Установка измерения поверхностного и удельного сопротивления
Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость
Под ключ
Пуско-наладка и обучение персонала
Гибкость
Различные условия продаж и поставок под клиента
Консультация
Подберем оборудование под ваши задачи
Гарантия
Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя
Данная установка используется в области производства микросхем и полупроводниковых приборов для контроля удельного сопротивления кремниевых пластин, диффузионных слоев, ионно-имплантированных слоев, прозрачных проводящих пленок ITO, металлических пленок и т. д. Это ключевое средство для мониторинга процессов, контроля качества, а также исследований и разработок полупроводниковых устройств. В сочетании с возможностями анализа данных оно удовлетворяет любые требования, начиная от лабораторных исследований материалов и заканчивая мониторингом производственных процессов.
Основные особенности
- Ручная загрузка пластин на столик;
- Столик для пластин имеет вырез для пинцета;
- Автоматическое измерение сопротивления;
- Возможность замены измерительных головок;
- Контроль силы прижима для исключения избыточного давления и повреждения образца или измерительной головки;
- Система самоочистки зондов (очистка на керамической пластине);
- Возможность подключения внешних эталонных резисторов для проведения калибровки измерителя;
- Вакуумная фиксация образца;
- Операционная система Windows;
- Язык интерфейса – английский;
- Функции автоматического и ручного измерения;
- Анализ данных: построение 2D и 3D карт распределения сопротивления по пластине;
- Функции статистического анализа: минимальное, среднее, максимальное значения, стандартное отклонение и пр.;
- Наличие крышки, полностью закрывающей образец от света.
Основные технические характеристики
|
Диаметр тестируемых пластин, мм |
100 / 150 / 200 (фрагменты от 20мм) |
|
Толщина образца, мм |
< 30 |
|
Диапазон измерения поверхностного сопротивления, мОм/кв. |
от 1 до 5 |
|
Точность измерений, % |
≤ ±1 |
|
Воспроизводимость измерений, % |
≤ 0,2 |
|
Функции коррекции |
коррекция краевых эффектов и температурная коррекция |
|
Точность позиционирования по осям X, R, Z, мкм |
≤ 50 |
|
Расположение зондов в измерительной головке |
линейное |
|
Материал зондов |
WC (монокарбид вольфрама) |
|
Радиус зондов, мкм |
40 / 100 |
|
Нагрузка, г |
100 |
|
Габаритные размеры, мм |
880 × 510 × 450 |
|
Масса, кг |
65 |
Комплект поставки
|
Nо |
Наименование |
Количество |
Примечание |
|
1. |
Блок измерения сопротивления |
1 |
FPRM-689 |
|
2. |
Вакуумный насос |
1 |
JBL-550W |
|
3. |
Измерительная головка |
2 |
A, B * |
|
4. |
Стандартные образцы сопротивлений |
3 |
2.794 Ω, 279.4 Ω, 27.94 kΩ |
|
5. |
Керамическая пластина |
2 |
для очистки зондов |
|
6. |
Винт для фиксации керамической пластины |
1 |
|
|
7. |
Винт для фиксации зондов |
1 |
|
|
8. |
Крышки для тестирования стандартных образцов сопротивлений |
1 |
комплект |
|
9. |
Блок управления |
1 |
|
|
10. |
Клавиатура |
1 |
|
|
11. |
Мышь |
1 |
|
|
12. |
Монитор |
1 |
|
|
13. |
Сертификат о первичной поверке |
1 |
|
|
14. |
Руководство пользователя |
1 |
|
* Измерительные головки являются сменной оснасткой в составе блока измерения сопротивления
Документы
