Вспомогательное оборудование

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения спиральной форсунки с использованием многоступенчатой промывки водой, которая обеспечивает максимальную очистку водорастворимых газов. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Водорастворимые газы Cl2, BCl3, F2, HCl, HBr, NH3 и др. Состав системы Впускной узел (опция)  Функции впускного узла: Распылительная форсунка Функции распылительной форсунки: Промывочная установка Особенности промывочной установки: Система циркуляции воды Особенности […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения электронагрева (термический дожиг) с душеванием и может обрабатывать легковоспламеняющиеся, токсичные газы, а также газы на основе перфторуглеродов (ПФУ) при температуре выше +800℃. Основные преимущества Обрабатываемые газы Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Горючие газы  H2, NH3 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl Токсичные газы PH3, BCl3 […]

Данная система предназначена для очистки легковоспламеняющихся и токсичных газов от ПФУ с помощью плазменного дожига при температуре более 3000℃ и последующей доочистке водой. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ИСТОЧНИК КОНЦЕНТРИРОВАННОЙ ПЛАЗМЫ ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Горючие газы H2, NH3 Токсичные газы PH3, BCl3 Фторированные соединения NF3, […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом. ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ Вид газов Пример Соединения Si SiH4, SiCl4, SiF4 Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 Токсичные газы PH3, AsH3, BCl3 СОСТАВ СИСТЕМЫ Основные особенности работы сухого скруббера: ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА 1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PH3 и других […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения комбинации термического и плазменного дожига с душеванием для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4, SiH2Cl2, TEOS NSGW1.5K Водорастворимые газы Cl2, F2, HCl, NH3 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NH3 Компоновка системы и […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига для обеспечения безопасной и эффективной обработки легковоспламеняющихся и взрывоопасных газов с большим коэффициентом расширения (H2/NH3). Основные преимущества Модельный ряд Модель Газы Пример NSGB1.5K/3K Соединения Si SiH4 NSGC1.5K/3K Горючие газы H2, NН3 NSGW1.5K Токсичные газы PH3, CO Компоновка системы и технологическая схема Установка сухого […]

Данная система очистки газовых потоков построена на основе применения сухого плазменного дожига и предназначена для очистки газов нерастворимых в воде. Газы Пример Соединения Si SiH4 Горючие газы H2, NН3 Токсичные газы PH3, CO ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА ЦИРКУЛЯЦИЯ ГАЗА КОМПОНОВКА СИСТЕМЫ  ПЛАЗМЕННАЯ ГОРЕЛКА Особенности плазменной горелки: КАМЕРА ДОЖИГА Особенности камеры дожига: КАМЕРА ОХЛАЖДЕНИЯ Особенности камеры охлаждения: СОБИРАЮЩЕЕ УСТРОЙСТВО […]