосов нами также предлагается дополнительное оборудование для определения герметичности вакуумных камер и поиска утечек – это многофункциональные гелевые течеискатели.