Серия сухих скрубберов NSOD 50 S/D, NSOD 100 S/D, NSOD 200 S/D

Цена по запросу

Оставьте заявку, чтобы уточнить стоимость

Под ключ

Пуско-наладка и обучение персонала

Гибкость

Различные условия продаж и поставок под клиента

Консультация

Подберем оборудование под ваши задачи

Гарантия

Гарантийное и пост-гарантийное обслуживание без привлечения производителя

Описание Документы

Данная система очистки газовых потоков построена на основе их безопасной обработки путем проведения химической реакции с адсорбентом.

ОСНОВНЫЕ ПРЕИМУЩЕСТВА

  • Емкость поглотителя: 
    — NSOD 50 S/D – 50 литров;
    — NSOD 100 S/D – 100 литров;
    — NSOD 200 S/D – 200 литров.
  • Высокая эффективность газоочистки;
  • Низкие эксплуатационные расходы;
  • Простой в обслуживании и замене адсорбционный картридж;
  • Основные отрасли применения – полупроводниковое производство, FPD, солнечные батареи, светодиоды.
  • Основные технологические процессы использования — IMP / Etch / CVD и т.д.

ОБРАБАТЫВАЕМЫЕ ГАЗЫ

Вид газовПример
Соединения SiSiH4, SiCl4, SiF4
Водорастворимые газыCl2, F2, HCl, NH3
Токсичные газыPH3, AsH3, BCl3

СОСТАВ СИСТЕМЫ

Основные особенности работы сухого скруббера:

  • Газ очищается с помощью метода химической адсорбции.
  • Если давление на входе превышает допустимые значения, то открывается перепускной клапан.
  • Устройство адсорбционного картриджа обеспечивает легкую загрузку и замену адсорбента.
  • В случае срабатывания аварийной сигнализации, очищенный газ поступает через аварийный картридж.

ЦВЕТОВАЯ ИНДИКАЦИЯ СОСТОЯНИЯ АДСОРБЕНТА

1. Z-VSS (адсорбент для SiH4, AsH3, PHи других газов группы VOCs)

2. Z-VNH (адсорбент для щелочных газов, таких как NH)*

* При использовании данного адсорбента для очистки SiH4, AsH3, PH3, его цвет меняется от небесно-голубого до темно-коричневого.

3. Z-VHF (адсорбент для кислых газов)

Следует также учитывать, что цвет адсорбента может измениться под воздействием воздуха (О2), т.е. без закачки газа.  

ХИМИЧЕСКАЯ СХЕМА ОЧИСТКИ

Химические преобразованияDRE
2F2 + 2Ca (OH)2 —> 2Ca (OH)2 + 2 H2O + O2<TLV
2BCI3 + 2Fe (OH)3 —> 2FeCl3 + B2O3 + 3H2O<TLV
2Cl2 + 2Ca (OH)2 —> 2CaCl2 + 2H2O + O2<TLV
2AsH3 + 3CuO —> Cu3As + 6H2O + As<TLV
2PH3 + 3CuO —> Cu3P2+3H2O<TLV

Документы

Серия-сухих-скрубберов.pdf 692.3 КБ
pdf

Новости


Новости компании Открыт эксклюзивный сервисный центр KYKY TECHNOLOGY в Зеленограде.  

Осенью прошлого года компания ООО «НПК ЭОМС» получила права на открытие эксклюзивного авторизованного сервисного центра по ремонту и обслуживанию вакуумного оборудования всемирно известной китайской компании KYKY TECHNOLOGY CO., LTD, которая является одним из ведущих мировых производителей безмасляных вакуумных насосов для производства микроэлектроники и гелевых течеискателей. Если вам требуется профессиональная техническая поддержка, обслуживание или ремонт техники […]

Новости компании С Новым годом и Рождеством!

Новый год — пора новых возможностей, оригинальных идей и интересных проектов. Желаем вам безопасного ведения дел, надёжных партнеров в команде и благоприятных сделок. Желаем грандиозных планов, реализации всего задуманного и колоссального роста! Давайте продолжим наше приятное сотрудничество и в Новом году вместе добьёмся еще большего успеха! С Новым годом и Рождеством!

