Установки для тестирования полупроводниковых пластин

Тестовый контроль полупроводниковых пластин представляет собой один из этапов полупроводникового производства, который предшествует корпусированию.  Данная инспекция позволяет выявить такие дефекты как загрязнения, царапины, наличие частиц кремния, сколы, отслоение, растрескивание, по результатам чего составляется карта годности полупроводниковой пластины. Помимо проверки на дефекты, также важно определение общих параметров пластины (критические размеры элементов, степень совмещения технологических слоев, толщина плёнок и т.д.).  Для этих целей используются специализированные автоматические и полуавтоматические установки контроля качества полупроводниковых пластин. Характеристики таких установок во многом определяют свойства самих пластин, прежде всего их размер и форма. Оптический контроль как правило осуществляется с применением микроскопии и лазерных измерительных приборов, работающих как в видимом, так и в УФ и ИК диапазонах. Особое значение имеет не только универсальность тестовой системы полупроводников, но и её производительность, а также чувствительность к дефектам. Программное и аппаратное обеспечение многих современных установок для тестирования полупроводниковых пластин позволяет не только обнаруживать мельчайшие дефекты на их поверхности, но и квалифицировать их определённым образом. Идентификация дефектов происходит с помощью предустановленных фильтров, а их фиксация производится специальным маркировщиком.  Таким образом измерительно-инспекционные системы контроля за качеством и параметрами полупроводниковых пластин на сегодняшний день являются неотъемлемой частью производства электроники.