Серия сухих скрубберов NSOD 50 S/D, NSOD 100 S/D, NSOD 200 S/D

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Емкость поглотителя: 
    — NSOD 50 S/D – 50 литров;
    — NSOD 100 S/D – 100 литров;
    — NSOD 200 S/D – 200 литров.
  • Высокая эффективность газоочистки;
  • Низкие эксплуатационные расходы;
  • Простой в обслуживании и замене адсорбционный картридж;
  • Основные отрасли применения – полупроводниковое производство, FPD, солнечные батареи, светодиоды.
  • Основные технологические процессы использования — IMP / Etch / CVD и т.д.

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiCl4, SiF4
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl, NH3
Токсичные газыPH3, AsH3, BCl3

СОСТАВ СИСТЕМЫ

Основные особенности работы сухого скруббера:

  • Газ очищается с помощью метода химической адсорбции.
  • Если давление на входе превышает допустимые значения, то открывается перепускной клапан.
  • Устройство адсорбционного картриджа обеспечивает легкую загрузку и замену адсорбента.
  • В случае срабатывания аварийной сигнализации, очищенный газ поступает через аварийный картридж.

ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА

1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PHи других газов группы VOCs)

2. Z-VNH (адсорбент для щелочных газов, таких как NH)*

* При использовании данного адсорбента для очистки SiH4, AsH3, PH3, его цвет меняется от небесно-голубого до темно-коричневого.

3. Z-VHF (адсорбент для кислых газов)

Следует также учитывать, что цвет адсорбента может измениться под воздействием воздуха (О2), т.е. без закачки газа.  

ХИМИЧЕСКАЯ СХЕМА ОЧИСТКИ

Химические преобразованияDRE
2F2 + 2Ca (OH)2 —> 2Ca (OH)2 + 2 H2O + O2<TLV
2BCI3 + 2Fe (OH)3 —> 2FeCl3 + B2O3 + 3H2O<TLV
2Cl2 + 2Ca (OH)2 —> 2CaCl2 + 2H2O + O2<TLV
2AsH3 + 3CuO —> Cu3As + 6H2O + As<TLV
2PH3 + 3CuO —> Cu3P2+3H2O<TLV

Документы

Серия-сухих-скрубберов.pdf 692.3 КБ
pdf

Новости


Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100
Новости компании Программируемые источники питания постоянного тока серии N36100

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены программируемые источники питания постоянного тока серии N36100. Источники питания постоянного тока серии N36100 имеют сверхкомпактный размер, высокую производительность и высокую выходную мощность. Высота источников 1U, ширина в ½ 19 […]

Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410
Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены трехканальные источники питания постоянного тока серии N3410. NGI серии N3410 — это трехканальный программируемый источник питания постоянного тока с высокой степенью производительности и надежности. N3410 имеет размера 2U, объединяет три независимых выходных […]

Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600
Новости компании Высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600

Компания «НПК ЭОМС» с радостью сообщает о расширении модельного ряда направления – высокочастотного измерительного оборудования. В декабре 2023 года под торговой маркой «NGI» на рынке будут представлены высокоточные источники – измерители напряжения и силы тока (SMU) серии N2600. При современных темпах развития разработки и производства электронных устройств существует острая необходимость в хорошо оснащённом парке приборов […]

Новости компании Вакуумметр Пирани

Преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обладает большим диапазоном измерения, что позволяет оперативно и точно контролировать давление в системе. Это особенно важно в условиях, когда минимальные изменения давления могут привести к сбоям в работе оборудования. Благодаря применению современных технологий и высококачественных материалов, преобразователь давления KYP-101/вакуумметр типа Пирани обеспечивает надежную и стабильную работу в самых экстремальных условиях. […]

Скрубберы с термическим дожигом и душеванием.
Новости компании Скрубберы с термическим дожигом и душеванием

Cкрубберы с термическим разложением, оснащенные электрическими нагревателями, стали доступны на заказ. Это неприхотливое оборудование, применяемое в разных процессах в производстве полупроводников, солнечных батарей, плоскопанельных дисплеев, светодиодов и других сферах промышленности. Эти скрубберы работают на основе термического разложения загрязняющих веществ при помощи электрического нагрева. Тепловой эффект способствует разложению и очистке вредных газов и паров, что позволяет поддерживать […]

Новости компании Циркуляционные термостаты и чиллеры

Управляемые системы температурных испытаний и контроля и охлаждения теперь доступны для заказа. Эти системы предназначены для обеспечения работоспособности и проведения необходимых испытаний. Термостаты из нашего ассортимента представляют собой идеальное решение для быстрого и точного контроля температуры устройств и систем, подключенных к ним. Мы предлагаем широкий ассортимент моделей термостатов с различными мощностями холодопроизводительности от 0,5 кВт […]

Новости компании «НПК «ЭОМС»на выставке Testing&Control

В этом году компания «НПК «ЭОМС» уже во второй раз приняла участие в ежегодной международной выставке Testing&Control, в рамках которой российские и зарубежные производители и поставщики демонстрируют специалистам широкий выбор измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования. В этом году выставка отпраздновала свой 20-летний юбилей и предложила посетителям и участникам насыщенную деловую программу: Всероссийскую научно-техническую конференцию […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» на выставке «Testing&Control»

ООО «НПК «ЭОМС» в очередной раз примет участие в ежегодной осенней выставке «Testing&Control», которая в этом году отпразднует свой 20-летний юбилей. На выставке традиционно демонстрируется широкий спектр измерительного, метрологического, испытательного и аналитического оборудования, поставщиком которого является наша компания. Посетителям выставки «НПК «ЭОМС» предложит ознакомится с передовыми образцами поставляемой продукции: Выставка пройдет с 24 по 26 […]

Новости компании Выводим на рынок новый измеритель импеданса XS-LRC-01

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования нового измерителя импеданса XS-LRC-01. С развитием технологий беспроводной связи диапазон измерения импеданса компонентов постоянно расширялся до сотен Гц или даже до ГГц. Популярность электронных продуктов беспрецедентными темпами привела к тому, что ежедневная производительность заводов по производству компонентов превысила один миллион штук. Таким образом, […]

Итоги международного военно-технического форума «АРМИЯ-2023»

Научно-производственный комплекс «ЭОМС» принял участие в ежегодном Международный военно-техническом форуме «АРМИЯ-2023», который состоялся с 14 по 20 августа 2023 года в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – крупное знаковое событие в выставочной сфере, привлекшее более 1 миллиона гостей. Именно поэтому «Лазерные компоненты» из года в год расширяют свое присутствие на нем. На Форуме компания с успехом […]