Установка для ПХ зачистки поверхности CRF-VPO-100L

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

adv-1 Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

adv-2 Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

adv-3 Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

adv-4 Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Установка для ПХ зачистки поверхности CRF-VPO-100L использует методику плазменной очистки. Сферы её применения: упаковка полупроводников, производство гибких печатных плат, энергетика, машиностроение, производство различных электронных устройств, медицинского оборудования и инструментов.

ГАБАРИТНЫЙ ЧЕРТЁЖ

ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ

Обрабатываемые изделияподложки, корпуса и рамки микросхем
Объём реактивной камеры, л100
Габаритные размеры установки, мм990 х 1100 х 1708
Габаритные размеры камеры, мм450 х 500 х 450
Масса, кг500
Потребляемая мощность, кВт4,5
Рабочее напряжение, В380 (переменный ток 50Гц)
Система управленияPLC+HMI (Mitsubishi)
Генератор плазмыCRF мощностью 0-600 Вт (полностью автоматическая система)
Система контроля вакуумацифровой вакуумметр Пирани
Система газорегулированияуправление двусторонним электромагнитным клапаном
Количество электродных слоев8-слойная горизонтальная электродная пластина
Эффективная зона обработки, мм370 х 440
Газовый каналстандартный двусторонний канал с выбором газов: сжатый воздух, кислород, аргон, азот, четырехфтористый углерод и т.д.
Рабочий вакуум, Па5 — 50
Время вакуумной откачки, с≤ 60
Сброс вакуума, с≤ 15
Регулирование массового расхода, sccm0 — 300
Время очистки, с60 – 120 (настраиваемый параметр)
Диапазон давления в реакционной камере, Па0,5 — 30
Расход сжатого воздуха, л/мин.1-10
Вакуумный насосTVP90m³/h
МанометрSMC

Документы

CRF-VPO-100L.pdf 1.78 МБ
pdf

Новости


оборудования для измерения поверхностного сопротивления
Новости компании Компания НПК «ЭОМС» начала поставки оборудования для измерения поверхностного сопротивления из Китая

Установка используется в производстве микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок и т. д., для межоперационного контроля, а также в сфере разработок микроэлектронных устройств. В основе измерения сопротивления лежит четырёх-зондовый контактный метод. Измерительная головка, оборудованная зондами из карбида вольфрама, перемещаясь по поверхности пластины, снимает электрические […]

Image_20260915124751
Сферы применения автоматических погрузчиков

Системы автоматической погрузки и разгрузки — это решение, призванное ускорить стандартный процесс управления логистикой, характерный для любого производственного предприятия или склада.  Автоматизированные системы погрузки и разгрузки грузового транспорта помогают производителям, складам и логистическим центрам перемещать товары быстрее, безопаснее и эффективнее. Заменяя ручной труд, вилочные погрузчики и гидравлические тележки конвейерами, робототехникой, датчиками и интеллектуальными системами управления, […]

geekbot_ru_1788511627286
Преимущества автоматической погрузки

 Традиционные процессы погрузки и разгрузки часто бывают медленными, трудоемкими и могут быть сопряжены с ошибками. Срыв сроков, повреждение товаров и рост затрат на рабочую силу — все это в совокупности создает серьезные проблемы в условиях текущей конкуренции в сфере логистики. Преимущества автоматической погрузки: Эффективность и скорость  В логистике время — деньги. Автоматизированная погрузка контейнеров оптимизирует […]

Image_20260827145327
Новости индустрии Грузовой паром «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой

Китай спустил на воду первый в мире грузовой паром водоизмещением 41 800 тонн под названием «WONTANARA» с автоматической разгрузочной системой. Это не только крупнейшее в мире саморазгрузочное судно для мелководья, но и самое быстрое судно по скорости разгрузки среди специализированных судов и первое в мире саморазгрузочное судно в этом классе тоннажа с возможностью двустороннего плавания. […]

Перспективы применения PMI пены в различных отраслях
Новости индустрии Перспективы применения PMI пены в различных отраслях

Являясь представителем высокопроизводительных структурных пен с закрытыми порами, PMI пена формирует свою основу за счет цепей с имидными кольцами. Сочетает в себе высокую удельную прочность, высокую термостойкость, низкую диэлектрическую проницаемость и стабильность к воздействию окружающей среды. Способна выдерживать высокотемпературную ползучесть, а также сохраняет стабильность своих свойств при низкой температуре. Данные характеристики способствуют прорыву в ее […]

Применение PMI пены в морской отрасли
Применение PMI пены в морской отрасли

Усиление корпуса и палубы Морские суда сталкиваются с суровыми условиями, от соленой морской воды до постоянного давления. Сочетание прочности и устойчивости к водопоглощению делает PMI пену отличным выбором для корпусов, палуб и переборок. Внутренние панели и облегченные компоненты Яхты и коммерческие суда требуют облегченных решений для внутренней отделки. PMI пена помогает снизить общий вес, повышая […]

PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) и поезда

Благодаря таким преимуществам, как легкость, высокая жесткость, шумоподавление, огнестойкость и экологичность PMI пена стала предпочтительным материалом в сфере железнодорожного транспорта для внутренних панелей и несущих конструкций высокоскоростных поездов, метро и других видов железнодорожного транспорта. Сферы применения: I. Применение для внутренних панелей Внутренние панели высокоскоростных поездов и метро должны одновременно соответствовать требованиям легкости, безопасности и комфорта. […]

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении
Новости индустрии PMI пена (Полиметакрилимид) в авиаcтроении

PMI пена (Полиметакрилимид) в авиации  PMI пена — это высокоэффективный конструкционный материал, широко используемый в авиации для производства легких и высокопрочных композитных сэндвич-панелей. Жесткая пена с закрытыми ячейками имеет решающее значение для оптимизации современных аэрокосмических конструкций при замене более тяжелых традиционных материалов. Основные преимущества пенопласта PMI в авиации Основные сферы применения в авиации:

PMI пена (Полиметакрилимид)
Новости компании PMI пена (Полиметакрилимид)

Представляет собой пену со 100% закрытой ячеистой структурой, не содержит галогенов и обладает высочайшей удельной прочностью. Находит широкое применение в аэрокосмической отрасли, системах связи 5G, мембранах мобильных телефонов, клавиатурах планшетов, аудиооборудовании, высокоскоростных поездах, судах, спортивном оборудовании, медицинском оборудовании и других отраслях.  Ключевые свойства материала Высокая термостойкость: Материал выдерживает автоклавное формование и совместное отверждение с высокотемпературными […]

VacuumCryoTech-2026
Приглашаем посетить наш стенд на выставке VacuumCryoTech-2026!

НПК «ЭОМС» в течение последних лет является постоянным участником Международной выставки решений в области вакуумных и криогенных технологий для науки и промышленности, которая в этом году пройдёт в 20-й раз. На VacuumCryoTech-2026 наша компания традиционно представит модели сухих форвакуумных насосов марки SKY, которые специально предназначены для использования в сфере производства микроэлектроники. Кроме этого, наши сотрудники […]