Новости компании Модули расширения частотного диапазона (гармонические смесители). Диапазон частот от 75 ГГц до 110 ГГц.

Компания ООО НПК «ЭОМС» с радостью сообщает о выходе на рынок высокочастотного оборудования  новых модулей расширения частотного диапазона марки XS. Гармонические смесители марки XS применяются для расширения частотного диапазона векторных анализаторов цепей при разработке и испытаниях устройств в лабораториях и в условиях производства. Технические характеристики гармонических смесителей XS Структурная схема гармонического смесителя 75 ГГц – […]

Новости компании Продукция компании занесена в Государственный реестр средств измерений

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении высокоточных источников – измерителей напряжения и силы тока (SMU) серии N2600 в Государственный реестр средств измерений РФ (номер в Госреестре- 93903-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». На рынке источники- измерители NGI серия N2600 представлены […]

Итоги участия в 21-й Международной выставке испытательного и контрольно-измерительного оборудования.

Компания ООО «НПК «ЭОМС» приняла участие в очередной выставке Testing&Control, которая проходила в выставочном центре Крокус Экспо с 22 по 24 октября, также свою продукцию представляли компании из России, Китая и Белоруссии, всего приняли участие около 150 экспонентов. Ежегодно выставка привлекает около 7 000 специалистов, представляющих направления: средства неразрушающего контроля и технической диагностики, лабораторного и производственного […]

Новости компании ООО «НПК «ЭОМС» приглашает на выставку Testing&Control 2024!

Приглашаем вас на Testing&Control – 21-ю Международную выставку испытательного и контрольно-измерительного оборудования. Даты проведения: 22–24 октября 2024 годаМесто проведения: Москва, МВЦ «Крокус Экспо», павильон № 1, зал № 3, стенд F409 На нашем стенде мы продемонстрируем: Чтобы бесплатно посетить выставку, получите электронный билет на сайте выставки указав промокод komponenty24Получите бесплатный электронный билет>> Посетите выставку Testing&Control, […]

Новости компании НПК «ЭОМС» на форуме «Микроэлектроника – 2024».

Сотрудники НПК «ЭОМС» вместе с коллегами из ряда смежных предприятий Китайской Народной Республики приняли участие в выставке, проходившей с 23 по 27 сентября в г. Сочи на базе Университета «Сириус» в рамках 10-го Юбилейного Российского форума «Микроэлектроника-2024». На выставке были представлены такие направления деятельности нашей компании как оборудование для производства полупроводников, высоконадёжные электронные компоненты и […]

Новости компании Трехканальные источники питания постоянного тока NGI серии N3410 внесены в Государственный реестр средств измерений.

Компания «НПК «ЭОМС» — ведущий поставщик измерительного, оптоэлектронного, лазерного, тепловизионного и другого высокотехнологичного оборудования, комплектующих и электронных компонентов информирует Вас о внесении трехканальных источников питания постоянного серии N 34101 в Государственный реестр средств измерений РФ(номер в Госреестре- 92980-24). Приборы успешно прошли испытания на предприятии ФБУ «Ростест-Москва». Трехканальный источник питания постоянного тока серии N3410 N3410 — […]

Открытие официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в Москве!

Уважаемые партнеры! Мы рады сообщить вам об открытии официального сервисного центра компании «Xiansheng Technology» в городе Москва! Компания «Xiansheng Technology» является производителем высокочастного измерительного оборудования. В портфолио компании входят векторные анализаторы сигналов, векторные генераторы сигналов, анализаторы цепей векторные. Вся продуктовая линейка приборов соответствует принятым стандартам качества и внесена в Государственный реестр средств измерений Российской Федерации. […]

НПК ЭОМС на Форуме «Армия-2024»
Новости компании Итоги международного военно-технического форума «Армия-2024»

Компания НПК «ЭОМС» приняла участие в 10-м юбилейном международном военно-техническом Форуме «Армия-2024», который прошел с 12 по 14 августа в КВЦ «Патриот». Форум «Армия» – очень крупное событие в выставочной сфере, ежегодно привлекающее более 1 миллиона посетителей. Мы стараемся из года в год расширять свое присутствие на этом знаковом мероприятии, где собираются все основные участники […]