Термический скруббер с очень высокой эффективностью разрушения и удаления

С нашим термическим окислителем NSHW наши клиенты в фотоэлектрической и полупроводниковой промышленности достигли высокой эффективности разрушения и удаления в процессе PECVD. Система с электрическим обогревом, которую мы успешно запустили в 2015 году, отличается низким потреблением и затратами на установку. Система была разработана на базе нашей проверенной горелки-промывки и не требует подачи газа для горения и окисления. Для эффективной обработки газа температура повышается с помощью электронагревателя максимум до 800 °C — 900 °C. Затем продукты сгорания подвергаются мокрой очистке, что обеспечивает надежную очистку газов для различных процессов и применений.

На основе измерений ИК-Фурье-спектрометра, которые третья сторона выполнила по запросу клиента, коэффициенты эффективности (DRE) силанового газа (SiH4) и аммиака (NH3) (DRE) превышали 99,9% во время производства. Это позволяет нашим клиентам соблюдать все государственные стандарты по чистоте атмосферы. Мы будем рады помочь вам в проведении более глубокого анализа. Подробную информацию см. в нашей системе NSHW.

[:]